Yarı iletken gofret muayenesi alanında, temiz oda ortamının saflığı doğrudan ürün verimiyle ilgilidir. Çip üretim süreçlerinin hassasiyeti artmaya devam ettikçe, tespit ekipmanının taşıma platformlarına yönelik gereksinimler giderek daha katı hale geliyor. Sıfır metal iyon salınımı ve düşük partikül kirliliği özelliklerine sahip granit platformlar, geleneksel paslanmaz çelik malzemeleri geride bırakarak gofret muayene ekipmanı için tercih edilen çözüm haline geldi.
Granit, esas olarak kuvars, feldispat ve mika gibi metalik olmayan minerallerden oluşan doğal bir magmatik kayadır. Bu özellik ona sıfır metal iyon salınımı avantajını sağlar. Buna karşılık, demir, krom ve nikel gibi metallerin bir alaşımı olan paslanmaz çelik, temiz oda ortamında su buharı ve asidik veya alkali gazların aşınması nedeniyle yüzeyinde elektrokimyasal korozyona eğilimlidir ve bunun sonucunda Fe²⁺ ve Cr³⁺ gibi metal iyonları çökelir. Bu küçük iyonlar, plakanın yüzeyine bağlandıktan sonra, fotolitografi ve aşındırma gibi sonraki işlemlerde yarı iletken malzemenin elektriksel özelliklerini değiştirecek, transistörün eşik voltajı kaymasına neden olacak ve hatta devrede kısa devrelere yol açacaktır. Profesyonel kurum test verileri, granit platformun 1000 saat boyunca simüle edilmiş temiz oda sıcaklığı ve nem ortamına (23±0.5℃, %45±5 RH) sürekli maruz bırakılmasından sonra, metal iyonlarının salınımının tespit sınırından (< 0.1ppb) daha düşük olduğunu göstermektedir. Paslanmaz çelik platformlar kullanıldığında metal iyon kontaminasyonundan kaynaklanan gofretlerin kusur oranı %15 ila %20 kadar yüksek olabilir.
Parçacık kontaminasyonu kontrolü açısından granit platformlar da olağanüstü performans gösterir. Temiz odalar, havadaki asılı parçacık konsantrasyonu için son derece yüksek gereksinimlere sahiptir. Örneğin, ISO Sınıf 1 temiz odalarda, metreküp başına izin verilen 0,1 μm parçacık sayısı 10'u geçmez. Paslanmaz çelik platform parlatma işleminden geçmiş olsa bile, ekipman titreşimi ve personel çalışması gibi dış kuvvetler nedeniyle hala metal döküntüleri veya oksit pulları soyulması üretebilir ve bu da algılama optik yolunu etkileyebilir veya gofretin yüzeyini çizebilir. Yoğun mineral yapısı (yoğunluk ≥2,7 g/cm³) ve yüksek sertliği (Mohs ölçeğinde 6-7) ile granit platformlar, uzun süreli kullanımda aşınmaya veya kırılmaya eğilimli değildir. Ölçülen ölçümler, paslanmaz çelik platformlara kıyasla algılama ekipmanı alanındaki havadaki asılı parçacık konsantrasyonunu %40'tan fazla azaltabileceğini ve temiz oda sınıfı standartlarını etkili bir şekilde koruyabileceğini göstermektedir.
Granit platformların temiz özelliklerine ek olarak kapsamlı performansı da paslanmaz çeliğin performansını çok aşmaktadır. Isıl kararlılık açısından, ısıl genleşme katsayısı yalnızca (4-8) × 10⁻⁶/℃ olup, paslanmaz çeliğin (yaklaşık 17× 10⁻⁶/℃) yarısından daha azdır, bu da temiz odadaki sıcaklık dalgalandığında algılama ekipmanının konumlandırma doğruluğunu daha iyi koruyabilir. Yüksek sönümleme özelliği (sönümleme oranı > 0,05), ekipmanın titreşimini hızla azaltabilir ve algılama probunun sallanmasını önleyebilir. Doğal korozyon direnci, ek kaplama korumasına gerek kalmadan fotorezist çözücülere, aşındırıcı gazlara ve diğer kimyasallara maruz kaldığında bile kararlı kalmasını sağlar.
Günümüzde granit platformlar gelişmiş gofret üretim tesislerinde yaygın olarak kullanılmaktadır. Veriler, granit platformun benimsenmesinden sonra gofret yüzey partikül tespitinin yanlış değerlendirme oranının %60 oranında azaldığını, ekipman kalibrasyon döngüsünün üç kat uzatıldığını ve genel üretim maliyetinin %25 oranında düştüğünü göstermektedir. Yarı iletken endüstrisi daha yüksek hassasiyete doğru ilerlerken, sıfır metal iyon salınımı ve düşük partikül kirliliği gibi temel avantajları olan granit platformlar, gofret denetimi için istikrarlı ve güvenilir destek sağlamaya devam edecek ve endüstrinin ilerlemesini yönlendiren önemli bir güç haline gelecektir.
Gönderi zamanı: 20-Mayıs-2025