Granit bileşenler, yüksek stabilite ve dayanıklılıklarından dolayı yarı iletken ekipmanlarda yaygın olarak kullanılmaktadır.Yarı iletken üretim süreçlerinin hassasiyetini ve doğruluğunu korumaktan sorumludurlar.Ancak granit bileşenlerin etkinliği ve güvenilirliği, tasarım, imalat ve kurulum sırasında desteklenen standartlara ve spesifikasyonlara bağlıdır.
Yarı iletken ekipmanlarda granit bileşenler kullanılırken uyulması gereken standartlardan ve spesifikasyonlardan bazıları şunlardır:
1. Malzeme Yoğunluğu: Granit bileşenlerin imalatında kullanılan granit malzemenin yoğunluğu 2,65g/cm3 civarında olmalıdır.Bu, doğal granit malzemenin yoğunluğudur ve granit bileşenlerin özelliklerinde tutarlılık ve güvenilirlik sağlar.
2. Düzlük: Düzlük, yarı iletken ekipmanlarda kullanılan granit bileşenler için en önemli özelliklerden biridir.Granit yüzeyinin düzlüğü 0,001 mm/m2'nin altında olmalıdır.Bu, yarı iletken üretim süreçleri için gerekli olan bileşen yüzeyinin düz ve düz olmasını sağlar.
3. Yüzey Pürüzlülüğü: Granit bileşenlerin yüzey pürüzlülüğü 0,4 µm'nin altında olacak şekilde yüksek kalitede olmalıdır.Bu, granit bileşenin yüzeyinin, yarı iletken ekipmanın düzgün çalışması için kritik olan düşük bir sürtünme katsayısına sahip olmasını sağlar.
4. Termal Genleşme Katsayısı: Yarı iletken ekipmanlar farklı sıcaklıklarda çalışır ve granit bileşenlerin deformasyon olmadan termal dalgalanmalara dayanabilmesi gerekir.Yarı iletken ekipmanlarda kullanılan granitin ısıl genleşme katsayısı 2 x 10^-6 /°C'nin altında olmalıdır.
5. Boyutsal Tolerans: Boyutsal tolerans, granit bileşenlerin performansı için çok önemlidir.Granit bileşenlerin boyut toleransı tüm kritik boyutlar için ±0,1 mm dahilinde olmalıdır.
6. Sertlik ve Aşınma Direnci: Sertlik ve aşınma direnci, yarı iletken ekipmanlarda kullanılan granit bileşenler için temel özelliklerdir.Granitin Mohs Ölçeği 6-7 sertliği vardır, bu da onu yarı iletken ekipman uygulamalarında kullanıma uygun bir malzeme haline getirir.
7. Yalıtım Performansı: Yarı iletken ekipmanlarda kullanılan granit bileşenlerin, hassas elektronik bileşenlerin zarar görmesini önlemek için mükemmel yalıtım performansına sahip olması gerekir.Elektrik direnci 10^9 Ω/cm'nin üzerinde olmalıdır.
8. Kimyasal Direnç: Granit bileşenleri, yarı iletken üretim süreçlerinde kullanılan asitler ve alkaliler gibi yaygın kimyasallara karşı dayanıklı olmalıdır.
Sonuç olarak, yarı iletken ekipmanlarda kullanılan granit bileşenlere ilişkin standartlar ve spesifikasyonlar, hem bileşenlerin hem de kullanıldıkları ekipmanın uzun ömürlülüğünü ve güvenilirliğini sağlamak için çok önemlidir. Tasarım, imalat ve kurulum sırasında yukarıdaki kurallara kesinlikle uyulmalıdır. Bileşenlerin en yüksek kalitede olmasını sağlamak için süreçler.Yarı iletken üreticileri, bu standartları ve spesifikasyonları takip ederek, ekipmanlarının performansının optimum seviyede kalmasını sağlayarak üretkenliğin ve kârlılığın artmasını sağlayabilirler.
Gönderim zamanı: Mar-20-2024