Yarı iletken üretiminde, fotolitografi makinesi çiplerin hassasiyetini belirleyen kilit bir cihazdır ve çok yönlü özelliklere sahip granit taban, fotolitografi makinesinin vazgeçilmez bir bileşeni haline gelmiştir.
Termal kararlılık: Sıcaklık değişimlerine karşı "kalkan"
Fotolitografi makinesi çalışırken büyük miktarda ısı üretir. Sadece 0,1℃'lik bir sıcaklık dalgalanması bile ekipman bileşenlerinde deformasyona neden olabilir ve fotolitografi doğruluğunu etkileyebilir. Granitin termal genleşme katsayısı son derece düşüktür, sadece 4-8 ×10⁻⁶/℃'dir; bu da çeliğin yaklaşık 1/3'ü ve alüminyum alaşımının 1/5'i kadardır. Bu, fotolitografi makinesi uzun süre çalıştığında veya ortam sıcaklığı değiştiğinde granit tabanın boyutsal kararlılığını korumasını sağlayarak optik bileşenlerin ve mekanik yapıların hassas konumlandırılmasını garanti eder.
Üstün titreşim önleme performansı: Titreşimi emen "sünger"
Yarı iletken fabrikasında, çevredeki ekipmanların çalışması ve insanların hareketleri titreşimlere neden olabilir. Granit, yüksek yoğunluğa ve sert bir dokuya sahip olup, metallere göre 2 ila 5 kat daha yüksek sönümleme oranıyla mükemmel sönümleme özelliklerine sahiptir. Dış titreşimler granit tabana iletildiğinde, iç mineral kristalleri arasındaki sürtünme titreşim enerjisini ısı enerjisine dönüştürerek dağıtır; bu da titreşimi kısa sürede önemli ölçüde azaltarak fotolitografi makinesinin hızla dengeye kavuşmasını ve titreşim nedeniyle fotolitografi deseninin bulanıklaşmasının veya yanlış hizalanmasının önlenmesini sağlar.
Kimyasal kararlılık: Temiz bir çevrenin "koruyucusu"
Fotolitografi makinesinin iç kısmı çeşitli kimyasal ortamlarla temas halindedir ve sıradan metal malzemeler korozyona veya partikül salınımına eğilimlidir. Granit, kuvars ve feldispat gibi minerallerden oluşur. Kararlı kimyasal özelliklere ve güçlü korozyon direncine sahiptir. Asit ve alkali çözeltilere batırıldıktan sonra yüzey korozyonu son derece azdır. Aynı zamanda, yoğun yapısı neredeyse hiç kalıntı veya toz oluşturmaz, en yüksek temiz oda standartlarının gereksinimlerini karşılar ve wafer kirlenme riskini azaltır.
İşleme uyarlanabilirliği: Hassas kıyaslama ölçütleri oluşturmak için "ideal malzeme"
Fotolitografi makinesinin temel bileşenlerinin yüksek hassasiyetli bir referans yüzeye monte edilmesi gerekmektedir. Granitin iç yapısı homojendir ve taşlama, parlatma ve diğer tekniklerle son derece yüksek hassasiyette işlenmesi kolaydır. Düzlüğü ≤0,5 μm/m'ye ulaşabilir ve yüzey pürüzlülüğü Ra ≤0,05 μm'dir; bu da optik lensler gibi bileşenler için hassas bir montaj zemini sağlar.
Uzun ömür ve bakım gerektirmeyen: Maliyet düşürme için "keskin aletler"
Uzun süreli kullanımda yorulmaya ve çatlamaya eğilimli metal malzemelerle karşılaştırıldığında, granit normal yükler altında neredeyse hiç plastik deformasyona veya kırılmaya uğramaz ve yüzey işlemine ihtiyaç duymaz, böylece kaplama soyulması ve kirlenme riskini ortadan kaldırır. Pratik uygulamalarda, uzun yıllar kullanıldıktan sonra bile granit tabanın temel performans göstergeleri istikrarlı kalabilir, bu da ekipmanın işletme ve bakım maliyetlerini düşürür.
Isıl kararlılıktan titreşim direncine ve kimyasal inertliğe kadar, granit tabanın çok yönlü özellikleri fotolitografi makinesinin gereksinimlerini mükemmel bir şekilde karşılamaktadır. Çip üretim süreci daha yüksek hassasiyete doğru gelişmeye devam ettikçe, granit tabanlar yarı iletken üretim alanında yeri doldurulamaz bir rol oynamaya devam edecektir.
Yayın tarihi: 20 Mayıs 2025