Granit bileşenleri, üstün yüzey kaplaması, yüksek sertlik ve mükemmel titreşim sönümleme gibi mükemmel özellikleri nedeniyle yarı iletken üretim işleminde yaygın olarak kullanılmaktadır. Granit bileşenleri, üretim sürecinde hassas konumlandırma ve stabilite sağladıkları için litografi makineleri, parlatma makineleri ve metroloji sistemleri dahil olmak üzere yarı iletken imalat ekipmanı için gereklidir. Granit bileşenleri kullanmanın tüm avantajlarına rağmen, kusurları da var. Bu makalede, yarı iletken üretim proses ürünleri için granit bileşenlerin kusurlarını tartışacağız.
İlk olarak, granit bileşenler yüksek termal genleşme katsayısına sahiptir. Bu, üretim sürecinde sorunlara neden olabilecek termal stres altında önemli ölçüde genişledikleri anlamına gelir. Yarı iletken üretim işlemi, termal stres nedeniyle tehlikeye girebilecek yüksek hassasiyet ve boyutsal doğruluk gerektirir. Örneğin, termal genişlemeye bağlı silikon gofret deformasyonu, litografi sırasında yarı iletken cihazın kalitesini tehlikeye atabilecek hizalama sorunlarına neden olabilir.
İkincisi, granit bileşenler yarı iletken üretim işleminde vakum sızıntılarına neden olabilecek gözeneklilik kusurlarına sahiptir. Sistemde hava veya başka bir gazın varlığı, gofret yüzeyinde kontaminasyona neden olabilir, bu da yarı iletken cihazın performansını etkileyebilecek kusurlara neden olabilir. Argon ve helyum gibi inert gazlar gözenekli granit bileşenlere sızabilir ve vakum işleminin bütünlüğüne müdahale edebilecek gaz kabarcıkları oluşturabilir.
Üçüncüsü, granit bileşenler, üretim sürecinin hassasiyetine müdahale edebilecek mikro -çiziklere sahiptir. Granit, özellikle sabit stres döngülerine maruz kaldığında, zaman içinde mikrokraçlar geliştirebilen kırılgan bir malzemedir. Mikro -çizimlerin varlığı, litografi hizalaması veya gofret parlatma gibi üretim sürecinde önemli sorunlara neden olan boyutsal kararsızlığa yol açabilir.
Dördüncüsü, granit bileşenler sınırlı esnekliğe sahiptir. Yarı iletken üretim işlemi, farklı işlem değişikliklerini karşılayabilecek esnek ekipman gerektirir. Bununla birlikte, granit bileşenler katıdır ve farklı işlem değişikliklerine uyum sağlayamaz. Bu nedenle, üretim sürecindeki herhangi bir değişiklik, granit bileşenlerin çıkarılmasını veya değiştirilmesini gerektirir, kesinti süresine yol açar ve üretkenliği etkilemektedir.
Beşinci olarak, granit bileşenler ağırlıkları ve kırılganlıkları nedeniyle özel kullanım ve ulaşım gerektirir. Granit, vinç ve kaldırıcılar gibi özel kullanım ekipmanı gerektiren yoğun ve ağır bir malzemedir. Ayrıca, granit bileşenler sevkiyat sırasında hasarı önlemek için dikkatli bir şekilde paketleme ve ulaşım gerektirir, bu da ek maliyetlere ve zamana yol açar.
Sonuç olarak, granit bileşenlerin yarı iletken üretim süreci ürünlerinin kalitesi ve üretkenliğini etkileyebilecek bazı dezavantajları vardır. Bu kusurlar, mikro -çizikler ve gözeneklilik kusurları için periyodik muayene, kontaminasyonu önlemek için uygun temizlik ve ulaşım sırasında dikkatli kullanım dahil olmak üzere granit bileşenlerin dikkatli bir şekilde kullanılması ve bakımı ile en aza indirilebilir. Kusurlara rağmen, granit bileşenler, üstün yüzey kaplaması, yüksek sertlik ve mükemmel titreşim sönümlemesi nedeniyle yarı iletken üretim sürecinin hayati bir parçası olmaya devam etmektedir.
Gönderme Zamanı: Aralık-05-2023