Granit bileşenler, üstün yüzey kalitesi, yüksek sertlik ve mükemmel titreşim sönümlemesi gibi mükemmel özellikleri nedeniyle yarı iletken üretim sürecinde yaygın olarak kullanılmaktadır. Granit bileşenler, üretim sürecinde hassas konumlandırma ve stabilite sağladıkları için litografi makineleri, parlatma makineleri ve ölçüm sistemleri dahil olmak üzere yarı iletken üretim ekipmanları için olmazsa olmazdır. Granit bileşenlerin kullanımının tüm avantajlarına rağmen, kusurları da vardır. Bu makalede, yarı iletken üretim süreci ürünleri için granit bileşenlerin kusurlarını ele alacağız.
Öncelikle, granit bileşenler yüksek bir termal genleşme katsayısına sahiptir. Bu, termal stres altında önemli ölçüde genleştikleri ve bu durumun üretim sürecinde sorunlara yol açabileceği anlamına gelir. Yarı iletken üretim süreci, termal stres nedeniyle tehlikeye girebilecek yüksek hassasiyet ve boyut doğruluğu gerektirir. Örneğin, termal genleşmeden kaynaklanan silikon yonga deformasyonu, litografi sırasında hizalama sorunlarına yol açarak yarı iletken cihazın kalitesini düşürebilir.
İkincisi, granit bileşenler, yarı iletken üretim sürecinde vakum sızıntılarına neden olabilecek gözeneklilik kusurlarına sahiptir. Sistemde hava veya başka bir gazın bulunması, yonga plakasının yüzeyinde kirlenmeye neden olarak yarı iletken cihazın performansını etkileyebilecek kusurlara yol açabilir. Argon ve helyum gibi inert gazlar gözenekli granit bileşenlere sızabilir ve vakum sürecinin bütünlüğünü bozabilecek gaz kabarcıkları oluşturabilir.
Üçüncüsü, granit bileşenler, üretim sürecinin hassasiyetini etkileyebilecek mikro çatlaklara sahiptir. Granit, özellikle sürekli gerilim döngülerine maruz kaldığında zamanla mikro çatlaklar oluşturabilen kırılgan bir malzemedir. Mikro çatlakların varlığı, boyutsal kararsızlığa yol açarak, litografi hizalama veya gofret parlatma gibi üretim sürecinde önemli sorunlara neden olabilir.
Dördüncüsü, granit bileşenlerin esnekliği sınırlıdır. Yarı iletken üretim süreci, farklı proses değişikliklerine uyum sağlayabilen esnek ekipmanlar gerektirir. Ancak granit bileşenler serttir ve farklı proses değişikliklerine uyum sağlayamaz. Bu nedenle, üretim sürecindeki herhangi bir değişiklik, granit bileşenlerin çıkarılmasını veya değiştirilmesini gerektirerek aksama sürelerine ve üretkenliğin etkilenmesine yol açar.
Beşincisi, granit bileşenleri ağırlıkları ve kırılganlıkları nedeniyle özel taşıma ve nakliye gerektirir. Granit, vinç ve kaldırıcı gibi özel taşıma ekipmanları gerektiren yoğun ve ağır bir malzemedir. Ayrıca, granit bileşenlerin nakliye sırasında hasar görmesini önlemek için dikkatli bir şekilde paketlenmesi ve taşınması gerekir; bu da ek maliyetlere ve zamana yol açar.
Sonuç olarak, granit bileşenlerin, yarı iletken üretim süreci ürünlerinin kalitesini ve verimliliğini etkileyebilecek bazı dezavantajları vardır. Bu kusurlar, granit bileşenlerin dikkatli kullanımı ve bakımı, mikro çatlaklar ve gözeneklilik kusurları için periyodik muayene, kontaminasyonu önlemek için uygun temizlik ve nakliye sırasında dikkatli kullanım gibi önlemlerle en aza indirilebilir. Kusurlara rağmen, granit bileşenler üstün yüzey kalitesi, yüksek sertliği ve mükemmel titreşim sönümlemesi sayesinde yarı iletken üretim sürecinin hayati bir parçası olmaya devam etmektedir.
Gönderi zamanı: 05-12-2023