Üst düzey üretim ve son teknoloji bilimsel araştırmalar alanında, hava şamandırasının ultra hassas hareket modülü, mükemmel hassasiyet performansıyla hassas çalışma ve ölçüm için önemli bir ekipman haline gelmiştir. Destek çekirdeği olarak kullanılan granit hassas taban, çalışma ortamı için sıkı gerekliliklere sahiptir ve uygun çevre koşulları, istikrarlı performansını ve en iyi etkiyi sağlamanın temelini oluşturur.
Birincisi, sıcaklık kontrolü: hassas "stabilizatör"
Granit, kararlılığıyla bilinse de sıcaklık değişimlerine karşı tamamen bağışık değildir. Isıl genleşme katsayısı genellikle 5-7 ×10⁻⁶/℃ gibi düşük bir değerde olsa da, ultra hassas hareket kontrol senaryolarında küçük sıcaklık dalgalanmaları bile boyutsal değişikliklere neden olabilir ve modül doğruluğunu etkileyebilir. Yarı iletken çip üretim atölyesinde, litografi işlemi danami seviyesinde bir konumlandırma doğruluğu gerektirir ve ortam sıcaklığı 1°C dalgalanır. 1 metre kenar uzunluğuna sahip granit taban, 5-7 mikronluk doğrusal bir genleşme veya büzülmeye neden olabilir. Bu küçük değişiklik, hava şamandırasının ultra hassas hareket modülü tarafından iletilir ve bu da çip litografi deseninde sapmaya ve verimi büyük ölçüde azaltmaya yeter. Bu nedenle, hava yüzen ultra hassas hareket modülünün granit hassas tabanı ile donatılmış olması, ideal çalışma ortamı sıcaklığının 20 ° C ± 1 ° C'de kontrol edilmesi, sabit sıcaklık ve nem klima sistemi gibi yüksek hassasiyetli sabit sıcaklık ekipmanlarının yardımıyla, ortam sıcaklığının sürekli izlenmesi ve ayarlanması, sıcaklık dalgalanmalarının çok küçük bir aralıkta olmasını sağlamak, taban boyutunun kararlılığını korumak, modülün yüksek hassasiyetli çalışmasını sağlamak.
İkincisi, nem yönetimi: "Taş"ın neme dayanıklı korumasının anahtarı
Nem, hassas granit tabanın performansını etkileyen bir diğer önemli faktördür. Yüksek nemli bir ortamda, granit su buharını kolayca emer ve bu da yüzeyde yoğuşmaya neden olabilir. Bu durum, granitin ve hava şamandırasının ultra hassas hareket modülünün bağlantı stabilitesini etkilemekle kalmaz, aynı zamanda yüzey aşınmasına ve uzun vadede parlaklığın ve doğruluğun azalmasına da neden olabilir. Optik lens taşlama atölyesinde, nem oranı uzun süre %60'ın üzerindeyse, granit tabanının yüzeyine emilen su buharı, gaz şamandıra kaydırıcısının hareketini engelleyerek lens taşlama doğruluğunun azalmasına ve yüzeyin bozulmasına neden olur. Bu nedenle, çalışma ortamının bağıl nemi %40-%60 bağıl nem arasında sıkı bir şekilde kontrol edilmeli ve nem gidericiler, nem sensörleri ve diğer ekipmanlar kullanılarak gerçek zamanlı olarak izlenmeli ve ayarlanmalıdır. Böylece yüksek nem nedeniyle granit tabanın zarar görmesi önlenebilir ve hava şamandırasının ultra hassas hareket modülünün sorunsuz çalışması sağlanabilir.
Üçüncüsü, temizlik garantisi: Hassasiyetin "koruyucusu"
Toz parçacıklarının hava flotasyonunun ultra hassas hareket modülünün hassas granit tabanına verdiği zarar hafife alınamaz. Küçük parçacıklar gaz şamandırası kaydırıcısı ile granit taban arasındaki gaz filmi boşluğuna girdiğinde, gaz filminin düzgünlüğünü bozabilir, sürtünmeyi artırabilir ve hatta taban yüzeyini çizerek hareket hassasiyetini azaltabilir. Havacılık parçalarının işlendiği ultra hassas işleme atölyesinde, havadaki toz parçacıkları granit tabana düşerse, işleme takımının hareket yörüngesi sapabilir ve bu da parçaların işleme hassasiyetini etkileyebilir. Bu nedenle, çalışma alanı, yüksek verimli hava filtreleri (HEPA) gibi hava temizleme ekipmanlarının kurulumuyla 10.000 veya daha yüksek temizlik standartlarına ulaşacak şekilde son derece temiz tutulmalı ve havadaki toz parçacıkları filtrelenmelidir. Aynı zamanda, personelin insanlardan kaynaklanan tozu azaltmak için tozsuz giysiler, ayakkabı kılıfları vb. giymesi gerekir. Granit taban ve hava şamandırası ultra hassas hareket modülünün yüksek hassasiyetli çalışma ortamı sağlanmalıdır.
Dördüncüsü, titreşim izolasyonu: "şok pedinin" düzgün çalışması
Dış titreşim, hava şamandırasının ultra hassas hareket modülünün hassasiyetinin düşmanıdır. Hassas granit taban belirli bir titreşim sönümleme kabiliyetine sahip olsa da, yüksek dayanımlı titreşim yine de tampon sınırını aşabilir. Fabrika çevresindeki trafik ve büyük mekanik ekipmanların çalışmasıyla oluşan titreşim, zeminden granit tabana iletilir ve bu da hava şamandırasının ultra hassas hareket modülünün hareket doğruluğunu etkiler. Üst düzey CMM'lerde titreşim, ölçüm probu ile ölçülecek iş parçası arasındaki temasın dengesiz olmasına ve ölçüm verilerinin sapmasına neden olabilir. Bu sorunu çözmek için, ekipman kurulum alanına titreşim izolasyon pedleri yerleştirmek, titreşim izolasyon temeli oluşturmak veya dış titreşimi aktif olarak dengelemek ve granit hassas taban ile hava şamandırasının ultra hassas hareket modülü için sessiz ve istikrarlı bir çalışma ortamı oluşturmak için aktif titreşim izolasyon sistemi kullanmak gibi etkili titreşim izolasyon önlemleri almak gerekir.
Hava şamandırasının ultra hassas hareket modülünün granit hassas tabanı, yalnızca sıcaklık, nem, temizlik ve titreşim kontrolü gibi çevresel gereksinimleri tam olarak karşılayarak performans avantajlarını tam olarak kullanabilir, çeşitli alanlarda ultra hassas işlemler için güvenilir garanti sağlayabilir ve endüstrinin daha yüksek bir hassas üretim ve bilimsel araştırma seviyesine doğru ilerlemesine yardımcı olabilir.
Gönderi zamanı: 08 Nis 2025