Granit malzemeler, yüksek stabilite, düşük termal genleşme ve korozyona karşı yüksek direnç gibi mükemmel özelliklerinden dolayı yarı iletken endüstrisinde yaygın olarak kullanılmaktadır.Bu özellikler graniti, levha transfer sisteminde yüksek hassasiyetli bileşenler oluşturmak için ideal bir malzeme haline getirir.
Yarı iletken üretim sürecinde, levha transfer sistemi, levhaların üretim sürecinin farklı aşamalarında taşınmasında kritik bir rol oynar.Hassasiyet ve doğruluk, bu sistemler için temel gereksinimlerdir; çünkü en ufak sapmalar bile tüm süreci tehlikeye atabilir.Bu nedenle, gofret transfer sistemindeki bileşenlerin yüksek kaliteli malzemelerden yapılması gerekir ve granit bu kriterleri karşılar.
Granit malzemelerden yapılan gofret transfer sisteminin bazı parçaları şunlardır:
1. Vakumlu Ayna Tablosu
Vakum ayna tablası işlem sırasında levhayı tutmak için kullanılır ve levhanın hasar görmemesini sağlamak için sabit bir yüzeye sahip olması gerekir.Granit bu masayı yapmak için ideal bir malzemedir çünkü yüksek stabilite ve hassasiyet sağlayan düz, gözeneksiz bir yüzeye sahiptir.Ek olarak, granitin düşük bir termal genleşme katsayısı vardır, bu da onu levhada boyutsal değişikliklere neden olabilecek sıcaklık değişikliklerine karşı dirençli kılar.
2. Hava Taşıyan Aşama
Hava taşıyan aşama, gofretin üretim sürecinin farklı aşamalarında taşınması için kullanılır.Sahne, yüksek hassasiyet ve stabilite gerektiren sürtünmesiz bir hareket sağlayacak şekilde tasarlanmıştır.Granit, sert ve sert bir taş olması, zamanla deformasyona ve aşınmaya karşı dayanıklı olması nedeniyle bu uygulamada kullanılmaktadır.
3. Doğrusal Hareket Kılavuzları
Doğrusal hareket kılavuzları, havalı yatak aşamasını yönlendirmek için kullanılır ve hataları en aza indirmek için doğru şekilde konumlandırılmaları gerekir.Bu kılavuzun yapımında granit kullanılmıştır çünkü mükemmel mekanik stabiliteye ve dayanıklılığa sahiptir.Malzeme aynı zamanda korozyona karşı dayanıklıdır, bu da kılavuz sisteminin uzun ömürlü olmasını sağlar.
4. Metroloji Ekipmanları
Metroloji ekipmanı, üretim sürecinde levhanın boyutlarını ve özelliklerini ölçmek için kullanılır.Granit, bu ekipmanın inşası için ideal bir malzemedir çünkü yüksek sertliğe, düşük genleşmeye ve yük altında minimum deformasyona sahiptir.Ayrıca granitin termal stabilitesi, metroloji ekipmanının zaman içinde stabil ve doğru kalmasını sağlar.
Sonuç olarak, yarı iletken endüstrisi hassasiyet ve doğruluğa dayanır ve granit malzemelerin üretim sürecinde son derece güvenilir ve istikrarlı olduğu kanıtlanmıştır.Plaka transfer sistemindeki yüksek stabilite, hassasiyet ve düşük termal genleşme gerektiren birçok kritik bileşen nedeniyle, mühendisler bu kritik gereksinimleri karşılamak için granit malzemelere yöneldiler.
Gönderim zamanı: Mar-19-2024