Yarı iletken endüstrisinin nano ölçekli üretim süreçlerine doğru ilerlemesi sürecinde, çip üretiminde önemli bir bağlantı olan yonga kesimi, ekipman kararlılığı için son derece katı gereksinimlere sahiptir. Olağanüstü titreşim direnci ve termal kararlılığı ile granit taban, yonga kesme ekipmanının temel bir bileşeni haline gelmiş olup, yüksek hassasiyet ve yüksek verimlilikte yonga işleme elde etmek için güvenilir bir garanti sağlamaktadır.
Yüksek sönümleme ve titreşim önleme özellikleri: Nano düzeyde kesme hassasiyetini korur
Wafer kesme ekipmanı çalışırken, milin yüksek hızlı dönüşü, kesme aletinin yüksek frekanslı titreşimi ve çevredeki ekipman tarafından üretilen çevresel titreşim, kesme doğruluğu üzerinde önemli bir etkiye sahip olacaktır. Geleneksel metal tabanların sönümleme performansı sınırlıdır, bu da titreşimleri hızla azaltmayı zorlaştırır, bu da kesme aletlerinin mikron düzeyinde titremesine ve doğrudan yongalanmış kenarlar ve wafer'larda çatlaklar gibi kusurlara neden olur. Granit tabanın yüksek sönümleme özellikleri bu sorunu temelde çözmüştür.
Granitin iç mineral kristalleri sıkı bir şekilde iç içe geçerek doğal bir enerji dağılım yapısı oluşturur. Titreşim tabana iletildiğinde, iç mikro yapısı titreşim enerjisini hızla termal enerjiye dönüştürerek verimli bir titreşim zayıflaması sağlayabilir. Deneysel veriler, aynı titreşim ortamında granit tabanın titreşim genliğini 0,5 saniye içinde %90'dan fazla zayıflatabildiğini, metal tabanın ise 3 ila 5 saniyeye ihtiyaç duyduğunu göstermektedir. Bu olağanüstü sönümleme performansı, kesme aletinin nanoskala kesme işlemi sırasında sabit kalmasını sağlayarak, yonga kesme kenarının pürüzsüz olmasını garanti eder ve talaş oranını etkili bir şekilde azaltır. Örneğin, 5 nm yonga kesme işleminde, granit tabanlı ekipman, talaş boyutunu 10 μm içinde kontrol edebilir; bu, metal tabanlı ekipmandan %40'tan fazla daha yüksektir.
Ultra düşük termal genleşme katsayısı: Sıcaklık dalgalanmalarının etkisine karşı dayanıklıdır
Wafer kesme işlemi sırasında, kesme takımlarının sürtünmesiyle oluşan ısı, ekipmanın uzun süreli çalışmasından kaynaklanan ısı dağılımı ve atölye ortamı sıcaklığındaki değişiklikler, ekipman bileşenlerinin termal deformasyonuna neden olabilir. Metalik malzemelerin termal genleşme katsayısı nispeten yüksektir (yaklaşık 12×10⁻⁶/℃). Sıcaklık 5℃ dalgalandığında, 1 metre uzunluğundaki bir metal taban 60μm'lik bir deformasyona uğrayabilir, bu da kesme pozisyonunun kaymasına ve kesme hassasiyetinin ciddi şekilde etkilenmesine neden olabilir.
Granit tabanın termal genleşme katsayısı sadece (4-8) × 10⁻⁶/℃'dir, bu da metal malzemelerinkinin üçte birinden daha azdır. Aynı sıcaklık değişimi altında, boyut değişimi neredeyse göz ardı edilebilir. Belirli bir yarı iletken üretim işletmesinin ölçülen verileri, ortam sıcaklığının 10℃ dalgalandığı 8 saatlik sürekli yüksek yoğunluklu bir gofret kesme işlemi sırasında, granit tabanlı ekipmanın kesme pozisyonu ofsetinin 20 μm'den az olduğunu, metal tabanlı ekipmanın ise 60 μm'yi aştığını göstermektedir. Bu kararlı termal performans, kesme aleti ile gofret arasındaki göreceli konumun her zaman hassas kalmasını sağlar. Uzun süreli sürekli çalışma veya ortam sıcaklığındaki ani değişiklikler altında bile, kesme doğruluğunun tutarlılığı korunabilir.
Sertlik ve aşınma direnci: Ekipmanın uzun vadede istikrarlı çalışmasını sağlar
Titreşim direnci ve termal kararlılık avantajlarına ek olarak, granit tabanının yüksek sertliği ve aşınma direnci, gofret kesme ekipmanının güvenilirliğini daha da artırır. Granit, Mohs ölçeğinde 6 ila 7 sertliğe ve 120 MPa'yı aşan bir basınç dayanımına sahiptir. Kesme işlemi sırasında muazzam basınca ve darbe kuvvetine dayanabilir ve deformasyona eğilimli değildir. Bu arada, yoğun yapısı ona mükemmel aşınma direnci kazandırır. Sık kesme işlemleri sırasında bile, tabanın yüzeyi aşınmaya eğilimli değildir ve ekipmanın uzun süre yüksek hassasiyette çalışmasını sağlar.
Pratik uygulamalarda, birçok gofret üretim işletmesi granit tabanlı kesme ekipmanı kullanarak ürün verimini ve üretim verimliliğini önemli ölçüde iyileştirmiştir. Küresel olarak lider bir dökümhaneden alınan veriler, granit tabanlı ekipmanın tanıtılmasından sonra gofret kesme veriminin %88'den %95'in üzerine çıktığını, ekipman bakım döngüsünün üç kat uzatıldığını, üretim maliyetlerinin etkili bir şekilde azaltıldığını ve pazar rekabet gücünün artırıldığını göstermektedir.
Sonuç olarak, mükemmel titreşim direnci, termal kararlılığı, yüksek sertliği ve aşınma direnci ile granit taban, gofret kesme ekipmanları için kapsamlı performans garantileri sağlar. Yarı iletken teknolojisi daha yüksek hassasiyete doğru ilerledikçe, granit tabanlar gofret üretim alanında daha önemli bir rol oynayacak ve yarı iletken endüstrisinin sürekli yenilikçi gelişimini teşvik edecektir.
Gönderi zamanı: 20-Mayıs-2025