Yarı iletken üretiminde, fotolitografi makinesi çiplerin hassasiyetini belirleyen temel bir cihazdır ve çok sayıda özelliği bulunan granit taban, fotolitografi makinesinin vazgeçilmez bir bileşeni haline gelmiştir.
Isıl kararlılık: Sıcaklık Değişimlerine Karşı "Kalkan"
Bir fotolitografi makinesi çalışırken büyük miktarda ısı üretir. Sadece 0,1℃'lik bir sıcaklık dalgalanması bile ekipman bileşenlerinin deformasyonuna neden olabilir ve fotolitografi doğruluğunu etkileyebilir. Granitin termal genleşme katsayısı son derece düşüktür, sadece 4-8 ×10⁻⁶/℃'dir, bu da çeliğin yaklaşık 1/3'ü ve alüminyum alaşımının yaklaşık 1/5'idir. Bu, fotolitografi makinesi uzun süre çalıştığında veya ortam sıcaklığı değiştiğinde granit tabanının boyutsal kararlılığını korumasını sağlayarak optik bileşenlerin ve mekanik yapıların hassas konumlandırılmasını sağlar.
Süper titreşim önleme performansı: Titreşimi emen "sünger"
Yarı iletken fabrikasında, çevredeki ekipmanın çalışması ve insanların hareketi titreşimler üretebilir. Granit yüksek yoğunluğa ve sert bir dokuya sahiptir ve metallerin 2 ila 5 katı bir sönümleme oranıyla mükemmel sönümleme özelliklerine sahiptir. Dış titreşimler granit tabanına iletildiğinde, iç mineral kristalleri arasındaki sürtünme titreşim enerjisini dağılmak üzere ısı enerjisine dönüştürür, bu da titreşimi kısa sürede önemli ölçüde azaltabilir ve fotolitografi makinesinin kararlılığı hızla geri kazanmasını ve titreşim nedeniyle fotolitografi deseninin bulanıklaşmasını veya hizasızlığını önlemesini sağlar.
Kimyasal kararlılık: Temiz Bir Çevrenin "Koruyucusu"
Bir fotolitografi makinesinin iç kısmı çeşitli kimyasal ortamlarla temas eder ve sıradan metal malzemeler korozyona veya partikül salınımına eğilimlidir. Granit, kuvars ve feldispat gibi minerallerden oluşur. Kararlı kimyasal özelliklere ve güçlü korozyon direncine sahiptir. Asit ve alkali çözeltilere batırıldıktan sonra yüzey korozyonu son derece küçüktür. Bu arada, yoğun yapısı neredeyse hiç döküntü veya toz üretmez, en yüksek temiz oda standartlarının gereksinimlerini karşılar ve gofret kontaminasyonu riskini azaltır.
İşleme uyarlanabilirliği: Kesin ölçütler oluşturmak için "ideal malzeme"
Fotolitografi makinesinin çekirdek bileşenlerinin yüksek hassasiyetli bir referans yüzeyine yerleştirilmesi gerekir. Granitin iç yapısı düzgündür ve taşlama, parlatma ve diğer tekniklerle son derece yüksek hassasiyette işlenmesi kolaydır. Düzlüğü ≤0,5μm/m'ye ulaşabilir ve yüzey pürüzlülüğü Ra ≤0,05μm'dir ve optik lensler gibi bileşenler için hassas bir kurulum temeli sağlar.
Uzun ömürlü ve bakım gerektirmez: Maliyet düşürme için "keskin aletler"
Uzun süreli kullanımda yorulmaya ve çatlamaya meyilli metal malzemelerle karşılaştırıldığında, granit normal yükler altında neredeyse hiç plastik deformasyona uğramaz veya kırılmaz ve yüzey işlemi gerektirmez, böylece kaplamanın soyulup kirlenme riski ortadan kalkar. Pratik uygulamalarda, uzun yıllar kullanıldıktan sonra bile granit tabanının temel performans göstergeleri hala sabit kalabilir ve ekipmanın işletme ve bakım maliyetleri azaltılabilir.
Termal kararlılıktan, titreşim direncine ve kimyasal eylemsizliğe kadar, granit tabanın çoklu özellikleri fotolitografi makinesinin gereksinimlerini mükemmel şekilde karşılar. Çip üretim süreci daha yüksek hassasiyete doğru gelişmeye devam ettikçe, granit tabanlar yarı iletken üretim alanında yeri doldurulamaz bir rol oynamaya devam edecektir.
Gönderi zamanı: 20-Mayıs-2025