Yarı iletken ve optoelektronik üretim ekipmanlarında granit, hassas hareket platformları, kılavuz ray tabanları, titreşim izolasyon destek yapıları ve optik bileşen montaj altlıkları gibi temel parçalarda kullanılır. Bu parçalar, hassasiyet, stabilite ve çevresel tolerans açısından son derece yüksek gereksinimlere sahiptir. Granitin özellikleri, yarı iletken ve optoelektronik endüstrilerinin zorlu taleplerini tam olarak karşılayabilir. Aşağıda, belirli uygulama senaryolarının ve avantajlarının analizi yer almaktadır:
I. Ana Uygulama Parçaları
Hassas hareket platformları (fotolitografi makineleri ve yapıştırma makineleri için gofret platformları gibi)
Nanometre ölçeğinde doğrulukta öteleme ve dönme hareketleri elde etmek için, gofretler ve optik lensler gibi hassas bileşenleri taşımak için kullanılır.
Tipik ekipman: Fotolitografi makinesinin iş parçası masası, ölçüm ekipmanının konumlandırma platformu.
Kılavuz ray tabanı ve çerçeve yapısı
Lineer kılavuzlar ve hava flotasyon kılavuzları için montaj tabanı olarak, ekipmanın çekirdek hareket mekanizmasını destekler.
Tipik ekipmanlar: yarı iletken paketleme ekipmanlarının mekanik çerçeveleri ve optik muayene aletleri.
Titreşim izolasyon desteği ve dengeleyici yapı
Dış titreşimleri (örneğin fabrika zemininden veya ekipman çalışması sırasında oluşan titreşimler) izole etmek, optik sistemlerin veya hassas makinelerin stabilitesini sağlamak için kullanılır.
Tipik senaryolar: Optik mikroskoplar ve lazer interferometreler için taban desteği.
Optik bileşen montaj alt tabakası
Optik yol sisteminin hizalama doğruluğunun uzun vadeli istikrarını sağlamak için aynalar, prizmalar ve lazerler gibi optik cihazları sabitleyin.
Tipik ekipman: Optoelektronik paketleme ekipmanı, optik fiber bağlantı sistemleri.
Gönderim zamanı: 29 Mayıs 2025