Granit bileşenler, üstün yüzey kalitesi, yüksek sertlik ve mükemmel titreşim sönümlemesi gibi mükemmel özellikleri nedeniyle yarı iletken üretim sürecinde yaygın olarak kullanılmıştır. Granit bileşenler, üretim süreci boyunca hassas konumlandırma ve stabilite sağladıkları için litografi makineleri, parlatma makineleri ve ölçüm sistemleri dahil olmak üzere yarı iletken üretim ekipmanları için olmazsa olmazdır. Granit bileşenlerin kullanımının tüm avantajlarına rağmen, aynı zamanda kusurları da vardır. Bu makalede, yarı iletken üretim süreci ürünleri için granit bileşenlerin kusurlarını tartışacağız.
Öncelikle, granit bileşenlerin yüksek bir termal genleşme katsayısı vardır. Bu, termal stres altında önemli ölçüde genişledikleri anlamına gelir ve bu da üretim süreci sırasında sorunlara neden olabilir. Yarı iletken üretim süreci, termal stres nedeniyle tehlikeye girebilecek yüksek hassasiyet ve boyut doğruluğu gerektirir. Örneğin, termal genleşme nedeniyle oluşan silikon gofret deformasyonu, litografi sırasında hizalama sorunlarına neden olabilir ve bu da yarı iletken aygıtın kalitesini tehlikeye atabilir.
İkinci olarak, granit bileşenlerde yarı iletken üretim sürecinde vakum sızıntılarına neden olabilecek gözeneklilik kusurları vardır. Sistemde hava veya başka bir gazın bulunması, gofretin yüzeyinde kirlenmeye neden olabilir ve bu da yarı iletken aygıtın performansını etkileyebilecek kusurlara yol açabilir. Argon ve helyum gibi inert gazlar gözenekli granit bileşenlere sızabilir ve vakum sürecinin bütünlüğüne müdahale edebilecek gaz kabarcıkları oluşturabilir.
Üçüncüsü, granit bileşenlerde üretim sürecinin hassasiyetini etkileyebilecek mikro çatlaklar bulunur. Granit, özellikle sürekli stres döngülerine maruz kaldığında zamanla mikro çatlaklar geliştirebilen kırılgan bir malzemedir. Mikro çatlakların varlığı boyutsal dengesizliğe yol açabilir ve litografi hizalaması veya gofret cilalama gibi üretim süreci sırasında önemli sorunlara neden olabilir.
Dördüncüsü, granit bileşenlerinin esnekliği sınırlıdır. Yarı iletken üretim süreci, farklı süreç değişikliklerine uyum sağlayabilen esnek ekipman gerektirir. Ancak, granit bileşenler serttir ve farklı süreç değişikliklerine uyum sağlayamaz. Bu nedenle, üretim sürecindeki herhangi bir değişiklik, granit bileşenlerin çıkarılmasını veya değiştirilmesini gerektirir, bu da duruşa ve üretkenliğin etkilenmesine yol açar.
Beşincisi, granit bileşenleri ağırlıkları ve kırılganlıkları nedeniyle özel elleçleme ve nakliye gerektirir. Granit, vinçler ve kaldırıcılar gibi özel elleçleme ekipmanları gerektiren yoğun ve ağır bir malzemedir. Ek olarak, granit bileşenleri nakliye sırasında hasarı önlemek için dikkatli paketleme ve nakliye gerektirir ve bu da ek maliyetlere ve zamana yol açar.
Sonuç olarak, granit bileşenlerin yarı iletken üretim süreci ürünlerinin kalitesini ve üretkenliğini etkileyebilecek bazı dezavantajları vardır. Bu kusurlar, mikro çatlaklar ve gözeneklilik kusurları için periyodik muayene, kontaminasyonu önlemek için uygun temizlik ve taşıma sırasında dikkatli elleçleme dahil olmak üzere granit bileşenlerin dikkatli bir şekilde taşınması ve bakımı yoluyla en aza indirilebilir. Kusurlara rağmen, granit bileşenler üstün yüzey kalitesi, yüksek sertliği ve mükemmel titreşim sönümlemesi nedeniyle yarı iletken üretim sürecinin hayati bir parçası olmaya devam etmektedir.
Gönderi zamanı: 05-Aralık-2023