Yarı iletken ve optoelektronik üretim ekipmanlarında granit, hassas hareket platformları, kılavuz ray tabanları, titreşim izolasyon destek yapıları ve optik bileşen kurulum altlıkları gibi temel parçalarda kullanılır. Bu parçalar, hassasiyet, kararlılık ve çevresel tolerans açısından son derece yüksek gereksinimlere sahiptir. Granitin özellikleri, yarı iletken ve optoelektronik endüstrilerinin katı taleplerini tam olarak karşılayabilir. Aşağıda belirli uygulama senaryolarının ve avantajlarının analizi verilmiştir:
I. Ana Uygulama Parçaları
Hassas hareket platformları (fotolitografi makineleri ve bağlama makineleri için gofret platformları gibi)
Wafer ve optik lens gibi hassas bileşenlerin taşınmasında kullanılır ve nanoölçekte doğrulukta öteleme ve dönme hareketleri elde edilir.
Tipik ekipman: Fotolitografi makinesinin iş parçası masası, ölçüm ekipmanının konumlandırma platformu.
Kılavuz ray tabanı ve çerçeve yapısı
Lineer kılavuzlar ve hava flotasyon kılavuzları için montaj tabanı olarak ekipmanın çekirdek hareket mekanizmasını destekler.
Tipik ekipmanlar: Yarı iletken paketleme ekipmanlarının mekanik çerçeveleri ve optik muayene aletleri.
Titreşim izolasyon desteği ve dengeleyici yapı
Dış titreşimleri (örneğin fabrika zemininden veya ekipman çalışması sırasında oluşan titreşimler) izole etmek, optik sistemlerin veya hassas makinelerin stabilitesini sağlamak için kullanılır.
Tipik senaryolar: Optik mikroskoplar ve lazer interferometreler için taban desteği.
Optik bileşen montaj alt tabakası
Optik yol sisteminin hizalama doğruluğunun uzun vadeli istikrarını sağlamak için aynalar, prizmalar ve lazerler gibi optik cihazları sabitleyin.
Tipik ekipman: Optoelektronik paketleme ekipmanı, optik fiber bağlantı sistemleri.
Gönderi zamanı: 29-Mayıs-2025