Yarı iletken üretim alanında, çip performansını sağlamanın anahtarı mikron altı hassasiyettir ve (ZHHIMG®) granit taban, malzeme özellikleri, hassas işleme ve yenilikçi tasarımıyla bu hassasiyete ulaşmanın temel garantisi haline gelmiştir.
Malzeme özelliklerine bakıldığında, ZHHIMG® tarafından seçilen siyah granit, yaklaşık 3100 kg/m³ yoğunluğa ve yoğun bir iç yapıya sahiptir. Bu yüksek yoğunluk, ona olağanüstü stabilite ve rijitlik kazandırır. Yarı iletken ekipmanların çalışması sırasında, motorların dönüşü ve ekipman içindeki mekanik bileşenlerin hareketi titreşimler oluşturur. Granit taban, titreşim enerjisinin %90'ından fazlasını etkili bir şekilde emerek, titreşimin ekipmanın doğruluğu üzerindeki etkisini önemli ölçüde azaltır. Aynı zamanda, son derece düşük termal genleşme katsayısı, ortam sıcaklığı dalgalandığında deformasyonunu çok küçük bir aralıkta tutmasını sağlayarak, yarı iletken ekipmanlar için istikrarlı bir destek temeli oluşturur ve sıcaklık değişimlerinden kaynaklanan ve doğruluğu etkileyebilecek ekipman bileşenlerinin yer değiştirmesini önler.
ZHHIMG® fabrikası, işleme ve üretim açısından uluslararası gelişmiş işleme ekipmanlarını kullanmakta ve granit üzerinde yüksek hassasiyetli taşlama yapabilen dört adet süper büyük taşlama makinesine (her birinin maliyeti 500.000 ABD dolarının üzerinde) sahiptir. Beş eksenli bağlantılı CNC işleme ve diğer işlemler sayesinde, makine tabanının düzlüğü nanometre seviyesine ulaşarak, yarı iletken ekipmanlarının montajı için ultra düz bir referans yüzey sağlar ve ekipmanın her bir bileşeninin hassas konumlandırılmasını garanti eder. Ayrıca, 10.000 metrekarelik bir alanı kapsayan sabit sıcaklık ve nem atölyesi, işleme için istikrarlı bir ortam sağlar. Etrafındaki 500 mm genişliğinde ve 2000 mm derinliğindeki titreşim önleyici hendekler ve sessiz vinçler, dış titreşim girişimini etkili bir şekilde izole eder ve makine tabanının işleme doğruluğunu sağlar.
Ayrıca, ZHHIMG® güçlü bir özelleştirme yeteneğine de sahiptir. Yarı iletken ekipmanlarının özel gereksinimleri için, ekipman ve taban arasında mükemmel uyumluluk sağlamak amacıyla hassas montaj delikleri ve kablo kanalları önceden üretilebilir. Aynı zamanda, Alman Mahr dakika ölçer (0,5 µm doğrulukla) ve İsviçre WYLER elektronik seviye gibi dünya standartlarında metroloji ve test ekipmanlarıyla birlikte, makine tabanı, her bir makine tabanının yarı iletken ekipmanlarının alt mikron seviyesindeki doğruluk gereksinimlerini karşılayabilmesini sağlamak için titizlikle incelenir ve kalibre edilir.
Tam olarak bu avantajların birleşimi, ZHHIMG® granit tabanını yarı iletken ekipmanlarda mikron altı hassasiyet elde etmek için güvenilir bir seçim haline getiriyor ve yarı iletken üretiminin daha yüksek hassasiyet gerektiren alanlara doğru ilerlemesine yardımcı oluyor.
Yayın tarihi: 18 Haz-2025