Yarı iletken üretimi alanında, çip performansının sağlanmasında alt mikron hassasiyet anahtar rol oynar ve malzeme özellikleri, hassas işleme ve yenilikçi tasarımıyla (ZHHIMG®) granit taban, bu hassasiyete ulaşmanın temel garantisi haline gelmiştir.
Malzeme özellikleri açısından, ZHHIMG® tarafından seçilen siyah granit yaklaşık 3100 kg/m³ yoğunluğa ve yoğun bir iç yapıya sahiptir. Bu yüksek yoğunluk, ona olağanüstü bir stabilite ve sağlamlık kazandırır. Yarı iletken ekipmanların çalışması sırasında, motorların dönüşü ve ekipman içindeki mekanik bileşenlerin hareketi titreşimlere neden olur. Granit taban, titreşim enerjisinin %90'ından fazlasını etkili bir şekilde emerek, titreşimin ekipman hassasiyeti üzerindeki etkisini önemli ölçüde azaltır. Ayrıca, son derece düşük termal genleşme katsayısı, ortam sıcaklığı dalgalandığında deformasyonunu çok küçük bir aralıkta tutmasını sağlayarak yarı iletken ekipmanlar için istikrarlı bir destek temeli sağlar ve ekipman bileşenlerinin hassasiyeti etkileyebilecek sıcaklık değişimlerinden kaynaklanan yer değiştirmesini önler.
İşleme ve üretim açısından, ZHHIMG® fabrikası uluslararası ileri işleme ekipmanlarını kullanmakta ve granit üzerinde yüksek hassasiyetli taşlama yapabilen dört adet süper büyük taşlama makinesine (her makinenin maliyeti 500.000 ABD dolarının üzerindedir) sahiptir. Beş eksenli bağlantı CNC işleme ve diğer işlemler sayesinde, makine tabanının düzlüğü nanometre seviyesine ulaşabilir, bu da yarı iletken ekipmanların montajı için ultra düz bir referans yüzeyi sağlayarak ekipmanın her bir bileşeninin hassas bir şekilde konumlandırılmasını sağlar. Ayrıca, sabit sıcaklık ve nem atölyesi (10.000 metrekarelik bir alanı kaplar), işleme için istikrarlı bir ortam sağlar. Çevresindeki 500 mm genişliğinde ve 2000 mm derinliğindeki titreşim önleyici hendekler ve sessiz vinçler, dış titreşimleri etkili bir şekilde izole eder ve makine tabanının işleme hassasiyetini sağlar.
ZHHIMG® ayrıca güçlü bir özelleştirme kapasitesine sahiptir. Yarı iletken ekipmanların özel gereksinimleri için, ekipman ve taban arasında mükemmel uyumluluk sağlamak üzere hassas montaj delikleri ve kablo tepsileri önceden üretilebilir. Aynı zamanda, Alman Mahr dakika göstergesi (0,5 µm hassasiyetli) ve İsviçre WYLER elektronik su terazisi gibi dünya standartlarında metroloji ve test ekipmanlarıyla birlikte, her bir makine tabanının yarı iletken ekipmanlarının alt mikron seviyesindeki doğruluk gerekliliklerini karşılayabilmesini sağlamak için makine tabanı titizlikle denetlenir ve kalibre edilir.
İşte bu avantajların birleşimi, ZHHIMG® granit tabanını yarı iletken ekipmanlarda mikron altı hassasiyete ulaşmak için güvenilir bir seçim haline getirerek, yarı iletken üretiminin daha yüksek hassasiyet alanlarına doğru ilerlemesine yardımcı olmaktadır.
Gönderi zamanı: 18 Haz 2025