Yarı iletken ve optoelektronik üretim ekipmanlarında granit, esas olarak hassas hareket platformları, kılavuz ray tabanları, titreşim izolasyon destek yapıları ve optik bileşen montaj altlıkları gibi önemli parçalarda kullanılır. Bu parçalar, hassasiyet, stabilite ve çevresel tolerans açısından son derece yüksek gereksinimlere sahiptir. Granitin özellikleri, yarı iletken ve optoelektronik endüstrilerinin katı taleplerini tam olarak karşılayabilir. Aşağıda, belirli uygulama senaryoları ve avantajlarının analizi yer almaktadır:
I. Başlıca Uygulama Alanları
Hassas hareket platformları (örneğin fotolitografi makineleri ve yapıştırma makineleri için gofret platformları)
Bu cihaz, yonga levhaları ve optik lensler gibi hassas bileşenleri taşımak için kullanılır ve nanometre ölçeğinde doğrulukla öteleme ve dönme hareketleri gerçekleştirir.
Tipik ekipmanlar: fotolitografi makinesinin iş parçası tablası, ölçüm ekipmanının konumlandırma platformu.
Kılavuz ray tabanı ve çerçeve yapısı
Lineer kılavuzlar ve hava yastıklı kılavuzlar için montaj tabanı olarak, ekipmanın temel hareket mekanizmasını destekler.
Tipik ekipmanlar: yarı iletken paketleme ekipmanlarının mekanik çerçeveleri ve optik inceleme cihazları.
Titreşim izolasyon desteği ve dengeleyici yapı
Bu cihaz, optik sistemlerin veya hassas makinelerin stabilitesini sağlamak amacıyla, dış titreşimleri (örneğin fabrika zemininden veya ekipman çalışması sırasında oluşan titreşimleri) izole etmek için kullanılır.
Tipik senaryolar: Optik mikroskoplar ve lazer interferometreler için temel destek.
Optik bileşen montaj altlığı
Optik yol sisteminin hizalama doğruluğunun uzun vadeli istikrarını sağlamak için aynalar, prizmalar ve lazerler gibi optik cihazları sabitleyin.
Tipik ekipmanlar: Optoelektronik paketleme ekipmanları, optik fiber bağlantı sistemleri.
Yayın tarihi: 29 Mayıs 2025