Granit, inşaat sektöründe sıklıkla kullanılan sert ve dayanıklı bir malzemedir. Ancak, yarı iletken üretiminde, özellikle entegre devrelerin imalatında ve işlenmesinde onu kullanışlı kılan özelliklere de sahiptir. Granit masalar ve granit bloklar gibi granit bileşenleri, kararlılıkları, düzlükleri ve düşük termal genleşme katsayıları nedeniyle yaygın olarak kullanılır.
Yarı iletken üretiminde granit bileşenlerinin birincil kullanımlarından biri üretim sürecidir. Entegre devrelerin temel yapı taşları olan silikon gofretler yüksek hassasiyet ve doğrulukla üretilmelidir. İşlem sırasında herhangi bir bozulma veya hareket, entegre devrelerin kalitesini ve işlevselliğini etkileyebilecek kusurlara yol açabilir. Yüksek stabiliteleri ve düzlükleri ile granit masalar, gofret işleme ekipmanı için iyi bir platform sağlar. Ayrıca işlemde gereken ısıtma ve soğutmanın neden olduğu termal genleşme ve büzülmeye karşı dayanıklıdırlar.
Granit blokları ayrıca termal kararlılıkları nedeniyle yarı iletken işlemede kullanılır. Aşındırma veya biriktirme işlemleri sırasında, silikon gofretin yüzeyini değiştirmek için sıcak gazlar veya plazmalar kullanılır. İşlemin verimli ve doğru bir şekilde gerçekleştirilmesini sağlamak için gofretin sıcaklığının kontrol edilmesi gerekir. Düşük termal genleşme katsayılarına sahip granit blokları, gofretin sıcaklığını sabitlemeye yardımcı olarak, işlenen malzemenin kalitesini etkileyebilecek sıcaklık dalgalanmaları riskini azaltır.
Üretim ve işleme süreçlerinin yanı sıra, granit bileşenler yarı iletken üretiminin ölçüm ve muayene aşamalarında da kullanılır. Ölçüm ölçümleri, gofret üzerindeki yapıların boyutunun, şeklinin ve konumunun gerekli özellikler dahilinde olduğundan emin olmak için yapılır. Granit bloklar, boyutsal kararlılıkları ve doğrulukları nedeniyle bu ölçümlerde referans standartları olarak kullanılır. Ayrıca, entegre devrelerin kalitesinin yüksek büyütme altında kontrol edildiği muayene aşamalarında da kullanılırlar.
Genel olarak, granit bileşenlerinin yarı iletken üretiminde kullanımı son yıllarda artmıştır. Entegre devrelerin imalatında ve işlenmesinde yüksek hassasiyet, doğruluk ve kararlılığa duyulan ihtiyaç, bu malzemelerin yarı iletken üreticileri tarafından benimsenmesini sağlamıştır. Granitin sertliği, kararlılığı ve düşük termal genleşme katsayısı gibi benzersiz özellikleri, onu bu süreçlerde kullanım için mükemmel bir seçim haline getirir. Yarı iletken teknolojisinin sürekli geliştirilmesi ve iyileştirilmesiyle, granit bileşenlerinin kullanımının gelecekte daha da artması beklenmektedir.
Gönderi zamanı: 05-Aralık-2023