Yarı iletken üretiminde, fotolitografi makinesi çiplerin hassasiyetini belirleyen önemli bir cihazdır ve çok sayıda özelliğiyle granit taban, fotolitografi makinesinin vazgeçilmez bir bileşeni haline gelmiştir.
Termal kararlılık: Sıcaklık Değişimlerine Karşı "Kalkan"
Bir fotolitografi makinesi çalışırken büyük miktarda ısı üretir. Sadece 0,1°C'lik bir sıcaklık dalgalanması bile ekipman bileşenlerinde deformasyona neden olabilir ve fotolitografi doğruluğunu etkileyebilir. Granitin termal genleşme katsayısı son derece düşüktür, sadece 4-8 ×10⁻⁶/℃'dir; bu, çeliğin yaklaşık 1/3'ü ve alüminyum alaşımının yaklaşık 1/5'idir. Bu, fotolitografi makinesi uzun süre çalıştığında veya ortam sıcaklığı değiştiğinde granit tabanın boyut kararlılığını korumasını sağlayarak optik bileşenlerin ve mekanik yapıların hassas bir şekilde konumlandırılmasını sağlar.
Süper titreşim önleme performansı: Titreşimi emen "sünger"
Bir yarı iletken fabrikasında, çevredeki ekipmanların çalışması ve insanların hareketi titreşimlere neden olabilir. Granit, yüksek yoğunluğa ve sert bir dokuya sahip olup, metallerin 2 ila 5 katı bir sönümleme oranıyla mükemmel sönümleme özelliklerine sahiptir. Dış titreşimler granit tabana iletildiğinde, iç mineral kristalleri arasındaki sürtünme, titreşim enerjisini dağıtılmak üzere ısı enerjisine dönüştürür ve bu da titreşimi kısa sürede önemli ölçüde azaltabilir. Bu da fotolitografi makinesinin kararlılığını hızla geri kazanmasını ve titreşimden kaynaklanan fotolitografi deseninin bulanıklaşmasını veya hizasızlığını önlemesini sağlar.
Kimyasal kararlılık: Temiz Bir Çevrenin "Koruyucusu"
Bir fotolitografi makinesinin iç kısmı çeşitli kimyasal ortamlarla temas eder ve sıradan metal malzemeler korozyona veya partikül salınımına eğilimlidir. Granit, kuvars ve feldispat gibi minerallerden oluşur. Kararlı kimyasal özelliklere ve güçlü korozyon direncine sahiptir. Asit ve alkali çözeltilere batırıldıktan sonra yüzey korozyonu son derece düşüktür. Yoğun yapısı ise neredeyse hiç kalıntı veya toz oluşturmaz, en yüksek temiz oda standartlarının gereksinimlerini karşılar ve yonga kontaminasyonu riskini azaltır.
İşleme uyumluluğu: Hassas ölçütler oluşturmak için "ideal malzeme"
Fotolitografi makinesinin temel bileşenleri, yüksek hassasiyetli bir referans yüzeyine monte edilmelidir. Granitin iç yapısı homojendir ve taşlama, parlatma ve diğer tekniklerle son derece yüksek hassasiyette işlenmesi kolaydır. Düzlüğü ≤0,5 μm/m'ye ulaşabilir ve yüzey pürüzlülüğü Ra ≤0,05 μm'dir; bu da optik lensler gibi bileşenler için hassas bir montaj temeli sağlar.
Uzun ömürlü ve bakım gerektirmez: Maliyeti düşürmek için "keskin aletler"
Uzun süreli kullanımda yorulmaya ve çatlamaya eğilimli metal malzemelerle karşılaştırıldığında, granit normal yükler altında neredeyse hiç plastik deformasyona uğramaz veya kırılmaz ve yüzey işlemi gerektirmez, böylece kaplamanın soyulup kirlenme riski ortadan kalkar. Pratik uygulamalarda, uzun yıllar kullanıldıktan sonra bile granit tabanın temel performans göstergeleri istikrarlı kalabilir ve bu da ekipmanın işletme ve bakım maliyetlerini azaltır.
Isıl kararlılıktan titreşim direncine ve kimyasal atalete kadar, granit tabanın çok yönlü özellikleri, fotolitografi makinesinin gereksinimlerini mükemmel bir şekilde karşılar. Çip üretim süreci daha yüksek hassasiyete doğru gelişmeye devam ettikçe, granit tabanlar yarı iletken üretim alanında vazgeçilmez bir rol oynamaya devam edecektir.
Gönderim zamanı: 20 Mayıs 2025