Yarı iletken üretiminin hassas zincirinde, gofret transfer sistemi "çip üretim hattının can damarı" gibidir ve kararlılığı ve doğruluğu, çiplerin verimlilik oranını doğrudan belirler. Yeni nesil gofret transfer sistemleri, doğrusal motorları granit tabanlarla devrim niteliğinde bir şekilde birleştiriyor ve granit malzemelerin benzersiz avantajları, yüksek performanslı iletimin kilidini açan temel kod niteliğinde.
Granit taban: İstikrarlı iletim için "kaya gibi sağlam bir temel" oluşturmak
Yüz milyonlarca yıllık jeolojik incelmeye maruz kalmış olan granit, yoğun ve homojen iç mineral kristalleşmesine sahiptir. Bu doğal özelliği, onu yarı iletken levha transfer sistemleri için ideal bir temel malzeme haline getirir. Yarı iletken temiz odalarının karmaşık ortamında, ultra düşük termal genleşme katsayısı (sadece 5-7 ×10⁻⁶/℃) ile granit, ekipman çalışması sırasında oluşan ısıya ve çevresel sıcaklık değişimlerinin etkisine karşı direnç göstererek, temel boyutunun stabilitesini sağlar ve termal deformasyondan kaynaklanan iletim yolu sapmasını önler. Üstün titreşim sönümleme performansı, doğrusal motorların başlatılması, kapatılması ve hızlandırılması sırasında oluşan mekanik titreşimleri ve atölyedeki diğer ekipmanların çalışmasından kaynaklanan dış müdahaleleri hızla emerek, levha iletimi için "sıfır titreşim" ile istikrarlı bir platform sağlar.
Bu arada, granitin kimyasal kararlılığı, asit ve alkali reaktiflerin uçucu olduğu ve yüksek temizliğin gerekli olduğu yarı iletken atölyelerinde aşınmamasını veya paslanmamasını sağlar; böylece malzeme yaşlanması veya kirletici madde adsorpsiyonu nedeniyle iletim doğruluğunun etkilenmesi önlenir. Pürüzsüz ve yoğun yüzey özellikleri, toz yapışmasını daha etkili bir şekilde azaltarak temiz odaların katı tozsuzluk standartlarını karşılar ve gofret kirlenmesi riskini kökten ortadan kaldırır.
Lineer motorlar ve granitin "altın ortaklık" etkisi
Mekanik iletim boşluğu gerektirmeyen, yüksek ivmeli ve yüksek tepki hızına sahip lineer motorlar, wafer iletimine "hızlı, doğru ve istikrarlı" avantajlar kazandırır. Granit taban ise sağlam ve güvenilir bir destek platformu sağlar. İkisi birlikte çalışarak performansta büyük bir sıçrama gerçekleştirir. Lineer motor, wafer taşıyıcıyı granit taban rayı üzerinde hareket ettirirken, tabanın güçlü rijitliği ve stabilitesi, motor tahrik kuvvetinin verimli bir şekilde iletilmesini sağlayarak, taban deformasyonundan kaynaklanan kuvvet kaybını veya iletim gecikmesini önler.
Nanometre hassasiyetine olan talep doğrultusunda, lineer motorlar mikron altı seviyede yer değiştirme kontrolü sağlayabilir. Granit tabanların yüksek hassasiyetli işleme özellikleri (düzlük hataları ±1 μm içinde kontrol edilir), lineer motorların hassas kontrolüyle mükemmel bir uyum sağlayarak, wafer iletimi sırasında konumlandırma hatasının ±5 μm'den az olmasını birlikte garanti eder. Çeşitli işlem ekipmanları arasında yüksek hızlı mekikleme veya wafer teslimi için hassas park etme olsun, lineer motorlar ve granit tabanların kombinasyonu, wafer iletiminde "sıfır sapma ve sıfır titreşim" sağlayabilir.
Endüstri uygulamalarının doğrulanması: Verimlilik ve verim oranında çifte iyileşme
Önde gelen küresel bir yarı iletken şirketi, gofret transfer sistemini yükselttikten sonra, doğrusal motor + granit taban çözümünü benimseyerek gofret transfer verimliliğini %40 artırdı, transfer işlemi sırasında çarpışma ve sapma gibi hataların oluşma oranını %85 azalttı ve çip üretim verimliliğini %6 iyileştirdi. Bu verilerin ardında, granit tabanın sağladığı iletim kararlılığı garantisi ve doğrusal motorun yüksek hızlı ve hassas sinerji etkisi yatmaktadır; bu da gofret transfer sürecindeki kayıp ve hataları önemli ölçüde azaltır.
Malzeme özelliklerinden hassas üretime, performans avantajlarından pratik doğrulamaya kadar, lineer motorlar ve granit tabanların birleşimi, wafer transfer sistemlerinin standartlarını yeniden tanımladı. Gelecekte yarı iletken teknolojisi 3nm ve 2nm süreçlerine doğru ilerlerken, granit malzemeler, yeri doldurulamaz avantajlarıyla sektörün gelişimine güçlü bir ivme kazandırmaya devam edecektir.
Yayın tarihi: 14 Mayıs 2025