IYarı iletken üretim sektöründe, entegre devrelerin kalitesini sağlamak için gofret inceleme ekipmanının doğruluğu çok önemlidir. ZHHIMG® tarafından sağlananlar gibi yüksek hassasiyetli granit makine tabanları, bu tür ekipmanların performansını artırmada hayati bir rol oynar. İşte nasıl bir fark yarattıkları.
Olağanüstü Boyutsal Kararlılık: Granit, birçok metalden önemli ölçüde daha düşük olan, yaklaşık (4–8)×10⁻⁶/℃'lik son derece düşük bir termal genleşme katsayısına sahiptir. Sıcaklık değişimlerinin bile ölçüm hatalarına neden olabileceği yarı iletken fabrikalarının sıkı kontrol altındaki ortamında, granit makine tabanları kararlı kalır. Bu kararlılık, wafer inceleme ekipmanındaki bileşenlerin konumlandırılmasının doğru kalmasını sağlayarak, inceleme sonuçlarının hassasiyetini etkileyebilecek termal kaynaklı sapmaları önler.
Üstün Titreşim Sönümlemesi: Üretim alanları genellikle çeşitli kaynaklardan gelen titreşimlerle doludur. Granitin 0,05–0,1 sönümleme oranına sahip doğal sönümleme özellikleri, bu titreşimleri etkili bir şekilde emer ve dağıtır. Yarı iletken levhaların incelenmesi için
Yüksek çözünürlüklü görüntüleme ve hassas sensör okumaları gerektiren bu bölümde, granit tabanların sağladığı titreşim azaltımı paha biçilmezdir. Görüntüleri bulanıklaştırabilecek veya sensör verilerini bozabilecek parazitleri en aza indirerek, ekipmanın yonga levhasının yüzeyi ve iç yapısı hakkında net ve doğru bilgiler yakalamasını sağlar.
Yüksek Rijitlik ve Aşınma Direnci Yaklaşık 3100 kg/m³ yoğunluğa sahip ZHHIMG®'nin granit makine tabanları olağanüstü bir rijitlik sunar. Bu tabanlar, wafer inceleme ekipmanının ağır bileşenlerini deforme olmadan destekleyerek optik ve mekanik sistemlerin hizalanmasını sağlar. Ek olarak, granitin yüksek sertliği (Mohs ölçeği 6-7) ve mükemmel aşınma direnci, makine tabanının yüzeyinin zaman içinde düz ve pürüzsüz kalmasını sağlar. Bu tutarlılık, uzun vadeli doğruluk için çok önemlidir, çünkü tabandaki herhangi bir aşınma veya deformasyon, ekipmanın hassasiyetini kademeli olarak düşürebilir.
Kimyasal İnertlik: Yarı iletken üretiminde çeşitli kimyasallara maruz kalınır. Granitin kimyasal inertliği, bu maddelerin korozyonuna karşı dirençli olmasını sağlar. Bu özellik, makine tabanının bütünlüğünü koruyarak, muayene ekipmanının stabilitesini ve doğruluğunu etkileyebilecek kimyasal kaynaklı hasarı önler.
Sonuç olarak, yüksek hassasiyetli granit makine tabanları sadece bir bileşen değil, aynı zamanda yarı iletken levha inceleme ekipmanlarının yüksek doğruluk gereksinimlerini karşılamada kilit bir unsurdur. Granit makine tabanları seçerken, ZHHIMG® gibi güvenilir sağlayıcıları tercih edin. Çok sayıda sertifikaya ve kaliteye olan bağlılığa sahip olan ZHHIMG®, her granit makine tabanının gelişmiş yarı iletken üretiminde ihtiyaç duyulan güvenilirliği ve performansı sağlamasını garanti eder.
Yayın tarihi: 03-06-2025