Çip üretiminin kilit halkası olan yonga taramada, ekipmanın doğruluğu çipin kalitesini belirler. Ekipmanın önemli bir bileşeni olan granit makine tabanının ısıl genleşme sorunu büyük ilgi görmüştür.
Granitin termal genleşme katsayısı genellikle 4 ila 8×10⁻⁶/℃ arasındadır ve bu değer metal ve mermerden çok daha düşüktür. Bu, sıcaklık değiştiğinde boyutunun nispeten az değiştiği anlamına gelir. Ancak, düşük termal genleşmenin termal genleşme olmadığı anlamına gelmediği unutulmamalıdır. Aşırı sıcaklık dalgalanmaları altında, en ufak bir genleşme bile gofret taramasının nanometre ölçeğindeki doğruluğunu etkileyebilir.
Wafer tarama işlemi sırasında termal genleşmenin meydana gelmesinin birden fazla nedeni vardır. Atölyedeki sıcaklık dalgalanmaları, ekipman bileşenlerinin çalışmasıyla oluşan ısı ve lazer işlemenin getirdiği anlık yüksek sıcaklık, granit tabanın sıcaklık değişimleri nedeniyle "genleşip büzülmesine" neden olur. Taban termal genleşmeye maruz kaldığında, kılavuz rayın ve platformun düzlüğü bozulabilir ve bu da wafer tablasının hareket yörüngesinin hatalı olmasına yol açabilir. Destekleyici optik bileşenler de kayarak tarama ışınının "sapmasına" neden olur. Uzun süre sürekli çalışmak da hataların birikmesine ve doğruluğun giderek kötüleşmesine neden olur.
Ama endişelenmeyin. İnsanların zaten çözümleri var. Malzeme açısından, daha düşük termal genleşme katsayısına sahip granit damarlar seçilecek ve yaşlandırma işlemine tabi tutulacak. Sıcaklık kontrolü açısından, atölye sıcaklığı 23±0,5℃ veya daha düşük bir değerde hassas bir şekilde kontrol edilecek ve taban için aktif bir ısı dağıtım cihazı da tasarlanacak. Yapısal tasarım açısından simetrik yapılar ve esnek destekler benimsenmiş ve sıcaklık sensörleri aracılığıyla gerçek zamanlı izleme gerçekleştirilmiştir. Termal deformasyondan kaynaklanan hatalar, algoritmalar tarafından dinamik olarak düzeltilmektedir.
ASML litografi makineleri gibi üst düzey ekipmanlar, bu yöntemler sayesinde granit tabanın termal genleşme etkisini son derece küçük bir aralıkta tutarak, gofret tarama hassasiyetinin nanometre seviyesine ulaşmasını sağlar. Bu nedenle, doğru şekilde kontrol edildiği sürece granit taban, gofret tarama ekipmanları için güvenilir bir seçim olmaya devam eder.
Gönderi zamanı: 12 Haz 2025