Granit, inşaat sektöründe sıklıkla kullanılan sert ve dayanıklı bir malzemedir. Bununla birlikte, yarı iletken üretiminde, özellikle entegre devrelerin imalatında ve işlenmesinde kullanışlı olmasını sağlayan özelliklere de sahiptir. Granit tablalar ve granit bloklar gibi granit bileşenler, sağlamlıkları, düzlükleri ve düşük termal genleşme katsayıları nedeniyle yaygın olarak kullanılmaktadır.
Granit bileşenlerin yarı iletken üretimindeki temel kullanımlarından biri üretim sürecidir. Entegre devrelerin temel yapı taşları olan silikon yongaların yüksek hassasiyet ve doğrulukla üretilmesi gerekir. İşlem sırasında oluşabilecek herhangi bir bozulma veya hareket, entegre devrelerin kalitesini ve işlevselliğini etkileyebilecek kusurlara yol açabilir. Granit tablalar, yüksek stabiliteleri ve düzlükleri sayesinde yonga işleme ekipmanları için iyi bir platform sağlar. Ayrıca, işlem sırasında gereken ısıtma ve soğutmanın neden olduğu termal genleşme ve büzülmeye karşı da dayanıklıdırlar.
Granit bloklar, termal kararlılıkları nedeniyle yarı iletken işlemede de kullanılır. Aşındırma veya biriktirme işlemleri sırasında, silikon yonga yüzeyini modifiye etmek için sıcak gazlar veya plazmalar kullanılır. İşlemin verimli ve doğru bir şekilde gerçekleştirilebilmesi için yonga sıcaklığının kontrol edilmesi gerekir. Granit bloklar, düşük termal genleşme katsayıları sayesinde yonga sıcaklığının dengelenmesine yardımcı olarak, işlenen malzemenin kalitesini etkileyebilecek sıcaklık dalgalanmaları riskini azaltır.
Granit bileşenler, üretim ve işleme süreçlerinin yanı sıra, yarı iletken üretiminin metroloji ve muayene aşamalarında da kullanılır. Metroloji ölçümleri, yonga plakası üzerindeki yapıların boyut, şekil ve konumunun gerekli özellikler dahilinde olduğundan emin olmak için yapılır. Granit bloklar, boyutsal kararlılıkları ve doğrulukları nedeniyle bu ölçümlerde referans standart olarak kullanılır. Ayrıca, entegre devrelerin kalitesinin yüksek büyütme altında kontrol edildiği muayene aşamalarında da kullanılırlar.
Genel olarak, granit bileşenlerin yarı iletken üretiminde kullanımı son yıllarda artmıştır. Entegre devrelerin üretim ve işlenmesinde yüksek hassasiyet, doğruluk ve kararlılığa duyulan ihtiyaç, bu malzemelerin yarı iletken üreticileri tarafından benimsenmesini sağlamıştır. Granitin sertliği, kararlılığı ve düşük termal genleşme katsayısı gibi benzersiz özellikleri, onu bu süreçlerde kullanım için mükemmel bir seçim haline getirmektedir. Yarı iletken teknolojisinin sürekli gelişimi ve iyileştirilmesiyle birlikte, granit bileşenlerin kullanımının gelecekte daha da artması beklenmektedir.
Gönderi zamanı: 05-12-2023