Granit malzemeler, yüksek kararlılık, düşük termal genleşme ve yüksek korozyon direnci gibi mükemmel özellikleri nedeniyle yarı iletken endüstrisinde yaygın olarak kullanılır. Bu özellikler, graniti bir wafer transfer sisteminde yüksek hassasiyetli bileşenler oluşturmak için ideal bir malzeme haline getirir.
Yarı iletken üretim sürecinde, wafer transfer sistemi, wafer'ları üretim sürecinin farklı aşamalarında taşımada kritik bir rol oynar. Hassasiyet ve doğruluk, bu sistemler için temel gerekliliklerdir çünkü en ufak sapmalar bile tüm süreci tehlikeye atabilir. Bu nedenle, wafer transfer sistemindeki bileşenler yüksek kaliteli malzemelerden yapılmalıdır ve granit bu kriterleri karşılar.
Granit malzemelerden üretilen wafer transfer sisteminin bazı parçaları şunlardır:
1. Vakumlu Chuck Masası
Vakumlu ayna tablası, işlem sırasında gofreti tutmak için kullanılır ve gofretin hasar görmemesini sağlamak için sabit bir yüzeye sahip olması gerekir. Granit, yüksek stabilite ve hassasiyet sağlayan düz, gözeneksiz bir yüzeye sahip olduğu için bu tablayı yapmak için ideal bir malzemedir. Ayrıca granit, düşük bir termal genleşme katsayısına sahiptir ve bu da onu gofrette boyutsal değişikliklere neden olabilecek sıcaklık değişikliklerine karşı dirençli hale getirir.
2. Hava Yataklı Aşama
Hava yataklı aşama, gofreti üretim sürecinin farklı aşamalarında taşımak için kullanılır. Aşama, yüksek hassasiyet ve denge gerektiren sürtünmesiz bir hareket sağlamak üzere tasarlanmıştır. Granit, bu uygulamada kullanılır çünkü sert ve katı bir taştır ve zamanla deformasyona ve aşınmaya karşı dayanıklıdır.
3. Doğrusal Hareket Kılavuzları
Doğrusal hareket kılavuzları hava yataklı aşamayı yönlendirmek için kullanılır ve hataları en aza indirmek için doğru bir şekilde konumlandırılmaları gerekir. Granit, mükemmel mekanik stabilite ve mukavemete sahip olduğu için bu kılavuzu oluşturmak için kullanılır. Malzeme ayrıca korozyona dayanıklıdır ve bu da kılavuz sisteminin uzun ömürlü olmasını sağlar.
4. Metroloji Ekipmanları
Metroloji ekipmanı, üretim süreci sırasında gofretin boyutlarını ve özelliklerini ölçmek için kullanılır. Granit, yüksek sertliğe, düşük genleşmeye ve yük altında minimum deformasyona sahip olduğu için bu ekipmanın inşası için ideal bir malzemedir. Dahası, granitin termal kararlılığı, metroloji ekipmanının zaman içinde kararlı ve doğru kalmasını sağlar.
Sonuç olarak, yarı iletken endüstrisi hassasiyet ve doğruluğa dayanır ve granit malzemeler üretim sürecinde oldukça güvenilir ve kararlı olduklarını kanıtlamıştır. Wafer transfer sistemindeki birçok kritik bileşenin yüksek stabilite, hassasiyet ve düşük termal genleşme gerektirmesiyle, mühendisler bu kritik gereksinimleri karşılamak için granit malzemelere yönelmiştir.
Gönderi zamanı: Mar-19-2024