Yarı iletken üretiminde Hassas Devrim: Granit mikron teknolojisiyle buluştuğunda
1.1 Malzeme biliminde beklenmeyen keşifler
2023 SEMI International Semiconductor Association raporuna göre, dünyanın gelişmiş fabrikalarının %63'ü geleneksel metal platformlar yerine granit tabanlar kullanmaya başladı. Dünyanın derinliklerindeki magma yoğunlaşmasından kaynaklanan bu doğal taş, benzersiz fiziksel özellikleri nedeniyle yarı iletken üretiminin tarihini yeniden yazıyor:
Termal atalet avantajı: Granitin termal genleşme katsayısı 4,5×10⁻⁶/℃, paslanmaz çeliğin sadece 1/5'idir ve litografi makinesinin sürekli çalışmasında ±0,001 mm'lik boyut kararlılığı korunur
Titreşim sönümleme özellikleri: İç sürtünme katsayısı dökme demirden 15 kat daha yüksektir ve ekipmanın mikro titreşimini etkili bir şekilde emer.
Sıfır mıknatıslanma doğası: Lazer ölçümünde manyetik hatayı tamamen ortadan kaldırın
1.2 Madenden fabrikaya dönüşüm yolculuğu
Örnek olarak ZHHIMG'nin Şandong'daki akıllı üretim üssünü ele alırsak, bir ham granit parçasının şu işlemlerden geçmesi gerekir:
Ultra hassas işleme: 200 saat sürekli frezeleme için beş eksenli bağlantı işleme merkezi, Ra0.008μm'ye kadar yüzey pürüzlülüğü
Yapay yaşlandırma işlemi: Sabit sıcaklık ve nem atölyesinde 48 saat doğal stres giderme, ürünün stabilitesini %40 oranında artırır
İkincisi, yarı iletken üretiminin altı hassas problemini çözün "kaya çözümü"
2.1 Wafer parçalanma oranı azaltma şeması
Vaka gösterimi: Almanya'daki bir talaş dökümhanesi gazlı yüzen granit platformumuzu benimsedikten sonra:
| Gofret çapı | çip oranı azaltma | düzlük iyileştirme |
| 12 inç | %67 | ≤0,001 mm |
| 18 inç | %82 | ≤0,0005 mm |
2.2 Litografik hizalama doğruluğu atılım şeması
Sıcaklık dengeleme sistemi: gömülü seramik sensör şekil değişkenini gerçek zamanlı olarak izler ve platform eğimini otomatik olarak ayarlar
Ölçülen veriler: 28℃±5℃ dalgalanması altında, gömme doğruluğu 0,12μm'den daha az dalgalanır
Gönderi zamanı: Mar-24-2025