Üst düzey üretim ve son teknoloji bilimsel araştırma alanlarında, hassas statik basınçlı hava yüzen hareket platformu, ultra hassas çalışma elde etmek için anahtar ekipmandır. Granit hassas taban, platformun temel destekleyici parçasıdır ve performansı çalışma ortamıyla yakından ilişkilidir. Bu çevresel gereklilikleri anlamak ve karşılamak, yalnızca platformun yüksek hassasiyetli çalışmasını sağlamakla kalmaz, aynı zamanda aşağıda ayrıntılı olarak açıklanan ilgili alanlardaki rekabet gücünü artırmak için işletmenin önemli bir parçasıdır.
1. Sıcaklık: boyutsal kararlılığı sağlamak için hassas kontrol
Granit, kararlılığıyla bilinse de, termal genleşme katsayısı sıfır değildir ve küçük sıcaklık değişiklikleri yine de boyut doğruluğunu etkileyebilir. Genel olarak konuşursak, granitin termal genleşme katsayısı 5-7 ×10⁻⁶/℃'dir. Hassas statik basınçlı hava yüzen hareket platformunun uygulama senaryosunda, bu küçük değişiklik platform tarafından yükseltilir ve bu da hareket doğruluğunun sapmasına yol açabilir. Örneğin, yarı iletken çip üretim sürecinde, danami seviyesinin konumlandırma doğruluğu gereksinimleri için litografi işlemi, 1 ° C ortam sıcaklığı dalgalanması, 1 metre granit tabanının kenar uzunluğu 5-7 mikron doğrusal genleşme veya büzülme üretebilir, bu da çip litografi desen sapmasını yapmak için yeterlidir, verimi azaltır. Bu nedenle, granit hassas taban ile donatılmış hassas statik basınçlı hava yüzen platform, ideal çalışma ortamı sıcaklığı kesinlikle 20 ° C ± 1 ° C'de kontrol edilmelidir, işletmeler yüksek hassasiyetli sabit sıcaklık klima sistemi kurabilir, ortam sıcaklığını sürekli olarak izleyebilir ve doğru bir şekilde ayarlayabilir, granit taban stabilitesinin boyutunu koruyabilir, platformun yüksek hassasiyetli çalışmasını sağlamak için.
2. nem: makul kontrol, temel performansı korur
Nem, hassas granit tabanlar üzerinde de önemli bir etkiye sahiptir. Yüksek nemli bir ortamda, granit su buharını kolayca emer ve yüzeyde yoğuşma olabilir, bu sadece hava flotasyon sisteminin normal çalışmasına müdahale etmekle kalmaz, aynı zamanda granit yüzeyinin uzun vadede aşınmasına da yol açarak doğruluğunu ve hizmet ömrünü azaltır. Örnek olarak optik lens taşlama atölyesini ele alırsak, nem uzun süre %60RH'den yüksekse, granit tabanın yüzeyine emilen su buharı hava şamandıra filminin düzgünlüğünü bozarak lens taşlama doğruluğunda ve yüzey kusurlarında azalmaya neden olur. Bu nedenle, çalışma ortamının bağıl nemi %40-%60RH arasında kontrol edilmelidir. İşletmeler, nemi gerçek zamanlı olarak izlemek ve kontrol etmek, hassas granit taban için uygun bir nem ortamı oluşturmak ve hassas statik basınçlı hava yüzdürme hareket platformunun kararlı çalışmasını sağlamak için nem gidericiler, nem sensörleri ve diğer ekipmanları kullanabilirler.
3. temizlik: sıkı kontrol, partikül girişimini ortadan kaldırın
Toz parçacıkları hassas statik basınçlı hava yüzen hareket platformunun "düşmanıdır" ve granit hassas tabanına büyük zarar verir. Küçük parçacıklar gaz şamandıra kaydırıcısı ile granit taban arasındaki gaz filmi boşluğuna girdiğinde, gaz filminin düzgünlüğünü bozabilir, sürtünmeyi artırabilir ve hatta tabanın yüzeyini çizebilir ve platform hareketinin doğruluğunu ciddi şekilde etkileyebilir. Havacılık parçalarının ultra hassas işleme atölyesinde, havadaki toz parçacıkları granit tabana düşerse, işleme aracının hareket yörüngesi sapabilir ve parçaların işleme doğruluğunu etkileyebilir. Bu nedenle, çalışma alanı son derece temiz tutulmalı ve 10.000 veya daha yüksek bir temizlik standardına ulaşılmalıdır. İşletmeler, yüksek verimli hava filtreleri (HEPA) takarak havadaki toz parçacıklarını filtreleyebilir ve personelin tozsuz giysiler, ayakkabı kılıfları vb. giymesini, insanların getirdiği tozu azaltmasını ve granit tabanın ve hassas statik basınçlı hava yüzen hareket platformunun yüksek hassasiyetli çalışma ortamını korumasını isteyebilir.
4. Titreşim: Pürüzsüz bir alan yaratmak için etkili izolasyon
Dış titreşim, hassas granit taban belirli bir titreşim azaltma kapasitesine sahip olmasına rağmen, hassas statik basınçlı hava yüzer platformunun hassasiyetini ciddi şekilde etkileyecektir, ancak yüksek mukavemetli titreşim yine de tampon sınırını aşabilir. Fabrika etrafındaki trafik ve büyük mekanik ekipmanların çalışması tarafından üretilen titreşim, zeminden granit tabana iletilir ve bu da platform hareketinin doğruluğunu etkileyecektir. Üst düzey CMM'de titreşim, ölçüm probu ile ölçülecek iş parçası arasındaki temasın dengesiz olmasına ve ölçüm verilerinin sapmasına neden olabilir. Bu sorunu çözmek için, ekipman kurulum alanına titreşim izolasyon pedleri yerleştirmek, titreşim izolasyon temeli oluşturmak veya harici titreşimi aktif olarak dengelemek için aktif titreşim izolasyon sistemi kullanmak ve granit hassas taban ve hassas statik basınçlı hava yüzer hareket platformu için sessiz ve istikrarlı bir çalışma ortamı yaratmak gibi etkili titreşim izolasyon önlemleri almak gerekir.
Yukarıdaki çevresel gereklilikleri karşılayın, hassas statik basınçlı hava yüzer hareket platformunda granit hassas tabanın avantajlarından tam anlamıyla yararlanın, platformun çeşitli endüstriler için yüksek hassasiyet ve yüksek stabilite hareket kontrol hizmetleri sağlamasını garantileyin. İşletmeler üretim ortamında bu ayrıntılara dikkat edebilirlerse, hassas üretim, bilimsel araştırma ve diğer alanlarda fırsatı yakalayacak, rekabet güçlerini artıracak ve sürdürülebilir kalkınmaya ulaşacaklardır.
Gönderi zamanı: 10-Nis-2025