Granit bileşenler, üstün yüzey kalitesi, yüksek sertlik ve mükemmel titreşim sönümleme gibi mükemmel özelliklerinden dolayı yarı iletken üretim sürecinde yaygın olarak kullanılmaktadır.Granit bileşenleri, üretim süreci sırasında hassas konumlandırma ve stabilite sağladıklarından, litografi makineleri, cilalama makineleri ve metroloji sistemleri de dahil olmak üzere yarı iletken üretim ekipmanları için gereklidir.Granit bileşenlerin kullanılmasının tüm avantajlarına rağmen kusurları da vardır.Bu yazıda yarı iletken üretim prosesi ürünleri için granit bileşenlerin kusurlarını tartışacağız.
Birincisi, granit bileşenleri yüksek bir termal genleşme katsayısına sahiptir.Bu, üretim sürecinde sorunlara neden olabilecek termal stres altında önemli ölçüde genişledikleri anlamına gelir.Yarı iletken üretim süreci, termal stres nedeniyle tehlikeye girebilecek yüksek hassasiyet ve boyutsal doğruluk gerektirir.Örneğin, termal genleşme nedeniyle silikon tabakanın deformasyonu, litografi sırasında hizalama sorunlarına neden olabilir ve bu da yarı iletken cihazın kalitesini tehlikeye atabilir.
İkincisi, granit bileşenlerin yarı iletken üretim sürecinde vakum sızıntılarına neden olabilecek gözeneklilik kusurları vardır.Sistemde hava veya başka bir gazın varlığı, levhanın yüzeyinde kirlenmeye neden olabilir ve bu da yarı iletken cihazın performansını etkileyebilecek kusurlara neden olabilir.Argon ve helyum gibi inert gazlar gözenekli granit bileşenlere sızabilir ve vakum işleminin bütünlüğüne müdahale edebilecek gaz kabarcıkları oluşturabilir.
Üçüncüsü, granit bileşenlerde üretim sürecinin hassasiyetini etkileyebilecek mikro çatlaklar bulunur.Granit, özellikle sürekli stres döngülerine maruz kaldığında zamanla mikro çatlaklar oluşturabilen kırılgan bir malzemedir.Mikro çatlakların varlığı boyutsal kararsızlığa yol açarak üretim süreci sırasında litografi hizalaması veya levha cilalama gibi önemli sorunlara neden olabilir.
Dördüncüsü, granit bileşenlerin esnekliği sınırlıdır.Yarı iletken üretim süreci, farklı süreç değişikliklerine uyum sağlayabilecek esnek ekipmanlar gerektirir.Ancak granit bileşenleri serttir ve farklı proses değişikliklerine uyum sağlayamaz.Bu nedenle, üretim sürecindeki herhangi bir değişiklik, granit bileşenlerin çıkarılmasını veya değiştirilmesini gerektirerek arıza süresine yol açar ve üretkenliği etkiler.
Beşincisi, granit bileşenler ağırlıkları ve kırılganlıkları nedeniyle özel taşıma ve nakliye gerektirir.Granit, vinç ve kaldırıcı gibi özel taşıma ekipmanları gerektiren yoğun ve ağır bir malzemedir.Ek olarak, granit bileşenler nakliye sırasında hasar görmesini önlemek için dikkatli bir paketleme ve taşıma gerektirir, bu da ek maliyet ve zamana yol açar.
Sonuç olarak, granit bileşenlerin yarı iletken üretim prosesi ürünlerinin kalitesini ve verimliliğini etkileyebilecek bazı dezavantajları vardır.Bu kusurlar, mikro çatlaklar ve gözeneklilik kusurlarının periyodik muayenesi, kontaminasyonu önlemek için uygun temizlik ve nakliye sırasında dikkatli taşıma dahil olmak üzere, granit bileşenlerin dikkatli bir şekilde taşınması ve bakımı yoluyla en aza indirilebilir.Kusurlarına rağmen, granit bileşenler üstün yüzey kaplamaları, yüksek sertlikleri ve mükemmel titreşim sönümlemeleri nedeniyle yarı iletken üretim sürecinin hayati bir parçası olmaya devam ediyor.
Gönderim zamanı: Aralık-05-2023