Hassas ölçüm alanında, mükemmel stabilitesi, yüksek sertliği ve iyi aşınma direnciyle granit hassas platform, birçok yüksek hassasiyetli ölçüm çalışması için ideal bir temel destek haline gelmiştir. Ancak, karanlıkta gizlenen "hassasiyet katili" gibi çevresel faktörlerdeki sıcaklık dalgalanmaları, granit hassas platformunun ölçüm doğruluğu üzerinde göz ardı edilemez bir etkiye sahiptir. Ölçüm çalışmalarının doğruluğunu ve güvenilirliğini sağlamak için etki eşiğinin derinlemesine incelenmesi büyük önem taşımaktadır.
Granit, kararlılığıyla bilinse de sıcaklık değişimlerinden etkilenmez. Ana bileşenleri kuvars, feldispat ve diğer minerallerdir ve bunlar farklı sıcaklıklarda termal genleşme ve büzülme fenomenine neden olur. Ortam sıcaklığı yükseldiğinde, granit hassas platform ısınır ve genleşir ve platformun boyutu hafifçe değişir. Sıcaklık düştüğünde ise orijinal haline geri döner. Görünüşte küçük olan boyut değişiklikleri, hassas ölçüm senaryolarında ölçüm sonuçlarını etkileyen temel faktörlere dönüştürülebilir.
Granit platformla eşleşen yaygın koordinat ölçüm cihazını örnek olarak alırsak, yüksek hassasiyetli ölçüm görevinde ölçüm doğruluğu gereksinimleri sıklıkla mikron seviyesine veya daha yükseğe ulaşır. 20℃'lik standart sıcaklıkta platformun çeşitli boyut parametrelerinin ideal durumda olduğu ve iş parçasının ölçülmesiyle doğru verilerin elde edilebileceği varsayılır. Ortam sıcaklığı dalgalandığında durum çok farklıdır. Çok sayıda deneysel veri istatistiği ve teorik analizden sonra, normal şartlar altında, 1℃'lik ortam sıcaklığı dalgalanması, granit hassas platformun doğrusal genleşmesi veya büzülmesinin yaklaşık 5-7 ×10⁻⁶/℃ olduğu sonucuna varılmıştır. Bu, kenar uzunluğu 1 metre olan bir granit platform için sıcaklık 1 °C değişirse kenar uzunluğunun 5-7 mikron değişebileceği anlamına gelir. Hassas ölçümlerde, boyuttaki böyle bir değişiklik, kabul edilebilir aralığın ötesinde ölçüm hatalarına neden olmak için yeterlidir.
Farklı doğruluk seviyelerinin gerektirdiği ölçüm çalışmaları için, sıcaklık dalgalanmasının etki eşiği de farklıdır. Mekanik parçaların boyut ölçümü gibi sıradan hassas ölçümlerde, izin verilen ölçüm hatası ±20 mikron içindeyse, yukarıdaki genleşme katsayısı hesabına göre, platform boyut değişikliğinden kaynaklanan ölçüm hatasını kabul edilebilir bir seviyede kontrol etmek için sıcaklık dalgalanmasının ± 3-4 ℃ aralığında kontrol edilmesi gerekir. Yarı iletken çip üretiminde litografi işlemi ölçümü gibi yüksek hassasiyet gereksinimleri olan alanlarda, hata ± 1 mikron içinde izin verilir ve sıcaklık dalgalanmasının ± 0,1-0,2 ° C içinde sıkı bir şekilde kontrol edilmesi gerekir. Sıcaklık dalgalanması bu eşiği aştığında, granit platformun termal genleşmesi ve büzülmesi ölçüm sonuçlarında sapmalara neden olabilir ve bu da çip üretiminin verimini etkiler.
Ortam sıcaklığı dalgalanmalarının granit hassas platformunun ölçüm hassasiyeti üzerindeki etkisini ele almak için pratik çalışmalarda sıklıkla birçok önlem alınmaktadır. Örneğin, çok küçük bir aralıktaki sıcaklık dalgalanmasını kontrol etmek için ölçüm ortamına yüksek hassasiyetli sabit sıcaklık ekipmanı kurulur; ölçüm verileri üzerinde sıcaklık telafisi yapılır ve ölçüm sonuçları, platformun ısıl genleşme katsayısına ve gerçek zamanlı sıcaklık değişimlerine göre yazılım algoritması tarafından düzeltilir. Ancak, hangi önlemler alınırsa alınsın, ortam sıcaklığı dalgalanmalarının granit hassas platformunun ölçüm hassasiyeti üzerindeki etkisinin doğru bir şekilde anlaşılması, doğru ve güvenilir ölçüm çalışmalarının sağlanmasının ön koşuludur.
Gönderi zamanı: 03-04-2025