Hassas üretim ve bilimsel araştırma alanlarında, granit hassas platformların düzlüğü, ekipmanın doğruluğunu garanti altına almak için önemli bir göstergedir. Aşağıda, sizin için birkaç ana akım tespit yöntemine ve bunların çalışma prosedürlerine ilişkin ayrıntılı bir giriş bulunmaktadır.
I. Lazer interferometresi Algılama yöntemi
Lazer interferometresi, yüksek hassasiyetli düzlemsellik tespiti için tercih edilen araçtır. Örnek olarak ZYGO GPI XP lazer interferometresini ele alalım, çözünürlüğü 0,1 nm'ye ulaşabilir. Tespiti gerçekleştirirken, önce interferometrenin ışık kaynağını platformla hizalayın ve platform yüzeyini 50 mm × 50 mm ızgara alanlarına bölün. Daha sonra, girişim saçak verileri nokta nokta toplandı ve veriler Zernike polinomu kullanılarak uyduruldu ve analiz edildi ve düzlemsellik hatası elde edildi. Bu yöntem yüksek hassasiyetli platformlara uygulanabilir ve ≤0,5 μm/m²'lik düzlemsellik hatalarını tespit edebilir. Genellikle fotolitografi makinelerinin ve üst düzey üç koordinatlı ölçüm makinesi platformlarının tespitinde kullanılır.
Ii. Elektronik Seviye Dizisi Yöntemi
Elektronik seviye dizisi tespiti kullanımı kolay ve oldukça verimlidir. TESA A2 elektronik seviyesi (0,01 μm/m çözünürlüğe sahip) seçildi ve platformun X/Y ekseni yönünde 9x9 dizi halinde düzenlendi. Her seviyenin eğim verilerini eş zamanlı olarak toplayarak ve ardından hesaplama için en küçük kareler yöntemini kullanarak, düzlemsellik değeri doğru bir şekilde elde edilebilir. Bu yöntem, platformun yerel içbükeylik ve dışbükeylik koşullarını etkili bir şekilde belirleyebilir. Örneğin, 50 mm aralığında 0,2 μm'lik bir dalgalanma da tespit edilebilir; bu, seri üretimde hızlı tespit için uygundur.
Iii. Optik Düz Kristal Yöntemi
Optik düz kristal yöntemi, küçük alan platformlarının tespiti için uygundur. Optik düz kristali platform üzerinde test edilecek yüzeye sıkıca takın ve tek renkli bir ışık kaynağının (örneğin bir sodyum lambası) aydınlatması altında aralarında oluşan girişim saçaklarını gözlemleyin. Eğer çizgiler paralel düz çizgiler ise, bu iyi bir düzlüğe işaret eder. Eğer eğri çizgiler belirirse, çizgi eğriliğinin derecesine göre düzlük hatasını hesaplayın. Her eğri çizgi 0,316 μm'lik bir yükseklik farkını temsil eder ve düzlük verileri basit bir dönüştürme yoluyla elde edilebilir.
Dört. Üç Koordinatlı Ölçüm Makinesi Muayene Yöntemi
Üç koordinatlı ölçüm makinesi, üç boyutlu uzayda yüksek hassasiyetli ölçüm elde edebilir. Granit platformu ölçüm makinesinin çalışma masasına yerleştirin ve platformun yüzeyindeki birden fazla ölçüm noktasından verileri eşit şekilde toplamak için probu kullanın. Ölçüm makinesi sistemi, platformun düzlük raporunu oluşturmak için bu verileri işler ve analiz eder. Bu yöntem yalnızca düzlüğü tespit etmekle kalmaz, aynı zamanda platformun diğer geometrik parametrelerini de aynı anda elde edebilir ve büyük granit platformların kapsamlı tespiti için uygundur.
Bu tespit yöntemlerine hakim olmak, granit hassas platformun düzlüğünü doğru bir şekilde değerlendirmenize ve hassas ekipmanların istikrarlı çalışması için güvenilir bir garanti sağlamanıza yardımcı olabilir.
Gönderi zamanı: 29-Mayıs-2025