Granit malzemeler, yüksek stabilite, düşük termal genleşme ve korozyona karşı yüksek direnç gibi mükemmel özellikleri nedeniyle yarı iletken endüstrisinde yaygın olarak kullanılmaktadır. Bu özellikler, graniti bir gofret transfer sisteminde yüksek hassasiyetli bileşenler oluşturmak için ideal bir malzeme haline getirir.
Yarı iletken üretim sürecinde, gofret transfer sistemi, gofretlerin üretim sürecinin farklı aşamalarında taşınmasında kritik bir rol oynamaktadır. Hassasiyet ve doğruluk, bu sistemler için temel gereksinimlerdir, çünkü hafif sapmalar bile tüm süreci tehlikeye atabilir. Bu nedenle, gofret transfer sistemindeki bileşenler yüksek kaliteli malzemelerden yapılmalı ve granit bu kriterleri karşılıyor.
Gofret transfer sisteminin granit malzemelerden yapılmış bazı kısımları şunları içerir:
1. Vakum Chuck Table
Vakum aynası tablosu işlem sırasında gofret tutmak için kullanılır ve gofretin hasar görmemesini sağlamak için sabit bir yüzeye sahip olmalıdır. Granit, bu tabloyu yapmak için ideal bir malzemedir, çünkü yüksek stabilite ve hassasiyet sağlayan düz, gözeneksiz bir yüzeye sahiptir. Ek olarak, granit düşük bir termal genleşme katsayısına sahiptir, bu da gofrette boyutsal değişikliklere neden olabilecek sıcaklık değişikliklerine dirençli hale getirir.
2. Hava taşıma aşaması
Hava taşıma aşaması, gofretin üretim sürecinin farklı aşamalarından taşınması için kullanılır. Sahne, yüksek hassasiyet ve stabilite gerektiren sürtünmesiz bir hareket sağlamak için tasarlanmıştır. Granit bu uygulamada kullanılır, çünkü sert ve sert bir taştır ve zamanla deformasyona ve aşınmaya direnir.
3. Doğrusal hareket kılavuzları
Doğrusal hareket kılavuzları hava taşıma aşamasına rehberlik etmek için kullanılır ve hataları en aza indirmek için doğru bir şekilde konumlandırılmalıdır. Granit, mükemmel mekanik stabiliteye ve mukavemete sahip olduğu için bu kılavuzu oluşturmak için kullanılır. Malzeme ayrıca kılavuz sisteminin uzun ömürlülüğünü sağlayan korozyona dayanıklıdır.
4 Metroloji Ekipmanı
Metroloji ekipmanı, üretim sürecinde gofretin boyutlarını ve özelliklerini ölçmek için kullanılır. Granit, bu ekipmanı oluşturmak için ideal bir malzemedir, çünkü yüksek sertliğe, düşük genişlemeye ve yük altında minimal deformasyona sahiptir. Dahası, Granit'in termal stabilitesi, metroloji ekipmanının zamanla sabit ve doğru kalmasını sağlar.
Sonuç olarak, yarı iletken endüstrisi hassasiyet ve doğruluğa dayanmaktadır ve granit malzemelerin üretim sürecinde oldukça güvenilir ve istikrarlı olduğu kanıtlanmıştır. Yüksek stabilite, hassasiyet ve düşük termal genleşme gerektiren gofret transfer sistemindeki birçok kritik bileşenle, mühendisler bu kritik gereksinimleri karşılamak için granit malzemelere yönelmiştir.
Gönderme Zamanı: Mar-19-2024