Yarı iletken üretiminde Hassasiyet Devrimi: Granit, mikron teknolojisiyle buluşuyor
1.1 Malzeme biliminde beklenmedik keşifler
2023 SEMI Uluslararası Yarı İletken Birliği raporuna göre, dünyanın gelişmiş üretim tesislerinin %63'ü geleneksel metal platformlar yerine granit tabanlar kullanmaya başladı. Yerin derinliklerindeki magma yoğunlaşmasından kaynaklanan bu doğal taş, benzersiz fiziksel özellikleri nedeniyle yarı iletken üretiminin tarihini yeniden yazıyor:
Termal atalet avantajı: Granitin termal genleşme katsayısı 4,5×10⁻⁶/℃ olup, paslanmaz çeliğinkinin sadece 1/5'i kadardır ve litografi makinesinin sürekli çalışmasında ±0,001 mm boyutsal kararlılık korunmaktadır.
Titreşim sönümleme özellikleri: İç sürtünme katsayısı dökme demire göre 15 kat daha yüksektir ve ekipmanın mikro titreşimlerini etkili bir şekilde emer.
Sıfır manyetizasyon özelliği: lazer ölçümündeki manyetik hatayı tamamen ortadan kaldırır.
1.2 Madenden fabrikaya dönüşüm yolculuğu
ZHHIMG'nin Shandong'daki akıllı üretim üssünü örnek alacak olursak, bir parça ham granit şu işlemlerden geçmek zorundadır:
Ultra hassas işleme: 200 saat kesintisiz frezeleme için beş eksenli bağlantılı işleme merkezi, Ra0.008μm'ye kadar yüzey pürüzlülüğü.
Yapay yaşlandırma işlemi: Sabit sıcaklık ve nem koşullarına sahip atölyede 48 saat süren doğal stres giderme işlemi, ürünün stabilitesini %40 oranında artırır.
İkinci olarak, yarı iletken üretimindeki altı hassasiyet sorununu "kaya gibi sağlam bir çözüm" olarak ele almak gerekiyor.
2.1 Yonga levhası parçalanma oranını azaltma şeması
Örnek uygulama: Almanya'daki bir yonga dökümhanesi, gazla çalışan yüzer granit platformumuzu benimsedikten sonra:
| Yonga çapı | çip oranı azaltımı | düzlük iyileştirmesi |
| 12 inç | %67 | ≤0,001 mm |
| 18 inç | %82 | ≤0,0005 mm |
2.2 Litografik hizalama doğruluğu atılım şeması
Sıcaklık dengeleme sistemi: Gömülü seramik sensör, şekil değişkenini gerçek zamanlı olarak izler ve platformun eğimini otomatik olarak ayarlar.
Ölçülen veriler: 28℃±5℃ sıcaklık dalgalanması altında, gömme doğruluğu 0,12 μm'den daha az dalgalanma göstermektedir.
Yayın tarihi: 24 Mart 2025