Malzeme – Seramik

♦Alümina(Al)2O3)

ZhongHui Akıllı Üretim Grubu (ZHHIMG) tarafından üretilen hassas seramik parçalar, yüksek saflıkta seramik hammaddelerden, %92-97 alümina, %99,5 alümina, %99,9'dan fazla alümina ve CIP soğuk izostatik presleme ile üretilebilir. Yüksek sıcaklıkta sinterleme ve hassas işleme, ± 0,001 mm boyutsal doğruluk, Ra0,1'e kadar pürüzsüzlük ve 1600 dereceye kadar kullanım sıcaklığı. Müşteri ihtiyaçlarına göre siyah, beyaz, bej, koyu kırmızı vb. gibi farklı seramik renkleri üretilebilir. Firmamız tarafından üretilen hassas seramik parçalar yüksek sıcaklığa, korozyona, aşınmaya ve izolasyona dayanıklıdır ve yüksek sıcaklık, vakum ve aşındırıcı gaz ortamında uzun süre kullanılabilir.

Çeşitli yarı iletken üretim ekipmanlarında yaygın olarak kullanılır: Çerçeveler (seramik braket), Alt tabaka (taban), Kol/Köprü (manipülatör), Mekanik Bileşenler ve Seramik Hava Yatağı.

AL2O3

Ürün Adı Yüksek Saflıkta 99 Alümina Seramik Kare Boru / Çubuk
Dizin Birim %85 Al2O3 %95 Al2O3 %99 Al2O3 %99,5 Al2O3
Yoğunluk g/cm3 3.3 3.65 3.8 3.9
Su Emilimi % <0,1 <0,1 0 0
Sinterlenmiş Sıcaklık 1620 1650 1800 1800
Sertlik Mohs 7 9 9 9
Eğilme Dayanımı (20℃)) Mpa 200 300 340 360
Basınç Dayanımı Kgf/cm2 10000 25000 30000 30000
Uzun Süreli Çalışma Sıcaklığı 1350 1400 1600 1650
Maksimum Çalışma Sıcaklığı 1450 1600 1800 1800
Hacim Direnci 20℃ Ω. cm3 >1013 >1013 >1013 >1013
100℃ 1012-1013 1012-1013 1012-1013 1012-1013
300℃ >109 >1010 >1012 >1012

Yüksek saflıkta alümina seramiklerin uygulamaları:
1. Yarı iletken ekipmanlara uygulanır: seramik vakumlu ayna, kesme diski, temizleme diski, seramik ayna.
2. Gofret transfer parçaları: gofret taşıma aynaları, gofret kesme diskleri, gofret temizleme diskleri, gofret optik muayene vantuzları.
3. LED / LCD düz panel ekran endüstrisi: seramik nozul, seramik taşlama diski, KALDIRMA PİMİ, PİM rayı.
4. Optik haberleşme, güneş enerjisi endüstrisi: seramik tüpler, seramik çubuklar, devre kartı serigrafi baskı seramik kazıyıcılar.
5. Isıya dayanıklı ve elektriksel olarak yalıtkan parçalar: seramik rulmanlar.
Günümüzde alüminyum oksit seramikler yüksek saflıkta ve sıradan seramikler olarak ikiye ayrılabilir. Yüksek saflıkta alüminyum oksit seramik serisi, %99,9'dan fazla Al₂O₃ içeren seramik malzemeyi ifade eder. 1650 - 1990°C'ye kadar sinterleme sıcaklığı ve 1 ~ 6μm'lik iletim dalga boyu nedeniyle, genellikle platin pota yerine erimiş cam haline getirilir: ışık geçirgenliği ve alkali metale karşı korozyon direnci nedeniyle sodyum tüpü olarak kullanılabilir. Elektronik endüstrisinde, IC alt tabakaları için yüksek frekanslı yalıtım malzemesi olarak kullanılabilir. Farklı alüminyum oksit içeriklerine göre, sıradan alüminyum oksit seramik serisi 99 seramik, 95 seramik, 90 seramik ve 85 seramik olarak ayrılabilir. Bazen, %80 veya %75 alüminyum oksit içeren seramikler de sıradan alüminyum oksit seramik serisi olarak sınıflandırılır. Bunlar arasında, 99 alüminyum oksit seramik malzeme, yüksek sıcaklık potası, yangına dayanıklı fırın borusu ve seramik yataklar, seramik contalar ve valf plakaları gibi özel aşınmaya dayanıklı malzemeler üretmek için kullanılır. 95 alüminyum seramik, çoğunlukla korozyona dayanıklı parça olarak kullanılır. 85 seramik genellikle bazı özelliklerde karıştırılır, böylece elektriksel performans ve mekanik dayanım iyileştirilir. Molibden, niyobyum, tantal ve diğer metal contalar kullanılabilir ve bazıları elektrikli vakum cihazı olarak kullanılır.

 

Kaliteli Ürün (Temsili Değer) Ürün Adı AES-12 AES-11 AES-11C AES-11F AES-22S AES-23 AL-31-03
Kimyasal Bileşimi Düşük Sodyumlu Kolay Sinterlenen Ürün H₂O % 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1
Yüksek sesle gülmek % 0.1 0.2 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1
Fe₂0₃ % 0,01 0,01 0,01 0,01 0,01 0,01 0,01
SiO₂ % 0,03 0,03 0,03 0,03 0,02 0,04 0,04
Na₂O % 0,04 0,04 0,04 0,04 0,02 0,04 0,03
MgO* % - 0,11 0,05 0,05 - - -
Al₂0₃ % 99.9 99.9 99.9 99.9 99.9 99.9 99.9
Orta Parçacık Çapı (MT-3300, lazer analiz yöntemi) mikron 0,44 0,43 0,39 0,47 1.1 2.2 3
α Kristal Boyutu mikron 0.3 0.3 0.3 0.3 0,3 ~ 1,0 0,3 ~ 4 0,3 ~ 4
Şekillendirme Yoğunluğu** g/cm³ 2.22 2.22 2.2 2.17 2.35 2.57 2.56
Sinterleme Yoğunluğu** g/cm³ 3.88 3.93 3.94 3.93 3.88 3.77 3.22
Sinterleme Hattının Büzülme Oranı** % 17 17 18 18 15 12 7

* Al₂O₃ saflık hesaplamasında MgO dahil değildir.
* Kireç tozu yok 29.4MPa (300kg/cm²), sinterleme sıcaklığı 1600°C.
AES-11 / 11C / 11F: %0,05 ~ %0,1 MgO ekleyin, sinterlenebilirlik mükemmeldir, bu nedenle %99'dan fazla saflığa sahip alüminyum oksit seramiklere uygulanabilir.
AES-22S: Yüksek şekillendirme yoğunluğu ve sinterleme hattının düşük büzülme oranı ile karakterize edilen bu ürün, kayar kalıp döküm ve diğer gerekli boyutsal hassasiyete sahip büyük ölçekli ürünlere uygulanabilir.
AES-23 / AES-31-03: AES-22S'den daha yüksek şekillendirme yoğunluğuna, tiksotropiye ve daha düşük viskoziteye sahiptir. Birincisi seramiklerde kullanılırken, ikincisi yangına dayanıklı malzemelerde su azaltıcı olarak kullanılarak popülerlik kazanmaktadır.

♦Silisyum Karbür (SiC) Özellikleri

Genel Özellikler Ana bileşenlerin saflığı (% ağırlık) 97
Renk Siyah
Yoğunluk (g/cm³) 3.1
Su emilimi (%) 0
Mekanik Özellikler Eğilme dayanımı (MPa) 400
Young modülü (GPa) 400
Vickers sertliği (GPa) 20
Termal Özellikler Maksimum çalışma sıcaklığı (°C) 1600
Termal genleşme katsayısı RT~500°C 3.9
(1/°C x 10-6) RT~800°C 4.3
Isıl iletkenlik (W/m x K) 130 110
Isıl şok direnci ΔT (°C) 300
Elektriksel Özellikler Hacim direnci 25°C 3 x 106
300°C -
500°C -
800°C -
Dielektrik sabiti 10GHz -
Dielektrik kaybı (x 10-4) -
Q Faktörü (x 104) -
Dielektrik bozulma gerilimi (KV/mm) -

20200507170353_55726

♦Silikon Nitrür Seramik

Malzeme Birim Si₃N₄
Sinterleme Yöntemi - Gaz Basıncı Sinterlenmiş
Yoğunluk g/cm³ 3.22
Renk - Koyu Gri
Su Emme Oranı % 0
Genç Modül Gpa 290
Vickers Sertliği Gpa 18 - 20
Basınç Dayanımı Mpa 2200
Eğilme Dayanımı Mpa 650
Isıl İletkenlik W/mK 25
Termal Şok Direnci Δ (°C) 450 - 650
Maksimum Çalışma Sıcaklığı °C 1200
Hacim Direnci Ω·cm > 10 ^ 14
Dielektrik Sabiti - 8.2
Dielektrik Dayanımı kV/mm 16