Konumlandırma aşaması, üst düzey konumlandırma uygulamaları için yüksek hassasiyetli, granit tabanlı, hava yataklı bir konumlandırma aşamasıdır..Demirsiz bir çekirdek, dişli olmayan 3 fazlı fırçasız doğrusal motor tarafından tahrik edilir ve granit bir taban üzerinde yüzen 5 adet düz, manyetik olarak önceden yüklenmiş hava yatağı tarafından yönlendirilir.Onların...
Devamını oku