Malzeme – Seramik

♦Alümina(Al2O3)

ZhongHui Akıllı Üretim Grubu (ZHHIMG) tarafından üretilen hassas seramik parçalar, yüksek saflıkta seramik hammaddelerden, %92~97 alümina, %99,5 alümina, >%99,9 alüminadan ve CIP soğuk izostatik presleme yöntemiyle üretilebilir. Yüksek sıcaklıkta sinterleme ve hassas işleme ile ± 0,001 mm boyutsal doğruluk, Ra0,1'e kadar pürüzsüzlük ve 1600 dereceye kadar kullanım sıcaklığına sahiptir. Siyah, beyaz, bej, koyu kırmızı vb. gibi farklı renklerde seramikler müşteri taleplerine göre üretilebilir. Şirketimiz tarafından üretilen hassas seramik parçalar yüksek sıcaklığa, korozyona, aşınmaya ve yalıtıma dayanıklıdır ve yüksek sıcaklık, vakum ve aşındırıcı gaz ortamlarında uzun süre kullanılabilir.

Çeşitli yarı iletken üretim ekipmanlarında yaygın olarak kullanılır: Çerçeveler (seramik braket), Altlık (taban), Kol/Köprü (manipülatör), Mekanik Bileşenler ve Seramik Hava Yatağı.

AL2O3

Ürün Adı Yüksek Saflıkta %99 Alümina Seramik Kare Boru / Tüp / Çubuk
İndeks Birim %85 Al2O3 %95 Al2O3 %99 Al2O3 %99,5 Al2O3
Yoğunluk g/cm3 3.3 3.65 3.8 3.9
Su Emilimi % <0.1 <0.1 0 0
Sinterleme Sıcaklığı 1620 1650 1800 1800
Sertlik Mohs 7 9 9 9
Eğilme Dayanımı (20℃) MPa 200 300 340 360
Basınç Dayanımı Kgf/cm2 10000 25000 30000 30000
Uzun Süreli Çalışma Sıcaklığı 1350 1400 1600 1650
Maksimum Çalışma Sıcaklığı 1450 1600 1800 1800
Hacim Direnci 20℃ Ω. cm3 >1013 >1013 >1013 >1013
100℃ 1012-1013 1012-1013 1012-1013 1012-1013
300℃ >109 >1010 >1012 >1012

Yüksek saflıkta alümina seramiklerinin uygulama alanları:
1. Yarı iletken ekipmanlarda kullanılır: seramik vakumlu tutucu, kesme diski, temizleme diski, seramik tutucu.
2. Yonga levha transfer parçaları: yonga levha taşıma aynaları, yonga levha kesme diskleri, yonga levha temizleme diskleri, yonga levha optik inceleme vantuzları.
3. LED/LCD düz panel ekran endüstrisi: seramik nozul, seramik taşlama diski, kaldırma pimi, pim rayı.
4. Optik iletişim, güneş enerjisi endüstrisi: seramik tüpler, seramik çubuklar, devre kartı serigrafi baskı seramik kazıyıcıları.
5. Isıya dayanıklı ve elektriksel olarak yalıtkan parçalar: seramik rulmanlar.
Günümüzde alüminyum oksit seramikler, yüksek saflıkta ve yaygın seramikler olarak ikiye ayrılabilir. Yüksek saflıkta alüminyum oksit seramik serisi, %99,9'dan fazla Al₂O₃ içeren seramik malzemeyi ifade eder. 1650 - 1990°C'ye kadar sinterleme sıcaklığı ve 1 ~ 6 μm iletim dalga boyu nedeniyle, genellikle platin pota yerine erimiş cam olarak işlenir; bu da ışık geçirgenliği ve alkali metallere karşı korozyon direnci nedeniyle sodyum tüpü olarak kullanılabilir. Elektronik endüstrisinde, IC alt tabakaları için yüksek frekanslı yalıtım malzemesi olarak kullanılabilir. Alüminyum oksit içeriğine göre, yaygın alüminyum oksit seramik serisi %99 seramik, %95 seramik, %90 seramik ve %85 seramik olarak ayrılabilir. Bazen %80 veya %75 alüminyum oksit içeren seramikler de yaygın alüminyum oksit seramik serisi olarak sınıflandırılır. Bunlar arasında, 99 alüminyum oksit seramik malzeme, yüksek sıcaklık potası, fırın borusunun yangına dayanıklı hale getirilmesi ve seramik rulmanlar, seramik contalar ve valf plakaları gibi özel aşınmaya dayanıklı malzemelerin üretiminde kullanılır. 95 alüminyum seramik esas olarak korozyona dayanıklı ve aşınmaya dayanıklı parça olarak kullanılır. 85 seramik genellikle bazı özelliklerle karıştırılarak elektriksel performansı ve mekanik dayanımı artırır. Molibden, niyobyum, tantal ve diğer metal contalarla birlikte kullanılabilir ve bazıları elektrikli vakum cihazları olarak kullanılır.

 

Kaliteli Ürün (Temsili Değer) Ürün Adı AES-12 AES-11 AES-11C AES-11F AES-22S AES-23 AL-31-03
Kimyasal Bileşim Düşük Sodyumlu Kolay Sinterlenebilir Ürün H₂O % 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1
Yüksek sesle gülmek % 0.1 0.2 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1
Fe₂0₃ % 0,01 0,01 0,01 0,01 0,01 0,01 0,01
SiO₂ % 0,03 0,03 0,03 0,03 0,02 0,04 0,04
Na₂O % 0,04 0,04 0,04 0,04 0,02 0,04 0,03
MgO* % - 0.11 0,05 0,05 - - -
Al₂0₃ % 99.9 99.9 99.9 99.9 99.9 99.9 99.9
Orta Parçacık Çapı (MT-3300, lazer analiz yöntemi) μm 0,44 0,43 0.39 0,47 1.1 2.2 3
α Kristal Boyutu μm 0.3 0.3 0.3 0.3 0,3 ~ 1,0 0,3 ~ 4 0,3 ~ 4
Oluşum Yoğunluğu** g/cm³ 2.22 2.22 2.2 2.17 2.35 2.57 2.56
Sinterleme Yoğunluğu** g/cm³ 3.88 3.93 3.94 3.93 3.88 3.77 3.22
Sinterleme Hattının Küçülme Oranı** % 17 17 18 18 15 12 7

* MgO, Al₂O₃'ün saflık hesaplamasına dahil edilmemiştir.
* Toz sertliği 29,4 MPa (300 kg/cm²) ve sinterleme sıcaklığı 1600 °C'dir.
AES-11 / 11C / 11F: %0,05 ~ %0,1 MgO ilave edildiğinde, sinterlenebilirlik mükemmeldir, bu nedenle saflığı %99'dan fazla olan alüminyum oksit seramikler için uygundur.
AES-22S: Yüksek şekillendirme yoğunluğu ve düşük büzülme oranıyla karakterize edilen sinterleme hattı, kayma kalıp döküm ve gerekli boyutsal hassasiyete sahip diğer büyük ölçekli ürünler için uygundur.
AES-23 / AES-31-03: AES-22S'ye göre daha yüksek şekillendirme yoğunluğuna, tiksotropiye ve daha düşük viskoziteye sahiptir. İlki seramiklerde kullanılırken, ikincisi yangına dayanıklı malzemeler için su azaltıcı olarak kullanılmakta ve giderek popülerlik kazanmaktadır.

♦Silisyum Karbür (SiC) Özellikleri

Genel Özellikler Ana bileşenlerin saflığı (ağırlıkça %) 97
Renk Siyah
Yoğunluk (g/cm³) 3.1
Su emme (%) 0
Mekanik Özellikler Eğilme dayanımı (MPa) 400
Young modülü (GPa) 400
Vickers sertliği (GPa) 20
Termal Özellikler Maksimum çalışma sıcaklığı (°C) 1600
Termal genleşme katsayısı RT~500°C 3.9
(1/°C x 10-6) RT~800°C 4.3
Isı iletkenliği (W/m x K) 130 110
Termal şok direnci ΔT (°C) 300
Elektriksel Özellikler Hacimsel direnç 25°C 3 x 106
300°C -
500°C -
800°C -
Dielektrik sabiti 10GHz -
Dielektrik kayıp (x 10-4) -
Q Faktörü (x 104) -
Dielektrik kırılma gerilimi (KV/mm) -

20200507170353_55726

♦Silikon Nitrür Seramik

Malzeme Birim Si₃N₄
Sinterleme Yöntemi - Gaz Basıncıyla Sinterlenmiş
Yoğunluk g/cm³ 3.22
Renk - Koyu Gri
Su Emme Oranı % 0
Young Modülü GPA 290
Vickers Sertliği GPA 18 - 20
Basınç Dayanımı MPa 2200
Eğilme Mukavemeti MPa 650
Isı İletkenliği W/mK 25
Termal Şok Direnci Δ (°C) 450 - 650
Maksimum Çalışma Sıcaklığı °C 1200
Hacim Direnci Ω·cm > 10 ^ 14
Dielektrik Sabiti - 8.2
Dielektrik Dayanımı kV/mm 16