Üst düzey üretim ve son teknoloji bilimsel araştırma alanında, hava şamandırasının ultra hassas hareket modülü, mükemmel hassas performansıyla hassas çalışma ve ölçüm için önemli bir ekipman haline gelmiştir. Destek çekirdeği olarak granit hassas taban, çalışma ortamı için sıkı gereksinimlere sahiptir ve uygun çevre koşulları, istikrarlı performansını ve en iyi etkiyi sağlamanın temelidir.
Birincisi, sıcaklık kontrolü: hassas "stabilizatör"
Granit, kararlılığıyla bilinse de sıcaklık değişimlerine karşı tamamen bağışık değildir. Termal genleşme katsayısı düşük olsa da, genellikle 5-7 ×10⁻⁶/℃, ultra hassas hareket kontrol senaryolarında, ince sıcaklık dalgalanmaları yine de boyutsal değişimlere neden olabilir ve modül doğruluğunu etkileyebilir. Yarı iletken çip üretim atölyesinde, litografi işlemi danami seviyesinde bir konumlandırma doğruluğu gerektirir ve ortam sıcaklığı 1 ° C dalgalanır ve 1 metre kenar uzunluğuna sahip granit taban, 5-7 mikronluk doğrusal bir genleşme veya büzülme üretebilir. Bu küçük değişiklik, hava şamandırasının ultra hassas hareket modülü tarafından iletilir ve bu, çip litografi desen sapmasına neden olmak ve verimi büyük ölçüde azaltmak için yeterlidir. Bu nedenle, hava yüzen ultra hassas hareket modülünün granit hassas tabanı ile donatılmış olması durumunda, ideal çalışma ortamı sıcaklığı 20 ° C ± 1 ° C'de kontrol edilmeli, sabit sıcaklık ve nem klima sistemi gibi yüksek hassasiyetli sabit sıcaklık ekipmanlarının yardımıyla, ortam sıcaklığının sürekli izlenmesi ve ayarlanması, sıcaklık dalgalanmalarının çok küçük bir aralıkta olmasını sağlamak, taban boyutunun kararlılığını korumak, modülün yüksek hassasiyetli çalışmasını sağlamak.
İkincisi, nem yönetimi: "taş"ın neme karşı korunmasının anahtarı
Nem, hassas granit tabanının performansını etkileyen bir diğer önemli faktördür. Yüksek nemli bir ortamda, granit su buharını kolayca emer, bu da yüzeyde yoğuşmaya yol açabilir, bu sadece granitin ve hava şamandırasının ultra hassas hareket modülünün bağlantı kararlılığını etkilemekle kalmaz, aynı zamanda yüzey aşınmasına neden olabilir ve uzun vadede parlaklığı ve doğruluğu azaltabilir. Optik lens taşlama atölyesinde, nem uzun süre %60RH'den yüksekse, granit tabanının yüzeyine emilen su buharı gaz şamandıra kaydırıcısının hareketini engelleyecek, böylece lens taşlama doğruluğu azalacak ve yüzey kusurlu hale gelecektir. Bu nedenle, çalışma ortamının bağıl nemi %40-%60RH arasında sıkı bir şekilde kontrol edilmeli, bu da yüksek nem nedeniyle granit tabanına zarar gelmesini önlemek ve hava şamandırasının ultra hassas hareket modülünün düzgün çalışmasını sağlamak için nem gidericiler, nem sensörleri ve diğer ekipmanlar takılarak gerçek zamanlı olarak izlenebilmeli ve ayarlanabilmelidir.
Üçüncüsü, temizlik garantisi: Hassasiyetin "koruyucusu"
Hava flotasyonunun ultra hassas hareket modülünün hassas granit tabanına toz parçacıklarının verdiği zarar hafife alınamaz. Küçük parçacıklar gaz şamandıra kaydırıcısı ile granit taban arasındaki gaz filmi boşluğuna girdiğinde, gaz filminin düzgünlüğünü bozabilir, sürtünmeyi artırabilir ve hatta tabanın yüzeyini çizebilir, bu da hareket doğruluğunun azalmasına neden olabilir. Havacılık parçalarının ultra hassas işleme atölyesinde, havadaki toz parçacıkları granit tabana düşerse, işleme aletinin hareket yörüngesi sapabilir ve bu da parçaların işleme doğruluğunu etkileyebilir. Bu nedenle, çalışma alanı son derece temiz tutulmalı, yüksek verimli hava filtreleri (HEPA) gibi hava temizleme ekipmanlarının takılmasıyla 10.000 veya daha yüksek temizlik standartlarına ulaşılmalı, aynı zamanda personelin insanların getirdiği tozu azaltmak için tozsuz giysiler, ayakkabı kılıfları vb. giymesi gerekir. Granit taban ve hava şamandıra ultra hassas hareket modülünün yüksek hassasiyetli çalışma ortamını koruyun.
Dördüncüsü, titreşim izolasyonu: "şok pedinin" düzgün çalışması
Dış titreşim, hava şamandırasının ultra hassas hareket modülünün hassasiyetinin düşmanıdır. Hassas granit taban belirli bir titreşim azaltma yeteneğine sahip olsa da, yüksek mukavemetli titreşim yine de tampon sınırını aşabilir. Fabrika etrafındaki trafik ve büyük mekanik ekipmanların çalışması tarafından üretilen titreşim, zeminden granit tabana iletilir ve bu da hava şamandırasının ultra hassas hareket modülünün hareket hassasiyetini etkiler. Üst düzey CMM'de titreşim, ölçüm probu ile ölçülecek iş parçası arasındaki temasın dengesiz olmasına neden olabilir ve bu da ölçüm verilerinin sapmasına yol açabilir. Bu sorunu çözmek için, ekipman kurulum alanına titreşim izolasyon pedleri yerleştirmek, titreşim izolasyon temeli oluşturmak veya harici titreşimi aktif olarak telafi etmek için aktif titreşim izolasyon sistemi kullanmak ve granit hassas taban ve hava şamandırasının ultra hassas hareket modülü için sessiz ve kararlı bir çalışma ortamı yaratmak gibi etkili titreşim izolasyon önlemleri almak gerekir.
Hava şamandırasının ultra hassas hareket modülünün granit hassas tabanı, yalnızca sıcaklık, nem, temizlik ve titreşim kontrolü gibi çevresel gereklilikleri tam olarak karşılayarak performans avantajlarını tam olarak kullanabilir, çeşitli alanlarda ultra hassas işlemler için güvenilir garanti sağlayabilir ve endüstrinin daha yüksek bir hassasiyet üretim ve bilimsel araştırma seviyesine doğru ilerlemesine yardımcı olabilir.
Gönderi zamanı: 08-04-2025