Granit taban uygulaması: Granit, son derece kararlı fiziksel özelliklere, yoğun ve homojen iç yapıya, düşük termal genleşme katsayısına ve yüksek sertliğe sahiptir. Bu sayede taban, dış titreşimleri etkili bir şekilde izole edebilir, ortam sıcaklığı değişikliklerinin platformun doğruluğu üzerindeki etkisini azaltabilir ve iyi aşınma direncine sahiptir. Uzun süreli kullanımda istikrarlı destek performansını koruyarak platformun doğruluğu için sağlam bir temel sağlar.
Yüksek hassasiyetli mekanik yapı tasarımı: Platformun mekanik yapısı, yüksek hassasiyetli kılavuz raylar, vidalı miller, rulmanlar ve diğer aktarma bileşenleri kullanılarak özenle tasarlanmış ve optimize edilmiştir. Düşük sürtünme, yüksek sertlik ve iyi hareket tekrarlanabilirliği ile bu bileşenler, gücü doğru bir şekilde iletebilir ve platformun hareketini kontrol ederek hareket sırasında hata birikimini azaltır. Örneğin, aerostatik kılavuz ray kullanımı, platformun hareketini desteklemek için hava filmi kullanımı, sürtünmesiz, aşınmasız ve yüksek hassasiyetli olması, nanometre ölçeğinde konumlandırma doğruluğuna ulaşmayı sağlar.
Gelişmiş aktif titreşim izolasyon teknolojisi: Aktif bir titreşim izolasyon sistemiyle donatılmış olup, sensör aracılığıyla platformun titreşim durumu gerçek zamanlı olarak izlenir ve ardından izleme sonuçlarına göre aktüatörün geri besleme kontrolü, titreşimin etkisini dengelemek için zıt kuvvet veya dış titreşim hareketi üretir. Bu aktif titreşim izolasyon teknolojisi, düşük ve yüksek frekanslı titreşimleri etkili bir şekilde izole ederek platformun karmaşık titreşim ortamında stabil kalmasını sağlar. Örneğin, elektromanyetik aktif titreşim izolatörü, hızlı tepki süresi ve hassas kontrol kuvveti avantajlarına sahiptir ve bu sayede platformun titreşim genliğini %80'den fazla azaltabilir.
Hassas kontrol sistemi: Platform, yüksek hızlı hesaplama ve hassas kontrol kabiliyetine sahip dijital sinyal işlemcisi (DSP) veya alan programlanabilir kapı dizisi (FPGA) tabanlı kontrol sistemi gibi gelişmiş kontrol sistemlerini benimser. Kontrol sistemi, platformun hareketini hassas algoritmalar aracılığıyla gerçek zamanlı olarak izler ve ayarlar ve yüksek hassasiyetli konum kontrolü, hız kontrolü ve ivme kontrolü gerçekleştirir. Aynı zamanda, kontrol sistemi iyi bir parazit önleme özelliğine sahiptir ve karmaşık elektromanyetik ortamlarda kararlı bir şekilde çalışabilir.
Yüksek hassasiyetli sensör ölçümü: Yüksek hassasiyetli yer değiştirme sensörleri, açı sensörleri ve diğer ölçüm ekipmanlarının kullanımı, platform hareketinin gerçek zamanlı ve doğru bir şekilde ölçülmesini sağlar. Bu sensörler, ölçüm verilerini kontrol sistemine geri besler ve kontrol sistemi, platformun hareket doğruluğunu sağlamak için geri bildirim verilerine göre hassas ayarlamalar ve telafiler yapar. Örneğin, yer değiştirme sensörü olarak lazer interferometre kullanılır ve ölçüm doğruluğu nanometreye kadar çıkabilir; bu da platformun yüksek hassasiyetli kontrolü için doğru konum bilgisi sağlayabilir.
Hata telafi teknolojisi: Platform hatalarını modelleyip analiz ederek, hata telafi teknolojisi hataları düzeltmek için kullanılır. Örneğin, kılavuz rayın düzlük hatası ve kılavuz vidanın eğim hatası ölçülüp telafi edilerek platformun hareket doğruluğu artırılır. Ayrıca, sıcaklık değişimleri, yük değişimleri ve diğer faktörlerin neden olduğu hataları gerçek zamanlı olarak telafi etmek ve platformun doğruluğunu daha da artırmak için yazılım algoritmaları da kullanılabilir.
Sıkı üretim süreci ve kalite kontrolü: Platformun üretim sürecinde, her bir bileşenin işleme doğruluğunu ve montaj kalitesini sağlamak için sıkı üretim süreci ve kalite kontrol standartları benimsenmiştir. Hammadde seçiminden parçaların işlenmesine, montajına ve devreye alınmasına kadar her aşama, platformun genel doğruluğunu ve performansını sağlamak için titizlikle denetlenir ve test edilir. Örneğin, önemli parçaların yüksek hassasiyetli işlenmesi gerçekleştirilir ve parçaların boyutsal doğruluğu ile form ve konum toleranslarının tasarım gerekliliklerini karşılamasını sağlamak için CNC işleme merkezleri gibi gelişmiş ekipmanlar kullanılır.
Gönderi zamanı: 11 Nis 2025