Hassas ölçüm ve işleme için bir referans aracı olan granit platformun hassasiyetinin korunması, üretim kalitesini doğrudan etkiler. Aşağıda, platformun nanometre düzeyinde hassasiyetini uzun süre korumasını sağlamak için çevre kontrolü, günlük bakım ve profesyonel kalibrasyonu kapsayan sistematik bir bakım planı sunulmaktadır.
1. Çevresel Kontrol: Hassas bir koruma bariyeri oluşturun
Sıcaklık ve nem yönetimi
Çalışma ortamı sıcaklığının 20±1℃'de sabitlenmesi gerekmektedir. Her 1℃'lik dalgalanma, granit platformun 0,5-1μm/m'lik termal deformasyonuna neden olacaktır. Klima çıkışlarının doğrudan platforma üflemesini önlemek için atölyeye sabit sıcaklık sistemi kurulabilir.
Nem oranı %40 ile %60 arasında olmalıdır. Aşırı nem, metal parçalarda kolayca paslanmaya neden olabilirken, çok düşük nem ise ölçümde statik elektrik parazitine yol açabilir.
Titreşim izolasyonu
Platform, pres makineleri ve freze makineleri gibi titreşim kaynaklarından uzak tutulmalıdır. Titreşim ekipmanlarından 3 metreden fazla mesafe bırakılması önerilir.
Titreşimin önlenememesi durumunda, platformun düzlüğüne çevresel titreşimin etkisini azaltmak için platformun alt kısmına hava yaylı amortisörler takılabilir (bu sayede dış titreşimler %80'den fazla azaltılabilir).
2. Günlük Bakım: Temizlikten korumaya kadar titiz kontrol
Yüzey temizleme spesifikasyonu
Toz giderme: Toz parçacıklarının (≥5μm) platformu çizmesini önlemek için yüzeyi her gün aynı yönde geyik derisi veya tiftiksiz bir bezle silin. İnatçı lekeler, susuz etanol (saflık ≥%99,7) ile nazikçe silinebilir. Aseton gibi güçlü çözücüler kullanılmamalıdır.
Yağdan Arındırma: Yağ lekeleriyle temas etmesi durumunda, seyreltilmiş nötr bir temizleyiciyle silin, ardından deiyonize suyla durulayın ve mineral yağın platformun küçük gözeneklerine nüfuz etmesini önlemek için hava ile kurutun.
Yük ve çarpışma koruması
Platformun yük taşıma kapasitesi, yerel aşırı yüklenmeden kaynaklanan kalıcı deformasyonu önlemek için nominal yükün %70'i içerisinde kontrol edilmelidir (örneğin 1000 kg'lık bir platform için yükün ≤700 kg olması önerilir).
Platformdaki iş parçalarına vurmak kesinlikle yasaktır. Aletleri kullanırken, keskin nesnelerin yüzeyi çizmesini önlemek için yumuşak eldiven giyin (20 μm'den daha derin çizikler, yansıyan ışık yolunun ölçümünü etkileyecektir).
3. Profesyonel Kalibrasyon: Doğruluğu bilimsel olarak sürdürmenin özü
Kalibrasyon döngüsü ayarı
Geleneksel kullanım senaryoları: Her çeyrekte bir kalibrasyon yapın ve düzlüğü tespit etmek için bir lazer interferometresi kullanın (±0,5μm/m doğrulukla).
Yüksek frekanslı kullanım veya zorlu ortamlar: Sıcaklığa duyarlı alanların (örneğin ısı kaynaklarının yakınındaki platform kenarı) izlenmesine odaklanılarak aylık kalibrasyon.
Kalibrasyon sonrası işleme
Düzlük sapması (örneğin > ±1μm/m) tespit edilirse, W1.5 mikro tozu kullanılarak profesyonel bir teknisyen tarafından taşlanmalı ve onarılmalıdır. Zımpara ile kendi kendine taşlama kesinlikle yasaktır.
Kalibrasyondan sonra veriler kaydedilmeli ve arşivlenmeli, ayrıca bakım gereksinimlerini önceden tahmin etmek için bir platform doğruluk zayıflama eğrisi oluşturulmalıdır.
4. Depolama ve Taşıma: Gizli hassasiyet kaybını önleyin
Uzun süreli depolama için önemli noktalar
Depolanırken nem ve toz geçirmez bir örtü ile örtülmelidir. Taban, yer çekiminin neden olduğu eğilme deformasyonunu önlemek için üç noktadan desteklenmelidir (destek noktası, platform uzunluğunun 2/9'unda bulunur) (uzun süreli tek noktadan destek nedeniyle 1 metrelik bir platform 0,3 μm sarkabilir).
Uzun vadeli yerel baskılardan kaçınmak için platform destek noktalarının konumunu düzenli olarak (aylık) değiştirin.
Ulaştırma koruma planı
Kısa mesafeli taşıma: Darbe emici köpükle sarın, sert bir çerçeveye sabitleyin ve ivmeyi 2g içinde tutun.
Uzun mesafeli taşıma: Vakumlu ambalajda paketlenip kuru nitrojenle doldurulması gerekir. Teslim alındıktan sonra, yoğuşma suyunun hassasiyeti etkilemesini önlemek için ambalajı açmadan önce sıcaklık dengeye gelene kadar 24 saat bekletilmelidir.
5. Arıza Tahmini: Sorunları Erken Belirleme Teknikleri
Görsel inceleme: Yüzeyi düzenli olarak 40x büyüteçle inceleyin. Sürekli çizikler veya parlaklıkta önemli bir azalma tespit edilirse, bu durum hassasiyette bir düşüşe işaret ediyor olabilir.
Ses algılama: Platforma hafifçe vurun. Ses kısıklaşırsa (normalde net olmalıdır), içinde mikro çatlaklar olabilir. Algılama için kullanmayı hemen bırakın.
Bu bakım sistemi sayesinde ZHHIMG® granit platformu, 10 yıl boyunca ±1μm/m düzlüğünü koruyabilmektedir. Bu, uygun şekilde bakımı yapılmayan platformların hassas kullanım ömründen üç kat daha uzundur. Uygulamada, belirli bir yarı iletken fabrikasının bu çözümü benimsemesinin ardından platform kalibrasyon sıklığının %50 oranında azaldığı ve yıllık bakım maliyetinin 150.000 yuandan fazla tasarruf sağladığı kanıtlanmıştır.
Gönderi zamanı: 18 Haz 2025