Yarı iletken yonga denetiminde, temiz oda ortamının saflığı doğrudan ürün verimiyle ilişkilidir. Çip üretim süreçlerinin hassasiyeti artmaya devam ettikçe, algılama ekipmanlarının taşıma platformlarına yönelik gereklilikler giderek daha katı hale gelmektedir. Sıfır metal iyon salınımı ve düşük partikül kirliliği özellikleriyle granit platformlar, geleneksel paslanmaz çelik malzemeleri geride bırakarak yonga denetim ekipmanları için tercih edilen çözüm haline gelmiştir.
Granit, kuvars, feldispat ve mika gibi metalik olmayan minerallerden oluşan doğal bir magmatik kayaçtır. Bu özelliği, ona sıfır metal iyonu salınımı avantajını sağlar. Buna karşılık, demir, krom ve nikel gibi metallerin bir alaşımı olan paslanmaz çelik, temiz oda ortamında su buharı ve asidik veya alkali gazların erozyonu nedeniyle yüzeyinde elektrokimyasal korozyona eğilimlidir ve bu da Fe²⁺ ve Cr³⁺ gibi metal iyonlarının çökelmesine neden olur. Bu küçük iyonlar, yonga plakasının yüzeyine bağlandıktan sonra, fotolitografi ve aşındırma gibi sonraki işlemlerde yarı iletken malzemenin elektriksel özelliklerini değiştirir, transistörün eşik voltajının kaymasına neden olur ve hatta devrede kısa devrelere yol açar. Profesyonel kurum test verileri, granit platformun simüle edilmiş temiz oda sıcaklığı ve nem ortamına (23±0,5℃, %45±5 RH) 1000 saat boyunca sürekli maruz bırakılmasının ardından, metal iyonlarının salınımının tespit sınırının (< 0,1 ppb) altında olduğunu göstermektedir. Paslanmaz çelik platformlar kullanıldığında, metal iyon kontaminasyonundan kaynaklanan gofret kusur oranı %15 ila %20 kadar yüksek olabilmektedir.
Parçacık kontaminasyonu kontrolü açısından granit platformlar da olağanüstü performans göstermektedir. Temiz odalar, havadaki asılı parçacık konsantrasyonu için son derece yüksek gereksinimlere sahiptir. Örneğin, ISO Sınıf 1 temiz odalarda, metreküp başına izin verilen 0,1 µm parçacık sayısı 10'u geçmez. Paslanmaz çelik platform parlatma işleminden geçmiş olsa bile, ekipman titreşimi ve personel çalışması gibi dış kuvvetler nedeniyle metal kalıntıları veya oksit pulu soyulması üretebilir ve bu da algılama optik yolunu etkileyebilir veya gofret yüzeyini çizebilir. Yoğun mineral yapıları (yoğunluk ≥2,7 g/cm³) ve yüksek sertlikleri (Mohs ölçeğinde 6-7) ile granit platformlar, uzun süreli kullanımda aşınma veya kırılmaya eğilimli değildir. Ölçülen ölçümler, paslanmaz çelik platformlara kıyasla algılama ekipmanı alanındaki havadaki asılı parçacık konsantrasyonunu %40'tan fazla azaltabildiklerini ve temiz oda sınıfı standartlarını etkili bir şekilde koruyabildiklerini göstermektedir.
Granit platformların temizlik özelliklerinin yanı sıra kapsamlı performansı da paslanmaz çeliğin çok ötesindedir. Isıl kararlılık açısından, termal genleşme katsayısı yalnızca (4-8) × 10⁻⁶/℃ olup, paslanmaz çeliğin (yaklaşık 17 × 10⁻⁶/℃) yarısından azdır. Bu da temiz odadaki sıcaklık dalgalandığında algılama ekipmanının konumlandırma doğruluğunu daha iyi koruyabilir. Yüksek sönümleme özelliği (sönümleme oranı > 0,05), ekipmanın titreşimini hızla azaltabilir ve algılama probunun sallanmasını önleyebilir. Doğal korozyon direnci, fotorezist çözücülere, aşındırıcı gazlara ve diğer kimyasallara maruz kaldığında bile ek kaplama korumasına gerek kalmadan kararlı kalmasını sağlar.
Günümüzde granit platformlar, gelişmiş yonga plakası üretim tesislerinde yaygın olarak kullanılmaktadır. Veriler, granit platformun benimsenmesinden sonra yonga yüzeyindeki partikül tespitinde hatalı karar oranının %60 oranında azaldığını, ekipman kalibrasyon döngüsünün üç kat uzadığını ve toplam üretim maliyetinin %25 oranında düştüğünü göstermektedir. Yarı iletken endüstrisi daha yüksek hassasiyete doğru ilerlerken, sıfır metal iyon salınımı ve düşük partikül kirliliği gibi temel avantajlarıyla granit platformlar, yonga plakası muayenesi için istikrarlı ve güvenilir destek sağlamaya devam edecek ve sektörün ilerlemesini yönlendiren önemli bir güç haline gelecektir.
Gönderim zamanı: 20 Mayıs 2025