Yarı iletken üretiminde Hassas Devrim: Granit mikron teknolojisiyle buluşuyor
1.1 Malzeme biliminde beklenmedik keşifler
SEMI Uluslararası Yarı İletken Birliği'nin 2023 raporuna göre, dünyadaki gelişmiş fabrikaların %63'ü geleneksel metal platformlar yerine granit tabanlar kullanmaya başladı. Dünyanın derinliklerindeki magma yoğunlaşmasından kaynaklanan bu doğal taş, benzersiz fiziksel özellikleri nedeniyle yarı iletken üretim tarihini yeniden yazıyor:
Termal atalet avantajı: Granitin termal genleşme katsayısı 4,5×10⁻⁶/℃, paslanmaz çeliğin sadece 1/5'idir ve litografi makinesinin sürekli çalışmasında ±0,001 mm'lik boyutsal kararlılık korunur
Titreşim sönümleme özellikleri: İç sürtünme katsayısı dökme demirden 15 kat daha yüksektir ve ekipmanın mikro titreşimini etkili bir şekilde emer.
Sıfır mıknatıslanma özelliği: Lazer ölçümünde manyetik hatayı tamamen ortadan kaldırır
1.2 Madenden fabrikaya dönüşüm yolculuğu
ZHHIMG'nin Şandong'daki akıllı üretim üssünü örnek olarak ele alırsak, ham granit parçasının şu işlemlerden geçmesi gerekir:
Ultra hassas işleme: 200 saat sürekli frezeleme için beş eksenli bağlantı işleme merkezi, Ra0,008 μm'ye kadar yüzey pürüzlülüğü
Yapay yaşlandırma işlemi: Sabit sıcaklık ve nem atölyesinde 48 saat doğal stres giderme, ürünün stabilitesini %40 oranında artırır
İkincisi, yarı iletken üretiminin altı hassas problemini "kaya çözümü" ile çözün
2.1 Gofret parçalanma oranı azaltma şeması
Vaka gösterimi: Almanya'daki bir talaş dökümhanesi gazlı yüzen granit platformumuzu benimsedikten sonra:
| Gofret çapı | çip oranı azaltma | düzlük iyileştirmesi |
| 12 inç | %67 | ≤0,001 mm |
| 18 inç | %82 | ≤0,0005 mm |
2.2 Litografik hizalama doğruluğu atılım şeması
Sıcaklık dengeleme sistemi: gömülü seramik sensör, şekil değişkenini gerçek zamanlı olarak izler ve platform eğimini otomatik olarak ayarlar
Ölçülen veriler: 28℃±5℃ dalgalanmasında, gömme doğruluğu 0,12μm'den daha az dalgalanır
Gönderi zamanı: 24 Mart 2025