♦ Alümina (AL2O3)
Zhonghui Akıllı Üretim Grubu (ZHHIMG) tarafından üretilen hassas seramik parçaları, yüksek saflıkta seramik hammaddelerden,% 92 ~ 97 alümina,% 99.5 alümina,>% 99.9 alümina ve CIP soğuk izostatik preslemeden yapılabilir. Yüksek sıcaklık sinterleme ve hassas işleme, ± 0.001mm boyutsal doğruluğu, RA0.1'e kadar düzgünlük, 1600 dereceye kadar sıcaklık kullanın. Siyah, beyaz, bej, koyu kırmızı, vb. Gibi müşterilerin gereksinimlerine göre farklı seramik renkleri yapılabilir. Şirketimiz tarafından üretilen hassas seramik parçaları yüksek sıcaklık, korozyon, aşınma ve yalıtıma karşı dirençlidir ve yüksek sıcaklık, vakum ve aşındırıcı gaz ortamında uzun süre kullanılabilir.
Çeşitli yarı iletken üretim ekipmanlarında yaygın olarak kullanılır: çerçeveler (seramik braket), substrat (baz), kol/ köprü (manipülatör), mekanik bileşenler ve seramik hava yatağı.
| Ürün adı | Yüksek Saflık 99 Alümina Seramik Kare Tüp / Boru / Çubuk | |||||
| İndeks | Birim | % 85 AL2O3 | % 95 AL2O3 | % 99 AL2O3 | % 99.5 AL2O3 | |
| Yoğunluk | g/cm3 | 3.3 | 3.65 | 3.8 | 3.9 | |
| Su emilimi | % | <0.1 | <0.1 | 0 | 0 | |
| Sintered Sıcaklık | ℃ | 1620 | 1650 | 1800 | 1800 | |
| Sertlik | Mohs | 7 | 9 | 9 | 9 | |
| Bükme mukavemeti (20 ℃)) | MPa | 200 | 300 | 340 | 360 | |
| Sıkıştırma mukavemeti | KGF/CM2 | 10000 | 25000 | 30000 | 30000 | |
| Uzun süreli çalışma sıcaklığı | ℃ | 1350 | 1400 | 1600 | 1650 | |
| Maks. Çalışma sıcaklığı | ℃ | 1450 | 1600 | 1800 | 1800 | |
| Hacim direnci | 20 ℃ | Ω. CM3 | > 1013 | > 1013 | > 1013 | > 1013 |
| 100 ℃ | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | ||
| 300 ℃ | > 109 | > 1010 | > 1012 | > 1012 | ||
Yüksek Saflıklı Alümina Seramik Uygulaması:
1. Yarı iletken ekipmana uygulanır: seramik vakum aynası, kesme diski, temizleme diski, seramik mandren.
2. Gofret Transfer Parçaları: Gofret İşleme Kıymıkları, Gofret Kesme Diskleri, Gofret Temizleme Diskleri, Gofret Optik Muayene Emme Kupaları.
3.
4. Optik İletişim, Güneş Endüstrisi: Seramik Tüpler, Seramik Çubuklar, Devre Kartı Ekran Baskı Seramik Scrapers.
5. Isıya dayanıklı ve elektriksel olarak yalıtım parçaları: seramik yataklar.
Şu anda, alüminyum oksit seramikleri yüksek saflıkta ve yaygın seramiklere ayrılabilir. Yüksek saflıkta alüminyum oksit seramik serisi,% 99.9'dan fazla al₂o₃ içeren seramik malzemeyi ifade eder. 1650 - 1990 ° C'ye kadar sinterleme sıcaklığı ve 1 ~ 6μm'lik şanzıman dalga boyu nedeniyle, genellikle platin potası yerine kaynaşmış cam halinde işlenir: ışık geçirgenliği ve alkali metale karşı korozyon direnci nedeniyle sodyum tüp olarak kullanılabilen. Elektronik endüstrisinde, IC substratları için yüksek frekanslı yalıtım malzemesi olarak kullanılabilir. Farklı alüminyum oksit içeriğine göre, yaygın alüminyum oksit seramik serileri 99 seramik, 95 seramik, 90 seramik ve 85 seramiğe ayrılabilir. Bazen, alüminyum oksitin% 80 veya% 75'i olan seramikler de yaygın alüminyum oksit seramik serileri olarak sınıflandırılır. Bunlar arasında, 99 alüminyum oksit seramik malzeme, yüksek sıcaklıkta pota, yangın fırın tüpü ve seramik yataklar, seramik contalar ve valf plakaları gibi özel aşınma dirençli malzemeler üretmek için kullanılır. 95 Alüminyum seramik esas olarak korozyona dayanıklı aşınmaya dayanıklı kısım olarak kullanılır. 85 Seramikler genellikle bazı özelliklerde karıştırılır, böylece elektrik performansı ve mekanik mukavemeti iyileştirir. Molibden, niyobyum, tantal ve diğer metal contalar kullanabilir ve bazıları elektrikli vakum cihazları olarak kullanılır.
| Kalite Öğesi (Temsili Değer) | Ürün adı | AES-12 | AES-11 | AES-11C | AES-11F | AES-22S | AES-23 | AL-31-03 | |
| Kimyasal Bileşim Düşük sodyum kolay sinterleme ürünü | H₂o | % | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
| Yüksek sesle gülmek | % | 0.1 | 0.2 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | |
| Fe₂0₃ | % | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | |
| Sio₂ | % | 0.03 | 0.03 | 0.03 | 0.03 | 0.02 | 0.04 | 0.04 | |
| Na₂o | % | 0.04 | 0.04 | 0.04 | 0.04 | 0.02 | 0.04 | 0.03 | |
| MGO* | % | - | 0.11 | 0.05 | 0.05 | - | - | - | |
| Al₂0₃ | % | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | |
| Orta partikül çapı (MT-3300, lazer analiz yöntemi) | μm | 0.44 | 0.43 | 0.39 | 0.47 | 1.1 | 2.2 | 3 | |
| α kristal boyutu | μm | 0.3 | 0.3 | 0.3 | 0.3 | 0.3 ~ 1.0 | 0.3 ~ 4 | 0.3 ~ 4 | |
| Yoğunluk oluşturma ** | g/cm³ | 2.22 | 2.22 | 2.2 | 2.17 | 2.35 | 2.57 | 2.56 | |
| Sinterleme yoğunluğu ** | g/cm³ | 3.88 | 3.93 | 3.94 | 3.93 | 3.88 | 3.77 | 3.22 | |
| Sinterleme hattının daralma oranı ** | % | 17 | 17 | 18 | 18 | 15 | 12 | 7 | |
* MGO, al₂o₃ saflığının hesaplanmasına dahil değildir.
* Ölçeklendirme tozu 29.4MPa (300kg/cm²), sinterleme sıcaklığı 1600 ° C'dir.
AES-11 / 11C / 11F: 0.05 ~% 0.1 mgO ekleyin, Sinterabilite mükemmeldir, bu nedenle% 99'dan fazla saflığa sahip alüminyum oksit seramikleri için geçerlidir.
AES-22S: Yüksek şekillendirme yoğunluğu ve sinterleme hattının düşük daralma oranı ile karakterize edilen kayma formu dökümü ve gerekli boyutsal doğruluğa sahip diğer büyük ölçekli ürünler için geçerlidir.
AES-23 / AES-31-03: AES-22'lere göre daha yüksek bir şekillendirme yoğunluğu, tixotropi ve daha düşük viskoziteye sahiptir. Birincisi seramiklere alıştırılırken, ikincisi yangın tabakaları için su redüktör olarak kullanılır ve popülerlik kazanır.
♦ Silikon karbür (sic) özellikleri
| Genel özellikler | Ana bileşenlerin saflığı (ağırlıkça%) | 97 | |
| Renk | Siyah | ||
| Yoğunluk (g/cm³) | 3.1 | ||
| Su emilimi (%) | 0 | ||
| Mekanik özellikler | Bükülme mukavemeti (MPA) | 400 | |
| Genç Modül (GPA) | 400 | ||
| Vickers Sertlik (GPA) | 20 | ||
| Termal özellikler | Maksimum çalışma sıcaklığı (° C) | 1600 | |
| Termal genleşme katsayısı | RT ~ 500 ° C | 3.9 | |
| (1/° C x 10-6) | RT ~ 800 ° C | 4.3 | |
| Termal iletkenlik (w/m x k) | 130 110 | ||
| Termal şok direnci ΔT (° C) | 300 | ||
| Elektriksel özellikler | Hacim direnci | 25 ° C | 3 x 106 |
| 300 ° C | - | ||
| 500 ° C | - | ||
| 800 ° C | - | ||
| Dielektrik sabiti | 10ghz | - | |
| Dielektrik kaybı (x 10-4) | - | ||
| Q Faktörü (x 104) | - | ||
| Dielektrik arıza voltajı (kv/mm) | - | ||
♦ Silikon nitrür seramik
| Malzeme | Birim | Si₃n₄ |
| Sinterleme yöntemi | - | Gaz basıncı sinterce |
| Yoğunluk | g/cm³ | 3.22 |
| Renk | - | Koyu gri |
| Su emme oranı | % | 0 |
| Genç modül | Genel not ortalaması | 290 |
| Vickers sertliği | Genel not ortalaması | 18 - 20 |
| Sıkıştırma mukavemeti | MPa | 2200 |
| Bükme gücü | MPa | 650 |
| Termal iletkenlik | W/mk | 25 |
| Termal şok direnci | Δ (° C) | 450 - 650 |
| Maksimum çalışma sıcaklığı | ° C | 1200 |
| Hacim direnci | Ω · cm | > 10 ^ 14 |
| Dielektrik sabiti | - | 8.2 |
| Dielektrik mukavemet | KV/mm | 16 |