Yarı iletken üretimi alanında, otomatik optik muayene (AOI) ekipmanı yongaların kalitesini sağlamada önemli bir rol oynar. Algılama doğruluğunda ufak bir iyileştirme bile tüm endüstride büyük bir dönüşüme yol açabilir. Önemli bir bileşen olarak ekipman tabanı, algılama doğruluğu üzerinde derin bir etkiye sahiptir. Son yıllarda, taban malzemelerindeki bir devrim endüstriyi kasıp kavurdu. Olağanüstü titreşim bastırma performansıyla granit, geleneksel dökme demir malzemelerin yerini giderek aldı ve AOI muayene ekipmanının yeni gözdesi haline geldi. Titreşim bastırma verimliliği, dökme demire kıyasla %92 oranında arttı. Bu verilerin arkasında hangi teknolojik atılımlar ve endüstri değişiklikleri yatıyor?
Yarı iletken AOI muayene ekipmanlarında titreşime ilişkin katı gereklilikler
Yarı iletken çiplerin üretim süreci nanoölçek çağına girmiştir. AOI inceleme süreci sırasında, son derece küçük titreşimler bile inceleme sonuçlarında sapmalara neden olabilir. Çipin yüzeyindeki ince çizikler, boşluklar ve diğer kusurlar genellikle mikrometre veya hatta nanometre seviyesindedir. Algılama ekipmanının optik lenslerinin bu ayrıntıları son derece yüksek hassasiyetle yakalaması gerekir. Taban tarafından iletilen herhangi bir titreşim, lensin kaymasına veya sallanmasına neden olur, bu da bulanık görüntü edinimiyle sonuçlanır ve böylece kusur tanımanın doğruluğunu etkiler.
Dökme demir malzemeler bir zamanlar AOI muayene ekipmanlarının tabanlarında yaygın olarak kullanılıyordu çünkü belirli bir mukavemete ve işleme performansına sahiptiler ve maliyetleri nispeten düşüktü. Ancak, titreşim bastırma açısından dökme demirin belirgin eksiklikleri vardır. Dökme demirin iç yapısı, içerideki küçük boşluklara eşdeğer olan ve malzemenin sürekliliğini bozan çok sayıda grafit levha içerir. Ekipman çalıştığında ve titreşim ürettiğinde veya dış çevresel titreşimden etkilendiğinde, titreşim enerjisi dökme demirde etkili bir şekilde zayıflatılamaz, ancak sürekli olarak yansıtılır ve grafit levha ile matris arasına bindirilir ve bunun sonucunda titreşimin sürekli yayılması sağlanır. İlgili deneyler, dökme demir tabanın dış titreşimle uyarılmasından sonra titreşim zayıflatma süresinin birkaç saniye sürebileceğini ve bunun bu süre zarfında tespit doğruluğu üzerinde ciddi bir etkiye sahip olacağını göstermektedir. Ek olarak, dökme demirin elastik modülü nispeten düşüktür. Ekipmanın yer çekimi ve titreşim stresinin uzun vadeli etkisi altında, deformasyona eğilimlidir ve titreşim iletimini daha da yoğunlaştırır.
Granit tabanların titreşim bastırma verimliliğinin %92 oranında artmasının ardındaki sır
Granit, bir tür doğal taş olarak, yüz milyonlarca yıl boyunca jeolojik süreçler yoluyla son derece yoğun ve düzgün bir iç yapı oluşturmuştur. Esas olarak kuvars ve feldispat gibi mineral kristallerinin sıkı bir şekilde birleşmesinden oluşur ve kristaller arasındaki kimyasal bağlar güçlü ve kararlıdır. Bu yapı, granite olağanüstü bir titreşim bastırma yeteneği kazandırır. Titreşim granit tabanına iletildiğinde, içindeki mineral kristalleri titreşim enerjisini hızla ısı enerjisine dönüştürebilir ve dağıtabilir. Çalışmalar, granitin sönümlenmesinin dökme demirden birkaç kat daha yüksek olduğunu, yani titreşim enerjisini daha verimli bir şekilde emebileceğini, titreşimin genliğini ve süresini azaltabileceğini göstermektedir. Profesyonel testlerden sonra, aynı titreşim uyarım koşulları altında, granit tabanının titreşim zayıflama süresi dökme demirin yalnızca %8'idir ve titreşim bastırma verimliliği %92 oranında artmıştır.
Granitin yüksek sertliği ve yüksek elastik modülü de önemli ölçüde katkıda bulunur. Yüksek sertlik, tabanın ekipmanın ağırlığını ve dış kuvvet darbelerini taşırken deforme olma olasılığının daha düşük olmasını ve her zaman sabit bir destek durumunu korumasını sağlar. Yüksek elastik modül, tabanın titreşime maruz kaldığında hızla orijinal şekline dönebilmesini sağlayarak titreşim birikimini azaltır. Ayrıca granit mükemmel termal kararlılığa sahiptir ve ortam sıcaklığındaki değişikliklerden neredeyse hiç etkilenmez, sıcaklık dalgalanmalarından kaynaklanan termal genleşme ve büzülme deformasyonundan kaçınır, böylece titreşim bastırma performansının kararlılığını daha da sağlar.
Granit tabanların getirdiği endüstri dönüşümü ve beklentileri
Granit tabanlı AOI muayene ekipmanı, tespit doğruluğunu önemli ölçüde iyileştirmiştir. Daha küçük boyutlu talaşlardaki kusurları güvenilir bir şekilde belirleyebilir, yanlış değerlendirme oranını %1'e kadar düşürebilir ve talaş üretiminin verim oranını büyük ölçüde artırabilir. Bu arada, ekipmanın kararlılığı artırılmış, titreşim sorunları nedeniyle oluşan bakım için yapılan kesintilerin sayısı azaltılmış, ekipmanın hizmet ömrü uzatılmış ve genel işletme maliyetleri düşürülmüştür.
Gönderi zamanı: 14-May-2025