Yarı iletken üretimi ve hassas ölçüm aletleri gibi alanlarda, granit hassas platformların doğruluğu, ekipmanın operasyonel kalitesini doğrudan belirler. Platformun doğruluğunun standartlara uygun olduğundan emin olmak için iki açıdan çaba gösterilmelidir: temel göstergelerin tespiti ve standart normlara uygunluk.
Çekirdek gösterge tespiti: Çok boyutlu doğruluk kontrolü
Düzlük tespiti: Referans düzleminin "düzlüğünün" belirlenmesi
Düzlük, granit hassas platformların temel göstergesidir ve genellikle lazer interferometreleri veya elektronik seviyelerle ölçülür. Lazer interferometresi, bir lazer ışını yayarak ve ışık girişim ilkesini kullanarak platform yüzeyindeki küçük dalgalanmaları hassas bir şekilde ölçebilir ve alt mikron seviyesine ulaşan bir doğrulukla ölçebilir. Elektronik seviye, birden fazla kez hareket ederek ölçüm yapar ve herhangi bir yerel çıkıntı veya çöküntü olup olmadığını tespit etmek için platform yüzeyinin üç boyutlu bir kontur haritasını çizer. Örneğin, yarı iletken fotolitografi makinelerinde kullanılan granit platformların ±0,5 μm/m düzlüğe sahip olması gerekir, bu da 1 metrelik bir uzunluktaki yükseklik farkının yarım mikronunu geçmemesi gerektiği anlamına gelir. Bu katı standart yalnızca yüksek hassasiyetli algılama ekipmanıyla sağlanabilir.
2. Doğrusallık tespiti: Doğrusal hareketin "doğrusallığını" sağlayın
Hassas hareketli parçalar taşıyan platformlar için, doğrusallık hayati önem taşır. Algılama için yaygın yöntemler tel yöntemi veya lazer kolimatördür. Tel yöntemi, yüksek hassasiyetli çelik tellerin askıya alınmasını ve doğrusallığı belirlemek için platform yüzeyi ile çelik teller arasındaki boşluğun karşılaştırılmasını içerir. Lazer kolimatör, platform kılavuz rayının montaj yüzeyinin doğrusal hatasını algılamak için lazerin doğrusal yayılma özelliklerini kullanır. Doğruluk standardı karşılamıyorsa, ekipmanın hareket sırasında kaymasına neden olur ve bu da işleme veya ölçüm doğruluğunu etkiler.
3. Yüzey pürüzlülüğü tespiti: Temasın "inceliğini" sağlayın
Platformun yüzey pürüzlülüğü, bileşen kurulumunun uyumunu etkiler. Genellikle, tespit için bir iğne pürüzlülük ölçer veya optik mikroskop kullanılır. İğne tipi cihaz, platform yüzeyini ince bir prob ile temas ettirerek mikroskobik profilin yükseklik değişikliklerini kaydeder. Optik mikroskoplar doğrudan yüzey dokusunu gözlemleyebilir. Yüksek hassasiyetli uygulamalarda, granit platformların yüzey pürüzlülüğünün Ra≤0.05μm'de kontrol edilmesi gerekir; bu, ayna benzeri bir etkiye eşdeğerdir ve hassas bileşenlerin kurulum sırasında sıkıca oturmasını ve boşluklardan kaynaklanan titreşim veya yer değiştirmeyi önler.
Hassasiyet standartları şunlardır: uluslararası normlar ve işletmenin iç kontrolü
Şu anda uluslararası alanda, granit platformların doğruluğunu belirlemenin temeli olarak ISO 25178 ve GB/T 24632 standartları yaygın olarak kullanılmaktadır ve düzlük ve doğrusallık gibi göstergeler için net sınıflandırmalar vardır. Ek olarak, üst düzey üretim işletmeleri genellikle daha sıkı iç kontrol standartları belirler. Örneğin, fotolitografi makinesinin granit platformu için düzlük gereksinimi uluslararası standarttan %30 daha yüksektir. Testler yapılırken, ölçülen veriler ilgili standartlarla karşılaştırılmalıdır. Yalnızca standartlara tam olarak uyan platformlar hassas ekipmanlarda istikrarlı performansı garanti edebilir.
Granit hassas platformların doğruluğunu denetlemek sistematik bir projedir. Yalnızca düzlük, doğruluk ve yüzey pürüzlülüğü gibi temel göstergeleri sıkı bir şekilde test ederek ve uluslararası ve kurumsal standartlara uyarak platformun yüksek hassasiyeti ve güvenilirliği garanti edilebilir ve yarı iletkenler ve hassas aletler gibi üst düzey üretim alanları için sağlam bir temel oluşturulabilir.
Gönderi zamanı: 21-Mayıs-2025