Yarı iletken üretimi: Çip üretim sürecinde, fotolitografi sürecinin devre desenini hassas bir şekilde gofrete aktarması gerekir. Tek eksenli hava yüzdürme ultra hassas hareket modülünün granit tabanı, litografi ekipmanındaki gofret tablası için yüksek hassasiyetli konumlandırma ve sabit destek sağlayabilir. Örneğin, ASML ve diğer uluslararası üne sahip litografi makinesi üreticileri, litografi deseninin doğruluğunu garantilemek için gofretin nanometre düzeyindeki konumlandırma doğruluğunu kontrol edebilen üst düzey ekipmanlarında granit tabanlı hava yüzdürme hareket modülleri kullanır ve böylece çipin entegrasyonunu ve performansını iyileştirir.
Hassas ölçüm alanı: CMM, iş parçasının boyutunu, şeklini ve konum doğruluğunu ölçmek için kullanılan, endüstriyel üretimde yaygın olarak kullanılan bir hassas ölçüm ekipmanıdır. Granit taban üzerindeki tek eksenli hava şamandırasının ultra hassas hareket modülü, yüksek hassasiyetli doğrusal hareketi gerçekleştirebilen ve ölçüm probu için kararlı bir hareket yörüngesi sağlayabilen CMM'nin hareket platformu olarak kullanılabilir. Örneğin, Hexagon'un üst düzey CMM'si, bu kombinasyonu mikron seviyesine kadar ölçüm doğruluğu ile büyük ve karmaşık parçaları ölçmek için kullanır ve otomotiv, havacılık ve diğer endüstrilerde parça kalite kontrolü için güçlü bir garanti sağlar.
Havacılık alanı: Havacılık parçalarının işlenmesi ve test edilmesinde yüksek hassasiyet gerekir. Örneğin, uçak motoru kanatlarının işlenmesi, kanat profili doğruluğunu sağlamak için aletin hareket yörüngesinin hassas bir şekilde kontrol edilmesini gerektirir. Tek eksenli hava şamandıralı ultra hassas hareket modülünün granit tabanı, alet için yüksek hassasiyetli hareket kontrolü sağlamak ve bıçağın işleme doğruluğunun tasarım gereksinimlerini karşılamasını sağlamak için beş eksenli işleme merkezine ve diğer ekipmanlara uygulanabilir. Aynı zamanda, uçak motorunun montaj sürecinde, parçaların montaj doğruluğunu tespit etmek için yüksek hassasiyetli ölçüm ekipmanı kullanmak da gereklidir. Granit tabanın hava şamandıralı hareket modülü, montaj kalitesini sağlamak için ölçüm ekipmanına kararlı destek ve doğru hareket sağlayabilir.
Optik muayene alanı: Optik bileşenlerin üretim ve test sürecinde, optik bileşenlerin yüksek hassasiyetli konumlandırılması ve ölçümü yapılması gerekir. Örneğin, aynalar ve mercekler gibi yüksek hassasiyetli optik bileşenler üretilirken, yüzey şekli doğruluğunu tespit etmek için interferometreler ve diğer ekipmanlar kullanmak gerekir. Tek eksenli hava yüzen ultra hassas hareket modülünün granit tabanı, interferometrenin hareket platformu olarak kullanılabilir, bu da alt mikron konumlandırma doğruluğunu gerçekleştirebilir ve optik bileşenlerin tespiti için doğru veri desteği sağlayabilir. Ek olarak, lazer işleme ekipmanında, lazer ışınının tarama yörüngesini kontrol etmek için yüksek hassasiyetli bir hareket platformu kullanmak da gerekir, hava yüzen hareket modülünün granit tabanı, yüksek hassasiyetli lazer işleme elde etmek için bu gereksinimi karşılayabilir.
Gönderi zamanı: Nis-07-2025