Malzeme – Seramik

♦Alümina(Al)2O3)

ZhongHui Intelligent Manufacturing Group (ZHHIMG) tarafından üretilen hassas seramik parçalar, yüksek saflıkta seramik hammaddelerinden, %92 ~ %97 alümina, %99,5 alümina, >%99,9 alümina ve CIP soğuk izostatik preslemeden yapılabilir. Yüksek sıcaklıkta sinterleme ve hassas işleme, ± 0,001 mm boyutsal doğruluk, Ra0.1'e kadar pürüzsüzlük, 1600 dereceye kadar kullanım sıcaklığı. Müşterilerin gereksinimlerine göre siyah, beyaz, bej, koyu kırmızı vb. gibi farklı seramik renkleri yapılabilir. Firmamız tarafından üretilen hassas seramik parçalar yüksek sıcaklığa, korozyona, aşınmaya ve izolasyona dayanıklıdır ve yüksek sıcaklık, vakum ve aşındırıcı gaz ortamında uzun süre kullanılabilir.

Çeşitli yarı iletken üretim ekipmanlarında yaygın olarak kullanılır: Çerçeveler (seramik braket), Alt tabaka (taban), Kol/Köprü (manipülatör), Mekanik Bileşenler ve Seramik Hava Yatağı.

AL2O3

Ürün Adı Yüksek Saflıkta 99 Alümina Seramik Kare Tüp / Boru / Çubuk
Dizin Birim %85 Al2O3 %95 Al2O3 %99 Al2O3 %99,5 Al2O3
Yoğunluk g/cm3 3.3 3.65 3.8 3.9
Su emilimi % <0,1 <0,1 0 0
Sinterlenmiş Sıcaklık 1620 1650 1800 1800
Sertlik Mohs 7 9 9 9
Bükülme Dayanımı (20℃)) Mpa 200 300 340 360
Basınç Dayanımı Kgf/cm2 10000 25000 30000 30000
Uzun Süreli Çalışma Sıcaklığı 1350 1400 1600 1650
Maksimum Çalışma Sıcaklığı 1450 1600 1800 1800
Hacim Direnci 20℃ Ω.cm3 >1013 >1013 >1013 >1013
100℃ 1012-1013 1012-1013 1012-1013 1012-1013
300℃ >109 >1010 >1012 >1012

Yüksek saflıkta alümina seramiklerin uygulamaları:
1. Yarı iletken ekipmanlara uygulanır: seramik vakumlu ayna, kesme diski, temizleme diski, seramik ayna.
2. Wafer transfer parçaları: wafer taşıma aynaları, wafer kesme diskleri, wafer temizleme diskleri, wafer optik muayene vantuzları.
3. LED / LCD düz panel ekran endüstrisi: seramik nozul, seramik taşlama diski, KALDIRMA PİMİ, PİM rayı.
4. Optik haberleşme, güneş enerjisi endüstrisi: seramik tüpler, seramik çubuklar, devre kartı serigrafi baskı seramik kazıyıcılar.
5. Isıya dayanıklı ve elektriksel olarak yalıtkan parçalar: seramik rulmanlar.
Şu anda, alüminyum oksit seramikler yüksek saflıkta ve yaygın seramikler olarak ayrılabilir. Yüksek saflıkta alüminyum oksit seramik serisi, %99,9'dan fazla Al₂O₃ içeren seramik malzemeyi ifade eder. 1650 - 1990 °C'ye kadar sinterleme sıcaklığı ve 1 ~ 6 μm'lik iletim dalga boyu nedeniyle, genellikle platin pota yerine erimiş cam haline getirilir: ışık geçirgenliği ve alkali metale karşı korozyon direnci nedeniyle sodyum tüpü olarak kullanılabilir. Elektronik endüstrisinde, IC alt tabakaları için yüksek frekanslı yalıtım malzemesi olarak kullanılabilir. Farklı alüminyum oksit içeriklerine göre, yaygın alüminyum oksit seramik serisi 99 seramik, 95 seramik, 90 seramik ve 85 seramik olarak ayrılabilir. Bazen, %80 veya %75 alüminyum oksit içeren seramikler de yaygın alüminyum oksit seramik serisi olarak sınıflandırılır. Bunlar arasında, 99 alüminyum oksit seramik malzeme yüksek sıcaklık potası, yangına dayanıklı fırın tüpü ve seramik yataklar, seramik contalar ve valf plakaları gibi özel aşınmaya dayanıklı malzemeler üretmek için kullanılır. 95 alüminyum seramik esas olarak korozyona dayanıklı aşınmaya dayanıklı parça olarak kullanılır. 85 seramik genellikle bazı özelliklerde karıştırılır, böylece elektriksel performans ve mekanik mukavemet iyileştirilir. Molibden, niyobyum, tantal ve diğer metal contalar kullanabilir ve bazıları elektrikli vakum cihazları olarak kullanılır.

 

Kaliteli Ürün (Temsili Değer) Ürün Adı AES-12 AES-11 AES-11C AES-11F AES-22S AES-23 AL-31-03
Kimyasal Bileşim Düşük Sodyumlu Kolay Sinterleme Ürünü H₂O % 0,1 0,1 0,1 0,1 0,1 0,1 0,1
Yüksek sesle gülmek % 0,1 0,2 0,1 0,1 0,1 0,1 0,1
Fe₂0₃ % 0,01 0,01 0,01 0,01 0,01 0,01 0,01
SiO₂ % 0,03 0,03 0,03 0,03 0,02 0,04 0,04
Na₂O % 0,04 0,04 0,04 0,04 0,02 0,04 0,03
MgO* % - 0,11 0,05 0,05 - - -
Al₂0₃ % 99.9 99.9 99.9 99.9 99.9 99.9 99.9
Orta Parçacık Çapı (MT-3300, lazer analiz yöntemi) mikron 0,44 0,43 0,39 0,47 1.1 2.2 3
α Kristal Boyutu mikron 0,3 0,3 0,3 0,3 0,3 ~ 1,0 0,3 ~ 4 0,3 ~ 4
Şekillendirme Yoğunluğu** g/cm³ 2.22 2.22 2.2 2.17 2.35 2.57 2,56
Sinterleme Yoğunluğu** g/cm³ 3.88 3.93 3.94 3.93 3.88 3.77 3.22
Sinterleme Hattının Büzülme Oranı** % 17 17 18 18 15 12 7

* Al₂O₃ saflığının hesaplanmasında MgO dahil değildir.
* Kireç tozu yok 29.4MPa (300kg/cm²), sinterleme sıcaklığı 1600°C'dir.
AES-11 / 11C / 11F: %0,05 ~ %0,1 MgO ekleyin, sinterlenebilirlik mükemmeldir, bu nedenle %99'dan daha fazla saflığa sahip alüminyum oksit seramiklere uygulanabilir.
AES-22S: Yüksek şekillendirme yoğunluğu ve sinterleme hattının düşük büzülme oranı ile karakterize edilen bu ürün, gerekli boyutsal hassasiyete sahip kayar kalıp döküm ve diğer büyük ölçekli ürünlere uygulanabilir.
AES-23 / AES-31-03: AES-22S'den daha yüksek şekillendirme yoğunluğuna, tiksotropiye ve daha düşük viskoziteye sahiptir. Birincisi seramiklerde kullanılırken, ikincisi yangına dayanıklı malzemelerde su inceltici olarak kullanılarak popülerlik kazanmaktadır.

♦Silisyum Karbür (SiC) Özellikleri

Genel Özellikler Ana bileşenlerin saflığı (% ağırlık) 97
Renk Siyah
Yoğunluk (g/cm³) 3.1
Su emilimi (%) 0
Mekanik Özellikler Eğilme dayanımı (MPa) 400
Genç modülü (GPa) 400
Vickers sertliği (GPa) 20
Termal Özellikler Maksimum çalışma sıcaklığı (°C) 1600
Isıl genleşme katsayısı Sıcaklık ~500°C 3.9
(1/°C x 10-6) Sıcaklık ~ 800°C 4.3
Isı iletkenliği (W/m x K) 130 110
Isıl şok direnci ΔT (°C) 300
Elektriksel Özellikler Hacim direnci 25°C 3x106
300°C -
500°C -
800°C -
Dielektrik sabiti 10GHz -
Dielektrik kaybı (x 10-4) -
Q Faktörü (x 104) -
Dielektrik arıza gerilimi (KV/mm) -

20200507170353_55726

♦Silikon Nitrür Seramik

Malzeme Birim Si₃N₄
Sinterleme Yöntemi - Gaz Basıncı Sinterlenmiş
Yoğunluk g/cm³ 3.22
Renk - Koyu Gri
Su Emme Oranı % 0
Genç Modül Not ortalaması 290
Vickers Sertliği Not ortalaması 18 - 20
Basınç Dayanımı Mpa 2200
Bükülme Gücü Mpa 650
Isıl İletkenlik W/mK 25
Isıl Şok Direnci Δ (°C) 450 - 650
Maksimum Çalışma Sıcaklığı °C 1200
Hacim Direnci Ω·cm > 10 ^ 14
Dielektrik sabiti - 8.2
Dielektrik Dayanımı kV/mm 16