Granit, inşaat sektöründe sıklıkla kullanılan sert ve dayanıklı bir malzemedir. Bununla birlikte, özellikle entegre devrelerin imalatı ve işlenmesinde yarı iletken üretiminde de faydalı özelliklere sahiptir. Granit masa ve granit blok gibi granit bileşenler, sağlamlıkları, düzlükleri ve düşük termal genleşme katsayıları nedeniyle yaygın olarak kullanılmaktadır.
Yarı iletken üretiminde granit bileşenlerin başlıca kullanım alanlarından biri, üretim sürecindedir. Entegre devrelerin temel yapı taşları olan silikon levhaların yüksek hassasiyet ve doğrulukla üretilmesi gerekir. İşlem sırasında herhangi bir bozulma veya hareket, entegre devrelerin kalitesini ve işlevselliğini etkileyebilecek kusurlara yol açabilir. Yüksek stabilite ve düzlüğe sahip granit masalar, levha işleme ekipmanı için iyi bir platform sağlar. Ayrıca, işlemde gerekli olan ısıtma ve soğutmadan kaynaklanan termal genleşme ve büzülmeye karşı da dirençlidirler.
Granit bloklar, termal kararlılıkları nedeniyle yarı iletken işleme süreçlerinde de kullanılmaktadır. Aşındırma veya biriktirme işlemlerinde, silikon levhanın yüzeyini değiştirmek için sıcak gazlar veya plazmalar kullanılır. İşlemin verimli ve doğru bir şekilde gerçekleştirilebilmesi için levhanın sıcaklığının kontrol edilmesi gerekir. Düşük termal genleşme katsayısına sahip granit bloklar, levhanın sıcaklığını stabilize etmeye yardımcı olarak, işlenmiş malzemenin kalitesini etkileyebilecek sıcaklık dalgalanmaları riskini azaltır.
Granit bileşenler, imalat ve işleme süreçlerinin yanı sıra, yarı iletken üretiminin metroloji ve denetim aşamalarında da kullanılır. Metroloji ölçümleri, yonga üzerindeki yapıların boyutunun, şeklinin ve konumunun gerekli özellikler dahilinde olduğundan emin olmak için yapılır. Granit bloklar, boyutsal kararlılıkları ve doğrulukları nedeniyle bu ölçümlerde referans standart olarak kullanılır. Ayrıca, entegre devrelerin kalitesinin yüksek büyütme altında kontrol edildiği denetim aşamalarında da kullanılırlar.
Genel olarak, yarı iletken üretiminde granit bileşenlerin kullanımı son yıllarda artmıştır. Entegre devrelerin imalatı ve işlenmesinde yüksek hassasiyet, doğruluk ve kararlılık ihtiyacı, yarı iletken üreticileri tarafından bu malzemelerin benimsenmesini sağlamıştır. Granitin sertliği, kararlılığı ve düşük termal genleşme katsayısı gibi benzersiz özellikleri, onu bu süreçlerde kullanım için mükemmel bir seçim haline getirmektedir. Yarı iletken teknolojisinin sürekli gelişmesi ve iyileştirilmesiyle, granit bileşenlerin kullanımının gelecekte daha da artması beklenmektedir.
Yayın tarihi: 05-12-2023