Yarı İletken Levha Muayenesi ve Metrolojisi için Ultra Hassas Granit Taban

1. Üstün Malzeme Bilimi: ZHHIMG® Siyah Granit

Standart granit veya daha da kötüsü, daha az dürüst üreticilerin kullandığı düşük kaliteli mermerden farklı olarak, ZHHIMG tabanları yalnızca tescilli ZHHIMG® Siyah Granitimizden üretilmektedir.

● Olağanüstü Yoğunluk: Malzememiz, Avrupa ve Amerika'daki birçok geleneksel siyah granitten üstün olan, etkileyici bir ≈ 3100 kg/m³ yoğunluğa sahiptir.

● Termal Stabilite: Yüksek yoğunluk ve minimum su emme özelliği, üstün boyutsal stabilite sağlayarak kritik denetim döngüleri sırasında termal kaymanın etkisini önemli ölçüde azaltır.

● Titreşim Sönümleme: Doğal mineral yapısı, hassas optik ve sensörleri dış titreşimlerden izole etmek için gerekli olan olağanüstü iç sönümleme sağlar.

2. Rakipsiz Üretim ve Montaj Yeteneği

Hassasiyete olan bağlılığımız, temel inancımızda özetlenmektedir: "Hassasiyet işi çok talepkar olamaz."

● Usta İşçilik: Tabanlarımız, çoğu 30 yılı aşkın deneyime sahip usta teknisyenler tarafından elle işlenerek nanometre seviyesine kadar yüzey düzlüğü ve paralelliği elde edilebilir; bu hassasiyet, Renishaw Lazer İnterferometreleri ve WYLER Elektronik Seviyeleme Cihazları ile doğrulanmıştır.

● Kontrollü Ortam: İşleme ve son montaj işlemleri, 10.000 m²'lik Sıcaklık ve Nem Kontrollü Temiz Odamızda (sıkı yarı iletken üretim koşullarını simüle eden) gerçekleştirilir. Bu tesis, 1000 mm kalınlığında beton temel ve 2000 mm derinliğinde titreşim önleyici hendeklere sahip olup, gerçekten istikrarlı bir metroloji ortamı sağlar.

3. Entegre Hassas Tasarım (Resimde Gösterildiği Gibi)

Taban genellikle karmaşık bir montaj şeklinde sunulur ve sıklıkla şunları içerir:

● L Şekilli/Köprü Yapıları: Görüntüleme başlıklarının dikey hareketini (Z ekseni) desteklemek, dikliği ve geometrik doğruluğu sağlamak üzere tasarlanmıştır.

● Hassas Oluklar ve Ek Parçalar: Hava yatakları, lineer motorlar (XY Tablası), görüntüleme sistemleri ve kılavuz rayların (THK, HIWIN, Rexroth) montajı için dişli çelik ek parçalar ve hassas pim delikleri içeren önceden işlenmiş yüzeyler.

● Özelleştirme: Büyük ölçekli işleme konusunda uzmanlaşmış olup, ekipmanınızın boyutlarına tam olarak uyacak şekilde, 20 metre uzunluğa ve 100 tona kadar ağırlığa sahip yekpare granit kaideler üretebiliyoruz.