Hassas ölçüm ve işleme için referans araç olarak kullanılan granit platformun doğruluğunun korunması, üretim kalitesini doğrudan etkiler. Aşağıda, platformun uzun süre nanometre düzeyinde doğruluğunu korumasını sağlamak için çevresel kontrol, günlük bakım ve profesyonel kalibrasyonu kapsayan sistematik bir bakım planı sunulmaktadır.
1. Çevresel Kontrol: Hassas bir koruma bariyeri oluşturun.
Sıcaklık ve nem yönetimi
Çalışma ortamı sıcaklığının 20±1℃'de sabitlenmesi gerekmektedir. Her 1℃'lik dalgalanma, granit platformda 0,5-1 μm/m oranında termal deformasyona neden olacaktır. Atölyeye, klima çıkışlarından doğrudan platforma hava üflemesini önlemek için sabit sıcaklık sistemi kurulabilir.
Nem oranı %40 ile %60 arasında kontrol edilmelidir. Aşırı nem metal parçalarda kolayca paslanmaya neden olabilirken, çok düşük nem ise ölçümlerde statik elektrik parazitine yol açabilir.
Titreşim izolasyonu
Platform, pres makineleri ve freze makineleri gibi titreşim kaynaklarından uzak tutulmalıdır. Titreşim ekipmanlarından 3 metreden fazla mesafe bırakılması önerilir.
Titreşimden kaçınılamıyorsa, platformun düzlüğüne çevresel titreşimin etkisini azaltmak için platformun altına hava yaylı amortisörler takılabilir (bu, dış titreşimi %80'den fazla azaltabilir).
2. Günlük Bakım: Temizlikten korumaya kadar titiz kontrol.
Yüzey temizleme özellikleri
Toz alma: Toz parçacıklarının (≥5μm) platformu çizmesini önlemek için yüzeyi her gün aynı yönde geyik postu veya tüy bırakmayan bir bezle silin. İnatçı lekeler, susuz etanol (saflık ≥%99,7) ile nazikçe silinebilir. Aseton gibi güçlü çözücüler kullanılmamalıdır.
Yağ giderme: Yağ lekeleriyle temas ederse, seyreltilmiş nötr bir temizleyiciyle silin, ardından deiyonize suyla durulayın ve mineral yağın platformun küçük gözeneklerine nüfuz etmesini önlemek için havayla kurutun.
Yük ve çarpışma koruması
Yerel aşırı yüklenmeden kaynaklanan kalıcı deformasyonu önlemek için platformun taşıma kapasitesi, nominal yükün %70'i içinde kontrol edilmelidir (örneğin, 1000 kg'lık bir platform için yükün ≤700 kg olması önerilir).
Platform üzerinde iş parçalarına vurmak kesinlikle yasaktır. Aletleri kullanırken, keskin cisimlerin yüzeyi çizmesini önlemek için yumuşak eldiven giyin (20 μm'den daha derin çizikler, yansıyan ışık yolunun ölçümünü etkileyecektir).
3. Profesyonel Kalibrasyon: Doğruluğun bilimsel olarak korunmasının temeli
Kalibrasyon döngüsü ayarı
Geleneksel kullanım senaryoları: Kalibrasyonu üç ayda bir yapın ve düzlüğü tespit etmek için lazer interferometre kullanın (±0,5 μm/m doğrulukla).
Yüksek frekanslı kullanım veya zorlu ortamlar: Aylık kalibrasyon, özellikle sıcaklığa duyarlı alanların (örneğin ısı kaynaklarının yakınındaki platform kenarı) izlenmesine odaklanılarak yapılmalıdır.
Kalibrasyon sonrası işlem
Düzlükte sapma tespit edilirse (örneğin > ±1 μm/m), W1.5 mikro toz kullanılarak profesyonel bir teknisyen tarafından zımparalanmalı ve onarılmalıdır. Zımpara kağıdı ile kendi kendine zımparalama kesinlikle yasaktır.
Kalibrasyon işleminden sonra veriler kaydedilip arşivlenmeli ve bakım gereksinimlerini önceden tahmin etmek için bir platform doğruluk zayıflama eğrisi oluşturulmalıdır.
4. Depolama ve Taşıma: Gizli hassasiyet kaybından kaçının
Uzun süreli saklama için önemli noktalar
Saklama sırasında nem ve toz geçirmez bir örtüyle kapatılmalıdır. Yerçekiminin neden olduğu bükülme deformasyonunu önlemek için taban üç noktadan desteklenmelidir (destek noktası platformun uzunluğunun 2/9'unda bulunur) (1 metrelik bir platform, uzun süreli tek noktadan destek nedeniyle 0,3 μm kadar sarkabilir).
Uzun vadeli yerel baskıyı önlemek için platform destek noktalarının konumunu düzenli olarak (aylık olarak) değiştirin.
Ulaşım koruma planı
Kısa mesafe taşımacılığı: Darbe emici köpükle sarın, sağlam bir çerçeve içine sabitleyin ve ivmeyi 2g'nin altında tutun.
Uzun mesafeli taşıma: Vakumla paketlenmeli ve kuru azotla doldurulmalıdır. Varıştan sonra, yoğuşma suyunun doğruluğu etkilemesini önlemek için ambalajı açmadan önce sıcaklığın dengeye ulaşması için 24 saat bekletilmelidir.
5. Arıza Tahmini: Erken Problemleri Belirleme Teknikleri
Görsel inceleme: Yüzeyi düzenli olarak 40x büyütücü bir mercekle inceleyin. Sürekli çizikler veya parlaklıkta belirgin bir azalma tespit edilirse, bu doğrulukta bir düşüşe işaret edebilir.
Ses tespiti: Platforma hafifçe vurun. Ses boğuklaşırsa (normalde net bir ses olmalıdır), içeride mikro çatlaklar olabilir. Tespit için kullanmayı hemen bırakın.
Bu bakım sistemi sayesinde, ZHHIMG® granit platformu 10 yıl boyunca ±1 μm/m hassasiyetinde düzgünlüğünü koruyabilir; bu da düzgün bakımı yapılmayan platformların hassasiyet ömrünün üç katından daha uzundur. Uygulamada, belirli bir yarı iletken fabrikasının bu çözümü benimsemesinin ardından platform kalibrasyon sıklığının %50 azaldığı ve yıllık bakım maliyetinden 150.000 yuan'dan fazla tasarruf sağlandığı kanıtlanmıştır.
Yayın tarihi: 18 Haz-2025