Yarı iletken üretimi: Çip üretim sürecinde, fotolitografi işleminin devre desenini hassas bir şekilde yonga plakasına aktarması gerekir. Tek eksenli hava yüzdürme ultra hassas hareket modülünün granit tabanı, litografi ekipmanındaki yonga tablası için yüksek hassasiyetli konumlandırma ve istikrarlı destek sağlayabilir. Örneğin, ASML ve diğer uluslararası üne sahip litografi makinesi üreticileri, üst düzey ekipmanlarında, yonga plakasının nanometre düzeyindeki konumlandırma doğruluğunu kontrol ederek litografi deseninin doğruluğunu garanti altına alan granit tabanlı hava yüzdürme hareket modülleri kullanır ve böylece yonganın entegrasyonunu ve performansını artırır.
Hassas ölçüm alanı: CMM, endüstriyel üretimde yaygın olarak kullanılan ve iş parçasının boyut, şekil ve konum doğruluğunu ölçmek için kullanılan hassas bir ölçüm ekipmanıdır. Granit taban üzerindeki tek eksenli hava şamandırasının ultra hassas hareket modülü, CMM'nin hareket platformu olarak kullanılabilir ve bu sayede yüksek hassasiyetli doğrusal hareket gerçekleştirilebilir ve ölçüm probu için kararlı bir hareket yörüngesi sağlanabilir. Örneğin, Hexagon'un üst düzey CMM'si, bu kombinasyonu kullanarak büyük ve karmaşık parçaları mikron seviyesine kadar ölçüm doğruluğuyla ölçer ve otomotiv, havacılık ve diğer sektörlerde parça kalite kontrolü için güçlü bir garanti sağlar.
Havacılık ve uzay alanı: Havacılık ve uzay parçalarının işlenmesi ve test edilmesinde yüksek hassasiyet gerekir. Örneğin, uçak motoru kanatlarının işlenmesi, kanat profili doğruluğunu sağlamak için takımın hareket yörüngesinin hassas bir şekilde kontrol edilmesini gerektirir. Tek eksenli havalı yüzdürme ultra hassas hareket modülünün granit tabanı, takım için yüksek hassasiyetli hareket kontrolü sağlamak ve kanadın işleme hassasiyetinin tasarım gereksinimlerini karşılamasını sağlamak için beş eksenli işleme merkezine ve diğer ekipmanlara uygulanabilir. Aynı zamanda, uçak motorunun montaj sürecinde, parçaların montaj doğruluğunu tespit etmek için yüksek hassasiyetli ölçüm ekipmanlarının kullanılması da gereklidir. Granit tabanın havalı yüzdürme hareket modülü, montaj kalitesini sağlamak için ölçüm ekipmanına istikrarlı destek ve doğru hareket sağlayabilir.
Optik muayene alanı: Optik bileşenlerin üretim ve test sürecinde, optik bileşenlerin yüksek hassasiyetli konumlandırma ve ölçümlerinin yapılması gerekir. Örneğin, aynalar ve mercekler gibi yüksek hassasiyetli optik bileşenlerin üretiminde, yüzey şekli doğruluğunu tespit etmek için interferometreler ve diğer ekipmanlar kullanmak gerekir. Tek eksenli hava yüzdürme ultra hassas hareket modülünün granit tabanı, interferometrenin hareket platformu olarak kullanılabilir ve bu sayede mikron altı konumlandırma doğruluğu elde edilebilir ve optik bileşenlerin tespiti için doğru veri desteği sağlanabilir. Ayrıca, lazer işleme ekipmanlarında, lazer ışınının tarama yörüngesini kontrol etmek için yüksek hassasiyetli bir hareket platformu kullanılması da gerekir. Hava yüzdürme hareket modülünün granit tabanı, yüksek hassasiyetli lazer işleme elde etmek için bu gereksinimi karşılayabilir.
Gönderi zamanı: 07 Nis 2025