Yarı iletken üretimi: Çip üretim sürecinde, fotolitografi işlemi devre deseninin gofret üzerine hassas bir şekilde aktarılmasını gerektirir. Tek eksenli hava yastıklı ultra hassas hareket modülünün granit tabanı, litografi ekipmanında gofret tablası için yüksek hassasiyetli konumlandırma ve istikrarlı destek sağlayabilir. Örneğin, ASML ve diğer uluslararası üne sahip litografi makinesi üreticileri, üst düzey ekipmanlarında granit tabanlı hava yastıklı hareket modülleri kullanmaktadır. Bu modüller, litografi deseninin doğruluğunu sağlamak için gofretin konumlandırma doğruluğunu nanometre düzeyinde kontrol ederek çipin entegrasyonunu ve performansını iyileştirir.
Hassas ölçüm alanı: CMM, endüstriyel üretimde yaygın olarak kullanılan, iş parçasının boyutunu, şeklini ve konum doğruluğunu ölçmek için kullanılan hassas bir ölçüm ekipmanıdır. Granit taban üzerindeki tek eksenli hava şamandırasının ultra hassas hareket modülü, CMM'nin hareket platformu olarak kullanılabilir ve yüksek hassasiyetli doğrusal hareket sağlayarak ölçüm probu için istikrarlı bir hareket yörüngesi sunar. Örneğin, Hexagon'un üst düzey CMM'si, bu kombinasyonu kullanarak büyük ve karmaşık parçaları mikron seviyesine kadar ölçüm doğruluğuyla ölçer ve otomotiv, havacılık ve diğer sektörlerde parça kalite kontrolü için güçlü bir güvence sağlar.
Havacılık ve uzay alanı: Havacılık ve uzay parçalarının işlenmesi ve test edilmesinde yüksek hassasiyet gereklidir. Örneğin, uçak motoru kanatlarının işlenmesi, kanat profilinin doğruluğunu sağlamak için takımın hareket yörüngesinin hassas kontrolünü gerektirir. Tek eksenli hava yastıklı ultra hassas hareket modülünün granit tabanı, beş eksenli işleme merkezine ve diğer ekipmanlara uygulanarak takım için yüksek hassasiyetli hareket kontrolü sağlar ve kanat işleme doğruluğunun tasarım gereksinimlerini karşılamasını garanti eder. Aynı zamanda, uçak motorunun montaj sürecinde, parçaların montaj doğruluğunu tespit etmek için yüksek hassasiyetli ölçüm ekipmanlarının kullanılması da gereklidir. Granit tabanlı hava yastıklı hareket modülü, montaj kalitesini sağlamak için ölçüm ekipmanına istikrarlı destek ve doğru hareket sağlayabilir.
Optik inceleme alanı: Optik bileşenlerin üretim ve test süreçlerinde, optik bileşenlerin yüksek hassasiyetli konumlandırılması ve ölçülmesi gereklidir. Örneğin, aynalar ve mercekler gibi yüksek hassasiyetli optik bileşenlerin üretiminde, yüzey şeklinin doğruluğunu tespit etmek için interferometreler ve diğer ekipmanların kullanılması gerekir. Tek eksenli hava yastıklı ultra hassas hareket modülünün granit tabanı, interferometrenin hareket platformu olarak kullanılabilir ve bu sayede mikron altı konumlandırma doğruluğu sağlanabilir ve optik bileşenlerin tespiti için doğru veri desteği sunulabilir. Ayrıca, lazer işleme ekipmanında, lazer ışınının tarama yörüngesini kontrol etmek için yüksek hassasiyetli bir hareket platformunun kullanılması da gereklidir; hava yastıklı hareket modülünün granit tabanı bu gereksinimi karşılayarak yüksek hassasiyetli lazer işlemeyi sağlayabilir.
Yayın tarihi: 07-08-2025