Granit malzemeler, yüksek kararlılık, düşük termal genleşme ve yüksek korozyon direnci gibi mükemmel özellikleri nedeniyle yarı iletken endüstrisinde yaygın olarak kullanılmaktadır. Bu özellikler, graniti, wafer transfer sisteminde yüksek hassasiyetli bileşenler oluşturmak için ideal bir malzeme haline getirmektedir.
Yarı iletken üretim sürecinde, gofret transfer sistemi, gofretlerin üretim sürecinin farklı aşamaları arasında taşınmasında kritik bir rol oynar. Bu sistemler için hassasiyet ve doğruluk temel gereksinimlerdir, çünkü en ufak sapmalar bile tüm süreci tehlikeye atabilir. Bu nedenle, gofret transfer sistemindeki bileşenler yüksek kaliteli malzemelerden yapılmalıdır ve granit bu kriterleri karşılamaktadır.
Granit malzemeden üretilen gofret transfer sisteminin bazı parçaları şunlardır:
1. Vakumlu Mandren Tablası
Vakum tablası, işlem sırasında gofretin sabit tutulması için kullanılır ve gofretin zarar görmemesi için sağlam bir yüzeye sahip olması gerekir. Granit, düz, gözeneksiz yüzeyi sayesinde yüksek stabilite ve hassasiyet sağladığı için bu tabla yapımında ideal bir malzemedir. Ayrıca, granit düşük termal genleşme katsayısına sahip olduğundan, gofretin boyutlarında değişikliklere neden olabilecek sıcaklık değişimlerine karşı dirençlidir.
2. Hava Yataklı Aşama
Hava yataklı platform, yonga levhasını üretim sürecinin farklı aşamalarından geçirmek için kullanılır. Platform, yüksek hassasiyet ve stabilite gerektiren sürtünmesiz bir hareket sağlamak üzere tasarlanmıştır. Granit, sert ve dayanıklı bir taş olması ve zamanla deformasyona ve aşınmaya karşı dirençli olması nedeniyle bu uygulamada kullanılır.
3. Doğrusal Hareket Kılavuzları
Doğrusal hareket kılavuzları, hava yataklı tablayı yönlendirmek için kullanılır ve hataları en aza indirmek için doğru konumlandırılmaları gerekir. Granit, mükemmel mekanik stabilitesi ve mukavemeti nedeniyle bu kılavuzun yapımında kullanılır. Malzeme aynı zamanda korozyona dayanıklıdır, bu da kılavuz sisteminin uzun ömürlü olmasını sağlar.
4. Metroloji Ekipmanları
Metroloji ekipmanları, üretim sürecinde yonga levhasının boyutlarını ve özelliklerini ölçmek için kullanılır. Granit, yüksek sertliği, düşük genleşmesi ve yük altında minimum deformasyonu nedeniyle bu ekipmanların yapımı için ideal bir malzemedir. Dahası, granitin termal kararlılığı, metroloji ekipmanının zaman içinde stabil ve doğru kalmasını sağlar.
Sonuç olarak, yarı iletken endüstrisi hassasiyet ve doğruluğa dayanmaktadır ve granit malzemeler üretim sürecinde son derece güvenilir ve istikrarlı olduklarını kanıtlamıştır. Yonga transfer sistemindeki birçok kritik bileşenin yüksek kararlılık, hassasiyet ve düşük termal genleşme gerektirmesi nedeniyle, mühendisler bu kritik gereksinimleri karşılamak için granit malzemelere yönelmiştir.
Yayın tarihi: 19 Mart 2024