Yarı iletken üretimi ve hassas ölçüm cihazları gibi alanlarda, granit hassas platformların doğruluğu, ekipmanın çalışma kalitesini doğrudan belirler. Platformun doğruluğunun standartlara uygun olduğundan emin olmak için iki açıdan çaba gösterilmelidir: temel göstergelerin tespiti ve standart normlara uygunluk.
Çekirdek gösterge tespiti: Çok boyutlu doğruluk kontrolü
Düzlük tespiti: Referans düzleminin "düzlüğünün" belirlenmesi
Düzlük, granit hassas platformların temel göstergesidir ve genellikle lazer interferometreler veya elektronik nivolarla ölçülür. Lazer interferometre, bir lazer ışını yayarak ve ışık girişim prensibini kullanarak platform yüzeyindeki en ufak dalgalanmaları hassas bir şekilde ölçebilir ve bu ölçüm, mikron altı seviyeye ulaşır. Elektronik nivo, birden fazla kez hareket ederek ölçüm yapar ve platform yüzeyinin üç boyutlu bir kontur haritasını çizerek herhangi bir yerel çıkıntı veya çöküntü olup olmadığını tespit eder. Örneğin, yarı iletken fotolitografi makinelerinde kullanılan granit platformların ±0,5 μm/m düzlüğe sahip olması gerekir; bu, 1 metrelik bir uzunluk içindeki yükseklik farkının yarım mikrometreyi geçmemesi gerektiği anlamına gelir. Bu katı standart, yalnızca yüksek hassasiyetli tespit ekipmanlarıyla sağlanabilir.
2. Doğrusallık tespiti: Doğrusal hareketin "doğrusallığını" sağlayın
Hassas hareketli parçalar taşıyan platformlar için doğrusallık hayati önem taşır. Tespit için yaygın yöntemler tel yöntemi veya lazer kolimatördür. Tel yöntemi, yüksek hassasiyetli çelik tellerin askıya alınmasını ve platform yüzeyi ile çelik teller arasındaki boşluğun karşılaştırılarak doğrusallığın belirlenmesini içerir. Lazer kolimatör, platform kılavuz rayının montaj yüzeyindeki doğrusal hatayı tespit etmek için lazerin doğrusal yayılma karakteristiklerinden yararlanır. Doğrusallık standardı karşılamazsa, ekipmanın hareket sırasında kaymasına neden olarak işleme veya ölçüm doğruluğunu etkiler.
3. Yüzey pürüzlülüğü tespiti: Temasın "inceliğini" sağlayın
Platformun yüzey pürüzlülüğü, bileşen montajının uyumunu etkiler. Tespit için genellikle bir iğneli pürüzlülük ölçer veya optik mikroskop kullanılır. İğneli tip cihaz, platform yüzeyine ince bir prob ile temas ederek mikroskobik profilin yükseklik değişimlerini kaydeder. Optik mikroskoplar, yüzey dokusunu doğrudan gözlemleyebilir. Yüksek hassasiyetli uygulamalarda, granit platformların yüzey pürüzlülüğünün Ra≤0,05 μm değerinde kontrol edilmesi gerekir; bu, ayna benzeri bir etkiye eşdeğerdir ve hassas bileşenlerin montaj sırasında sıkıca oturmasını ve boşluklardan kaynaklanan titreşim veya yer değiştirmeyi önler.
Hassasiyet standartları şunlardır: uluslararası normlar ve işletmenin iç kontrolü
Günümüzde uluslararası alanda, granit platformların doğruluğunun belirlenmesinde ISO 25178 ve GB/T 24632 standartları yaygın olarak kullanılmakta olup, düzlük ve doğrusallık gibi göstergeler için net sınıflandırmalar mevcuttur. Ayrıca, üst düzey üretim işletmeleri genellikle daha katı iç kontrol standartları belirlemektedir. Örneğin, fotolitografi makinesinin granit platformu için düzlük gerekliliği, uluslararası standarttan %30 daha yüksektir. Testler yapılırken, ölçülen veriler ilgili standartlarla karşılaştırılmalıdır. Yalnızca standartlara tam olarak uyan platformlar, hassas ekipmanlarda istikrarlı performans sağlayabilir.
Granit hassas platformların hassasiyetinin denetlenmesi sistematik bir projedir. Platformun yüksek hassasiyeti ve güvenilirliği, yalnızca düzlük, doğrusallık ve yüzey pürüzlülüğü gibi temel göstergelerin titizlikle test edilmesi ve uluslararası ve kurumsal standartlara uyulmasıyla garanti edilebilir ve yarı iletkenler ve hassas aletler gibi üst düzey üretim alanları için sağlam bir temel oluşturulabilir.
Gönderim zamanı: 21 Mayıs 2025