Hassas üretim ve bilimsel araştırma alanlarında, granit hassas platformların düzlüğü, ekipmanın doğruluğunu garanti altına alan önemli bir göstergedir. Aşağıda, yaygın olarak kullanılan çeşitli tespit yöntemleri ve çalışma prosedürleri hakkında ayrıntılı bir giriş sunulmaktadır.
I. Lazer interferometresi Algılama yöntemi
Lazer interferometre, yüksek hassasiyetli düzlemsellik tespiti için tercih edilen araçtır. Örnek olarak ZYGO GPI XP lazer interferometresini ele alalım; çözünürlüğü 0,1 nm'ye ulaşabilir. Tespiti gerçekleştirirken, öncelikle interferometrenin ışık kaynağını platformla hizalayın ve platform yüzeyini 50 mm x 50 mm'lik ızgara alanlarına bölün. Ardından, girişim saçak verileri nokta nokta toplanmış ve veriler Zernike polinomu kullanılarak eşleştirilerek analiz edilerek düzlemsellik hatası elde edilmiştir. Bu yöntem, yüksek hassasiyetli platformlar için geçerlidir ve ≤0,5 μm/m²'ye kadar düzlemsellik hatalarını tespit edebilir. Genellikle fotolitografi makinelerinin ve üst düzey üç koordinatlı ölçüm cihazı platformlarının tespitinde kullanılır.
Ii. Elektronik Seviye Dizisi Yöntemi
Elektronik seviye dizisi tespiti, kullanımı kolay ve oldukça verimlidir. TESA A2 elektronik seviyesi (0,01 μm/m çözünürlüğe sahip), platformun X/Y ekseni yönünde 9x9'luk bir dizi halinde seçilip yerleştirilmiştir. Her seviyenin eğim verileri eş zamanlı olarak toplanıp en küçük kareler yöntemi kullanılarak hesaplama yapıldığında, düzlemsellik değeri doğru bir şekilde elde edilebilir. Bu yöntem, platformun yerel içbükeylik ve dışbükeylik koşullarını etkili bir şekilde belirleyebilir. Örneğin, 50 mm'lik bir aralıkta 0,2 μm'lik bir dalgalanma da tespit edilebilir ve bu, seri üretimde hızlı tespit için uygundur.
III. Optik Düz Kristal Yöntemi
Optik düz kristal yöntemi, küçük alanlı platformların tespiti için uygundur. Optik düz kristali platform üzerinde test edilecek yüzeye sıkıca tutturun ve tek renkli bir ışık kaynağının (örneğin bir sodyum lambası) aydınlatması altında aralarında oluşan girişim saçaklarını gözlemleyin. Çizgiler paralel düz çizgilerse, bu iyi bir düzlüğe işaret eder. Eğri çizgiler belirirse, çizgi eğrilik derecesine göre düzlük hatasını hesaplayın. Her eğri çizgi 0,316 μm'lik bir yükseklik farkını temsil eder ve düzlük verileri basit bir dönüştürme işlemiyle elde edilebilir.
Dört. Üç Koordinatlı Ölçüm Makinesi Muayene Yöntemi
Üç koordinatlı ölçüm makinesi, üç boyutlu uzayda yüksek hassasiyetli ölçümler elde edebilir. Granit platformu ölçüm makinesinin çalışma tablasına yerleştirin ve probu kullanarak platform yüzeyindeki birden fazla ölçüm noktasından verileri eşit şekilde toplayın. Ölçüm makinesi sistemi, bu verileri işleyip analiz ederek platformun düzlük raporunu oluşturur. Bu yöntem yalnızca düzlüğü tespit etmekle kalmaz, aynı zamanda platformun diğer geometrik parametrelerini de eş zamanlı olarak elde eder ve büyük granit platformların kapsamlı tespiti için uygundur.
Bu tespit yöntemlerine hakim olmak, granit hassas platformun düzlüğünü doğru bir şekilde değerlendirmenize ve hassas ekipmanın istikrarlı çalışması için güvenilir bir garanti sağlamanıza yardımcı olabilir.
Gönderim zamanı: 29 Mayıs 2025