Üst düzey üretim ve son teknoloji bilimsel araştırma alanlarında, hassas statik basınçlı hava yüzer hareketli platformlar, ultra hassas çalışma elde etmek için kilit ekipmandır. Granit hassas taban, platformun temel destek parçasıdır ve performansı çalışma ortamıyla yakından ilişkilidir. Bu çevresel gereklilikleri anlamak ve karşılamak, yalnızca platformun yüksek hassasiyetle çalışmasını sağlamakla kalmaz, aynı zamanda aşağıda ayrıntılı olarak açıklanan ilgili alanlardaki rekabet gücünü artırmak için de önemli bir rol oynar.
1. Sıcaklık: boyutsal kararlılığı sağlamak için hassas kontrol
Granit, kararlılığıyla bilinse de, termal genleşme katsayısı sıfır değildir ve küçük sıcaklık değişimleri boyut doğruluğunu etkileyebilir. Genel olarak, granitin termal genleşme katsayısı 5-7 ×10⁻⁶/℃'dir. Hassas statik basınçlı hava yüzen hareketli platform uygulama senaryosunda, bu küçük değişiklik platform tarafından güçlendirilir ve bu da hareket doğruluğunda sapmaya yol açabilir. Örneğin, yarı iletken çip üretim sürecinde, danami seviyesindeki konumlandırma doğruluğu gereksinimleri için litografi işlemi, ortam sıcaklığındaki 1 °C dalgalanma, 1 metrelik granit tabanının kenar uzunluğu 5-7 mikronluk doğrusal genleşme veya büzülmeye neden olabilir, bu da çip litografi deseninde sapmaya ve verimi düşürmeye yeter. Bu nedenle, granit hassas taban ile donatılmış hassas statik basınçlı hava yüzen platform, ideal çalışma ortamı sıcaklığı 20 ° C ± 1 ° C'de kesinlikle kontrol edilmelidir, işletmeler yüksek hassasiyetli sabit sıcaklık klima sistemi kurabilir, ortam sıcaklığını sürekli olarak izleyebilir ve doğru bir şekilde ayarlayabilir, granit taban stabilitesinin boyutunu koruyabilir, platformun yüksek hassasiyetli çalışmasını sağlamak için.
2. nem: makul kontrol, temel performansı korur
Nem, hassas granit tabanlar üzerinde de önemli bir etkiye sahiptir. Yüksek nemli bir ortamda, granit su buharını kolayca emer ve yüzeyde yoğuşma meydana gelebilir. Bu durum, hava flotasyon sisteminin normal çalışmasını engellemenin yanı sıra, granit yüzeyinde uzun vadede aşınmaya neden olarak hassasiyetini ve kullanım ömrünü azaltır. Optik lens taşlama atölyesini örnek olarak ele alırsak, nem oranı uzun süre %60'ın üzerindeyse, granit taban yüzeyine tutunan su buharı, hava flotasyon filminin homojenliğini bozarak lens taşlama hassasiyetinde düşüşe ve yüzey kusurlarına neden olur. Bu nedenle, çalışma ortamının bağıl neminin %40-%60 arasında kontrol edilmesi gerekir. İşletmeler, nemi gerçek zamanlı olarak izlemek ve kontrol etmek, hassas granit taban için uygun bir nem ortamı oluşturmak ve hassas statik basınçlı hava yüzdürme hareket platformunun istikrarlı çalışmasını sağlamak için nem gidericiler, nem sensörleri ve diğer ekipmanları kullanabilirler.
3. temizlik: sıkı kontrol, partikül girişimini ortadan kaldırma
Toz parçacıkları, hassas statik basınçlı hava yüzer hareketli platformunun "düşmanı"dır ve granit hassas tabana büyük zarar verir. Küçük parçacıklar, gaz şamandıra kaydırıcısı ile granit taban arasındaki gaz filmi boşluğuna girdiğinde, gaz filminin düzgünlüğünü bozabilir, sürtünmeyi artırabilir ve hatta taban yüzeyini çizerek platform hareketinin hassasiyetini ciddi şekilde etkileyebilir. Havacılık parçalarının ultra hassas işleme atölyesinde, havadaki toz parçacıkları granit tabana düşerse, işleme takımının hareket yörüngesi sapabilir ve bu da parçaların işleme hassasiyetini etkileyebilir. Bu nedenle, çalışma alanı son derece temiz tutulmalı ve 10.000 veya daha yüksek bir temizlik standardına ulaşılmalıdır. İşletmeler, yüksek verimli hava filtreleri (HEPA) takarak havadaki toz parçacıklarını filtreleyebilir ve insanların getirdiği tozu azaltmak ve granit taban ile hassas statik basınçlı hava yüzer hareketli platformun yüksek hassasiyetli çalışma ortamını korumak için personelin tozsuz giysiler, galoşlar vb. giymesini zorunlu kılabilir.
4. Titreşim: Pürüzsüz bir alan yaratmak için etkili izolasyon
Dış titreşimler hassas statik basınçlı hava yüzer platformunun hassasiyetini ciddi şekilde etkileyecektir. Hassas granit taban belirli bir titreşim azaltma kapasitesine sahip olsa da, yüksek dayanımlı titreşim yine de tampon sınırını aşabilir. Fabrika çevresindeki trafik ve büyük mekanik ekipmanların çalışmasıyla oluşan titreşim, zeminden granit tabana iletilir ve bu da platform hareketinin doğruluğunu etkiler. Üst düzey CMM'lerde titreşim, ölçüm probu ile ölçülecek iş parçası arasındaki temasın dengesiz olmasına ve ölçüm verilerinin sapmasına neden olabilir. Bu sorunu çözmek için, ekipman kurulum alanına titreşim izolasyon pedleri yerleştirmek, titreşim izolasyon temeli oluşturmak veya dış titreşimi aktif olarak dengelemek için aktif titreşim izolasyon sistemi kullanmak ve granit hassas taban ve hassas statik basınçlı hava yüzer hareket platformu için sessiz ve istikrarlı bir çalışma ortamı yaratmak gibi etkili titreşim izolasyon önlemleri almak gerekir.
Hassas statik basınçlı hava yüzer hareket platformunda granit hassas tabanın avantajlarından tam olarak yararlanmak ve platformun çeşitli endüstriler için yüksek hassasiyet ve yüksek stabilitede hareket kontrol hizmetleri sunmasını sağlamak için yukarıdaki çevresel gereklilikleri karşılayın. İşletmeler üretim ortamında bu ayrıntılara dikkat edebilirlerse, hassas üretim, bilimsel araştırma ve diğer alanlarda fırsatları yakalayacak, rekabet güçlerini artıracak ve sürdürülebilir kalkınmaya ulaşacaklardır.
Gönderi zamanı: 10 Nis 2025