Yarı iletken üretimi alanında, otomatik optik muayene (AOI) ekipmanları, yongaların kalitesinin sağlanmasında kritik bir rol oynar. Algılama doğruluğundaki en ufak bir iyileştirme bile tüm sektörde büyük bir dönüşüme yol açabilir. Kilit bir bileşen olan ekipman tabanı, algılama doğruluğu üzerinde derin bir etkiye sahiptir. Son yıllarda, taban malzemelerinde bir devrim yaşandı. Olağanüstü titreşim bastırma performansıyla granit, geleneksel dökme demir malzemelerin yerini giderek alarak AOI muayene ekipmanlarının yeni gözdesi haline geldi. Titreşim bastırma verimliliği, dökme demire kıyasla %92 arttı. Bu verilerin arkasında hangi teknolojik atılımlar ve sektörel değişimler yatıyor?
Yarı iletken AOI muayene ekipmanlarında titreşime ilişkin sıkı gereksinimler
Yarı iletken yongaların üretim süreci nanometre ölçeğine girmiştir. AOI inceleme süreci sırasında, son derece küçük titreşimler bile inceleme sonuçlarında sapmalara neden olabilir. Yonga yüzeyindeki ince çizikler, boşluklar ve diğer kusurlar genellikle mikrometre hatta nanometre düzeyindedir. Algılama ekipmanının optik lenslerinin bu ayrıntıları son derece yüksek hassasiyetle yakalaması gerekir. Tabandan iletilen herhangi bir titreşim, lensin kaymasına veya sallanmasına neden olarak bulanık görüntü elde edilmesine ve dolayısıyla kusur tespitinin doğruluğunu etkilemesine yol açar.
Dökme demir malzemeler, belirli bir mukavemet ve işleme performansına sahip olmaları ve nispeten düşük maliyetli olmaları nedeniyle bir zamanlar AOI muayene ekipmanlarının tabanlarında yaygın olarak kullanılıyordu. Ancak, titreşim bastırma açısından dökme demirin belirgin eksiklikleri vardır. Dökme demirin iç yapısı, içinde küçük boşluklara eşdeğer olan ve malzemenin sürekliliğini bozan çok sayıda grafit levha içerir. Ekipman çalışırken titreşim ürettiğinde veya dış ortam titreşiminden etkilendiğinde, titreşim enerjisi dökme demirde etkili bir şekilde azaltılamaz, ancak sürekli olarak yansıtılır ve grafit levha ile matris arasında üst üste biner ve bu da titreşimin sürekli yayılmasına neden olur. İlgili deneyler, dökme demir taban dış titreşimle uyarıldıktan sonra titreşim azaltma süresinin birkaç saniye sürebileceğini ve bu süre zarfında tespit doğruluğu üzerinde ciddi bir etkiye sahip olacağını göstermektedir. Ayrıca, dökme demirin elastik modülü nispeten düşüktür. Ekipmanın yer çekimi ve titreşim stresinin uzun süreli etkisi altında, deformasyona eğilimlidir ve bu da titreşim iletimini daha da yoğunlaştırır.
Granit tabanların titreşim bastırma verimliliğinde %92'lik artışın ardındaki sır
Doğal bir taş türü olan granit, yüz milyonlarca yıl süren jeolojik süreçler sonucunda son derece yoğun ve homojen bir iç yapı oluşturmuştur. Esas olarak kuvars ve feldispat gibi mineral kristallerinin sıkı bir şekilde birleşmesinden oluşur ve kristaller arasındaki kimyasal bağlar güçlü ve kararlıdır. Bu yapı, granite olağanüstü bir titreşim bastırma yeteneği kazandırır. Titreşim granit tabanına iletildiğinde, içindeki mineral kristalleri titreşim enerjisini hızla ısı enerjisine dönüştürerek dağıtabilir. Çalışmalar, granitin sönümlemesinin dökme demirden birkaç kat daha yüksek olduğunu göstermektedir; bu da titreşim enerjisini daha verimli bir şekilde emebildiği ve titreşimin genliğini ve süresini azalttığı anlamına gelir. Profesyonel testler sonucunda, aynı titreşim uyarım koşulları altında, granit tabanının titreşim sönümleme süresi dökme demirin yalnızca %8'i kadardır ve titreşim bastırma verimliliği %92 oranında artmıştır.
Granitin yüksek sertliği ve yüksek elastik modülü de önemli bir katkı sağlar. Yüksek sertlik, tabanın ekipman ağırlığını ve dış kuvvetleri taşırken deforme olma olasılığını azaltır ve her zaman sabit bir destek durumu sağlar. Yüksek elastik modül, tabanın titreşime maruz kaldığında hızla orijinal şekline dönmesini sağlayarak titreşim birikimini azaltır. Ayrıca, granit mükemmel bir termal stabiliteye sahiptir ve ortam sıcaklığındaki değişikliklerden neredeyse hiç etkilenmez, sıcaklık dalgalanmalarının neden olduğu termal genleşme ve büzülme deformasyonunu önler ve böylece titreşim bastırma performansının istikrarını daha da artırır.
Granit tabanların getirdiği endüstri dönüşümü ve beklentileri
Granit tabanlı AOI muayene ekipmanı, tespit hassasiyetini önemli ölçüde artırmıştır. Küçük boyutlu talaşlardaki kusurları güvenilir bir şekilde tespit edebilir, hatalı değerlendirme oranını %1'e kadar düşürebilir ve talaş üretim verimini önemli ölçüde artırabilir. Bu arada, ekipmanın stabilitesi artırılmış, titreşim sorunları nedeniyle oluşan bakım kesintilerinin sayısı azaltılmış, ekipmanın hizmet ömrü uzatılmış ve genel işletme maliyetleri düşürülmüştür.
Gönderim zamanı: 14 Mayıs 2025