Hassas ölçüm ve işleme için bir referans aracı olan granit platformun doğruluğunun korunması, üretim kalitesini doğrudan etkiler. Aşağıda, platformun nanometre düzeyinde doğruluğu uzun süre korumasını sağlamak için çevre kontrolü, günlük bakım ve profesyonel kalibrasyonu kapsayan sistematik bir bakım planı sunulmaktadır.
1. Çevresel Kontrol: Hassas bir koruma bariyeri inşa edin
Sıcaklık ve nem yönetimi
Çalışma ortamı sıcaklığının 20±1℃'de sabitlenmesi gerekir. Her 1℃ dalgalanma, granit platformun 0,5-1μm/m'de termal deformasyonuna neden olur. Klima çıkışlarının doğrudan platforma üflemesini önlemek için atölyeye sabit sıcaklık sistemi kurulabilir.
Nem %40 ile %60 arasında kontrol edilmelidir. Aşırı nem metal parçalarda kolayca paslanmaya neden olabilirken, çok düşük nem ise ölçümde statik elektrik parazitine yol açabilir.
Titreşim izolasyonu
Platform, damgalama makineleri ve freze makineleri gibi titreşim kaynaklarından uzak tutulmalıdır. Titreşim ekipmanlarından 3 metreden fazla mesafe bırakılması önerilir.
Titreşimin önlenmesi mümkün değilse, platformun düzlüğüne çevresel titreşimlerin etkisini azaltmak için platformun alt kısmına hava yaylı amortisörler takılabilir (bu sayede dış titreşimler %80'den fazla azaltılabilir).
2. Günlük Bakım: Temizlikten korumaya kadar titiz kontrol
Yüzey temizleme spesifikasyonu
Toz giderme: Toz parçacıklarının (≥5μm) platformu çizmesini önlemek için yüzeyi her gün geyik derisi veya tiftiksiz bir bezle aynı yönde silin. İnatçı lekeler susuz etanol (saflık ≥%99,7) ile nazikçe silinebilir. Aseton gibi güçlü çözücüler kullanılmamalıdır.
Yağdan Arındırma: Yağ lekeleriyle temas ederse, seyreltilmiş nötr bir temizleyici ile silin, ardından deiyonize su ile durulayın ve mineral yağın platformun küçük gözeneklerine nüfuz etmesini önlemek için hava ile kurutun.
Yük ve çarpışma koruması
Platformun yük taşıma kapasitesi, lokal aşırı yüklenmeden kaynaklanan kalıcı deformasyonların önlenmesi için nominal yükün %70'i içerisinde kontrol edilmelidir (örneğin 1000 kg'lık bir platform için yükün ≤700 kg olması önerilir).
Platformdaki iş parçalarına çarpmak kesinlikle yasaktır. Aletleri kullanırken, keskin nesnelerin yüzeyi çizmesini önlemek için yumuşak eldivenler giyin (20μm'den daha büyük derinlikteki çizikler yansıyan ışık yolunun ölçümünü etkileyecektir).
3. Profesyonel Kalibrasyon: Bilimsel olarak doğruluğu korumanın özü
Kalibrasyon döngüsü ayarı
Geleneksel kullanım senaryoları: Her çeyrekte bir kalibrasyon yapın ve düzlüğü tespit etmek için bir lazer interferometresi kullanın (±0,5 μm/m doğrulukla).
Yüksek frekanslı kullanım veya zorlu ortamlar: Sıcaklığa duyarlı alanların (örneğin ısı kaynaklarının yakınındaki platform kenarı) izlenmesine odaklanarak aylık kalibrasyon.
Kalibrasyon sonrası işleme
Düzlük sapması (örneğin > ±1μm/m) bulunursa, W1.5 mikro tozu kullanılarak profesyonel bir teknisyen tarafından taşlanmalı ve onarılmalıdır. Zımpara kağıdı ile kendi kendine taşlama kesinlikle yasaktır.
Kalibrasyondan sonra veriler kaydedilmeli ve arşivlenmeli, ayrıca bakım gereksinimlerini önceden tahmin etmek için bir platform doğruluk zayıflama eğrisi oluşturulmalıdır.
4. Depolama ve Taşıma: Gizli hassasiyet kaybını önleyin
Uzun süreli depolama için önemli noktalar
Depolama sırasında nem ve toz geçirmez bir örtü ile örtülmelidir. Taban, yerçekiminin neden olduğu eğilme deformasyonunu önlemek için üç noktadan desteklenmelidir (destek noktası platformun uzunluğunun 2/9'unda bulunur) (1 metrelik bir platform uzun süreli tek nokta desteği nedeniyle 0,3 μm sarkabilir).
Uzun vadeli yerel baskılardan kaçınmak için platform destek noktalarının konumunu düzenli olarak (aylık) hareket ettirin.
Ulaştırma koruma planı
Kısa mesafeli taşımacılık: Şok emici köpükle sarın, sağlam bir çerçeveye sabitleyin ve ivmeyi 2g içinde tutun.
Uzun mesafeli taşıma: Vakumlu paketlenmesi ve kuru nitrojenle doldurulması gerekir. Geldikten sonra, yoğuşma suyunun doğruluğu etkilemesini önlemek için ambalajı açmadan önce sıcaklık dengeye ulaşana kadar 24 saat bekletilmelidir.
5. Arıza Tahmini: Erken Sorunları Belirleme Teknikleri
Görsel inceleme: Yüzeyi düzenli olarak 40x büyüteçle inceleyin. Sürekli çizikler veya parlaklıkta önemli bir azalma bulunursa, bu doğrulukta bir düşüşe işaret ediyor olabilir.
Ses algılama: Platforma hafifçe vurun. Ses boğuklaşırsa (normalde net bir ses olmalıdır), içinde mikro çatlaklar olabilir. Algılama için kullanmayı hemen bırakın.
Bu bakım sistemi sayesinde, ZHHIMG® granit platformu 10 yıl boyunca ±1μm/m düzlüğünü koruyabilir; bu, düzgün bir şekilde bakımı yapılmayan platformların hassas ömründen üç kat daha uzundur. Uygulama, belirli bir yarı iletken fabrikasının bu çözümü benimsemesinden sonra platform kalibrasyon sıklığının %50 oranında azaldığını ve yıllık bakım maliyetinin 150.000 yuandan fazla tasarruf edildiğini kanıtlamıştır.
Gönderi zamanı: 18-Haz-2025