Wafer taraması sırasında oluşan ısıdan dolayı granit makine tabanı genişler mi?

Çip üretiminin temel halkası olan yonga taramasında, ekipmanın doğruluğu çipin kalitesini belirler. Ekipmanın önemli bir bileşeni olarak, granit makine tabanının termal genleşme sorunu çok dikkat çekmiştir.

Granitin termal genleşme katsayısı genellikle 4 ile 8×10⁻⁶/℃ arasındadır, bu da metallerin ve mermerinkinden çok daha düşüktür. Bu, sıcaklık değiştiğinde boyutunun nispeten az değiştiği anlamına gelir. Ancak, düşük termal genleşmenin termal genleşme olmadığı anlamına gelmediği unutulmamalıdır. Aşırı sıcaklık dalgalanmaları altında, en ufak bir genleşme bile gofret taramasının nanoskala doğruluğunu etkileyebilir.

Wafer tarama işlemi sırasında, termal genleşmenin meydana gelmesinin birden fazla nedeni vardır. Atölyedeki sıcaklık dalgalanmaları, ekipman bileşenlerinin çalışmasıyla oluşan ısı ve lazer işlemeyle gelen anlık yüksek sıcaklık, granit tabanın "sıcaklık değişiklikleri nedeniyle genleşmesine ve büzülmesine" neden olur. Taban termal genleşmeye uğradığında, kılavuz rayın düzlüğü ve platformun düzlüğü sapabilir ve bu da wafer tablasının yanlış hareket yörüngesine neden olabilir. Destekleyici optik bileşenler de kayarak tarama ışınının "sapmasına" neden olur. Uzun süre sürekli çalışmak da hataları biriktirerek doğruluğu giderek kötüleştirir.

Ama endişelenmeyin. İnsanların zaten çözümleri var. Malzemeler açısından, daha düşük termal genleşme katsayısına sahip granit damarlar seçilecek ve yaşlanma işlemine tabi tutulacak. Sıcaklık kontrolü açısından, atölye sıcaklığı 23±0.5℃ veya daha düşük bir değerde hassas bir şekilde kontrol edilecek ve taban için aktif bir ısı dağıtma cihazı da tasarlanacak. Yapısal tasarım açısından, simetrik yapılar ve esnek destekler benimsenmiş ve sıcaklık sensörleri aracılığıyla gerçek zamanlı izleme gerçekleştirilmiştir. Termal deformasyondan kaynaklanan hatalar algoritmalar tarafından dinamik olarak düzeltilir.

ASML litografi makineleri gibi üst düzey ekipmanlar, bu yöntemler sayesinde granit tabanının termal genleşme etkisini son derece küçük bir aralıkta tutarak, gofret tarama doğruluğunun nanometre seviyesine ulaşmasını sağlar. Bu nedenle, düzgün bir şekilde kontrol edildiği sürece, granit taban, gofret tarama ekipmanı için güvenilir bir seçim olmaya devam eder.

hassas granit05


Gönderi zamanı: 12-Haz-2025