Granit, yüksek sertlik, düşük termal genleşme ve üstün titreşim sönümleme özellikleri gibi benzersiz özellikleri nedeniyle, özellikle yarı iletken işleme ekipmanları için makine tabanları için mükemmel bir malzemedir. Geleneksel olarak makine tabanları için metal malzeme kullanılırken, granit aşağıdaki nedenlerden dolayı üstün bir alternatif olarak ortaya çıkmıştır:
Yüksek rijitlik: Bir makine tabanının, titreşimleri en aza indirmek ve wafer işleme sırasında hassasiyeti korumak için rijit ve stabil olması gerekir. Granit, yüksek rijitlik-ağırlık oranına sahip olduğundan son derece rijit ve stabildir, bu da titreşimleri azaltır ve mükemmel işleme hassasiyeti sağlar.
Düşük termal genleşme: Sıcaklık değişimleri metalin genleşmesine veya büzülmesine neden olarak makine tabanında boyut değişikliklerine ve işleme doğruluğunda hatalara yol açabilir. Granit ise düşük bir termal genleşme katsayısına sahiptir; bu da sıcaklık değişimleriyle fazla genleşmediği veya büzülmediği anlamına gelir ve işlemede istikrar ve doğruluk sağlar.
Üstün titreşim sönümleme: Titreşim, takım tezgahlarında sık karşılaşılan bir sorundur ve boyut hatalarına, yüzey kalitesi sorunlarına ve hatta makine parçalarının erken aşınmasına yol açabilir. Granit, mükemmel titreşim sönümleme özellikleriyle bilinir; bu da titreşimleri emip sönümleyerek düzgün ve hassas işlemeyi sağlar.
Kimyasal direnç: Yonga levha işleme, çeşitli kimyasalların kullanımını içerir ve bu kimyasallara maruz kalma, zamanla makine tabanında korozyona ve bozulmaya neden olabilir. Granit, kimyasal korozyona karşı oldukça dirençlidir, bu da onu yonga levha işleme ekipmanlarındaki makine tabanları için güvenli ve dayanıklı bir malzeme seçeneği haline getirir.
Düşük bakım gereksinimi: Granit minimum bakım gerektirir, temizlenmesi kolaydır ve metal gibi korozyona uğramaz veya paslanmaz. Bu da daha düşük bakım maliyetleri ve ekipman için daha az arıza süresi anlamına gelir.
Genel olarak, yarı iletken levha işleme ekipmanları için makine tabanında metal yerine granit tercih etmek, yüksek sertlik, düşük termal genleşme, üstün titreşim sönümleme, mükemmel kimyasal direnç ve düşük bakım gereksinimi gibi çeşitli avantajlar sunar. Bu faydalar, makine tabanının stabil, hassas ve dayanıklı kalmasını sağlayarak yüksek kaliteli yarı iletken levha işleme ve artan verimlilikle sonuçlanır.
Yayın tarihi: 28 Aralık 2023