Yarı iletken üretim alanında, çip performansının sağlanmasında alt mikron hassasiyet anahtar rol oynar ve malzeme özellikleri, hassas işleme ve yenilikçi tasarımıyla (ZHHIMG®) granit taban, bu hassasiyete ulaşmanın temel garantisi haline gelmiştir.
Malzeme özellikleri açısından bakıldığında, ZHHIMG® tarafından seçilen siyah granit yaklaşık 3100kg/m³ yoğunluğa ve yoğun bir iç yapıya sahiptir. Bu yüksek yoğunluk ona olağanüstü bir kararlılık ve sertlik kazandırır. Yarı iletken ekipmanın çalışması sırasında, motorların dönüşü ve ekipmanın içindeki mekanik bileşenlerin hareketi titreşimler üretecektir. Granit taban, titreşim enerjisinin %90'ından fazlasını etkili bir şekilde emebilir ve titreşimin ekipmanın doğruluğu üzerindeki etkisini önemli ölçüde azaltır. Bu arada, son derece düşük termal genleşme katsayısı, ortam sıcaklığı dalgalandığında deformasyonunu çok küçük bir aralıkta tutmasını sağlayarak yarı iletken ekipman için kararlı bir destek temeli sağlar ve doğruluğu etkileyebilecek sıcaklık değişiklikleri nedeniyle ekipman bileşenlerinin yer değiştirmesini önler.
İşleme ve üretim açısından, ZHHIMG® fabrikası uluslararası gelişmiş işleme ekipmanlarını benimsiyor ve granit üzerinde yüksek hassasiyetli taşlama yapabilen dört süper büyük taşlama makinesine (her makinenin maliyeti 500.000 ABD dolarının üzerinde) sahip. Beş eksenli bağlantı CNC işleme ve diğer işlemler sayesinde, makine tabanının düzlüğü nanometre seviyesine ulaşabilir, yarı iletken ekipmanın montajı için ultra düz bir referans yüzeyi sağlayabilir ve ekipmanın her bir bileşeninin hassas bir şekilde konumlandırılmasını sağlayabilir. Dahası, sabit sıcaklık ve nem atölyesi (10.000 metrekarelik bir alanı kaplar) işleme için istikrarlı bir ortam sağlar. Etrafındaki 500 mm genişliğinde ve 2000 mm derinliğindeki titreşim önleyici hendekler ve sessiz vinçler, harici titreşim girişimini etkili bir şekilde izole eder ve makine tabanının işleme doğruluğunu sağlar.
Ek olarak, ZHHIMG® güçlü bir özelleştirme yeteneğine de sahiptir. Yarı iletken ekipmanın özel gereksinimleri için, ekipman ve taban arasında mükemmel uyumluluk elde etmek için hassas montaj delikleri ve kablo tepsileri önceden üretilebilir. Aynı zamanda, Alman Mahr dakika göstergesi (0,5 um doğrulukta) ve İsviçre WYLER elektronik seviyesi gibi dünya standartlarında metroloji ve test ekipmanlarıyla birlikte, makine tabanı sıkı bir şekilde denetlenir ve kalibre edilir, böylece her makine tabanının yarı iletken ekipmanın alt mikron düzeyinde doğruluk için katı gereksinimlerini karşılayabilmesi sağlanır.
İşte bu avantajların birleşimi, ZHHIMG® granit tabanını yarı iletken ekipmanlarda alt mikron hassasiyetine ulaşmak için güvenilir bir seçim haline getirerek, yarı iletken üretiminin daha yüksek hassasiyet alanlarına doğru ilerlemesine yardımcı oluyor.
Gönderi zamanı: 18-Haz-2025