Yüksek teknoloji üretim ve ileri düzey bilimsel araştırma alanlarında, hassas statik basınçlı hava şamandıralı hareket platformu, ultra hassas çalışma elde etmek için kilit ekipmandır. Granit hassas taban, platformun temel destekleyici parçasıdır ve performansı çalışma ortamıyla yakından ilişkilidir. Bu çevresel gereksinimleri anlamak ve karşılamak, platformun yüksek hassasiyetli çalışmasını sağlamanın yanı sıra, işletmenin ilgili alanlardaki rekabet gücünü artırmasının da önemli bir parçasıdır; bu konu aşağıda detaylı olarak açıklanmıştır.
1. Sıcaklık: Boyutsal istikrarı sağlamak için hassas kontrol.
Granit, kararlılığıyla bilinmesine rağmen, termal genleşme katsayısı sıfır değildir ve küçük sıcaklık değişimleri bile boyutsal doğruluğunu etkileyebilir. Genel olarak, granitin termal genleşme katsayısı 5-7 ×10⁻⁶/℃'dir. Hassas statik basınçlı hava ile hareket eden platformların uygulama senaryosunda, bu küçük değişim platform tarafından büyütülerek hareket doğruluğunda sapmaya yol açabilir. Örneğin, yarı iletken çip üretim sürecinde, konumlandırma doğruluğu gereksinimlerinin çok yüksek olduğu litografi işleminde, ortam sıcaklığındaki 1 °C'lik dalgalanma, 1 metrelik granit tabanın kenar uzunluğunda 5-7 mikronluk doğrusal genleşme veya büzülmeye neden olabilir; bu da çip litografi deseninin sapmasına ve verimin azalmasına yetecek kadardır. Bu nedenle, granit hassas tabanla donatılmış hassas statik basınçlı hava yüzer platformunda, ideal çalışma ortamı sıcaklığı 20°C ±1°C'de sıkı bir şekilde kontrol edilmelidir. İşletmeler, yüksek hassasiyetli sabit sıcaklık klima sistemi kurarak, ortam sıcaklığını sürekli olarak izleyip doğru bir şekilde ayarlayabilir, granit tabanın boyutunun stabilitesini koruyabilir ve platformun yüksek hassasiyetli çalışmasını sağlayabilirler.
2. Nem: Makul kontrol, temel performansı korur.
Nem, hassas granit tabanlar üzerinde de önemli bir etkiye sahiptir. Yüksek nemli bir ortamda, granit su buharını kolayca emer ve yüzeyde yoğuşma oluşabilir; bu da sadece hava flotasyon sisteminin normal çalışmasını engellemekle kalmaz, aynı zamanda granit yüzeyinin uzun süreli aşınmasına, hassasiyetinin ve kullanım ömrünün azalmasına da yol açar. Optik lens taşlama atölyesini örnek alacak olursak, nem uzun süre %60 RH'nin üzerinde kalırsa, granit tabanın yüzeyine emilen su buharı, hava flotasyon filminin homojenliğini bozarak lens taşlama hassasiyetinde azalmaya ve yüzey kusurlarına neden olur. Bu nedenle, çalışma ortamının bağıl nemi %40-%60 RH arasında kontrol edilmelidir. İşletmeler, nem alma cihazları, nem sensörleri ve diğer ekipmanları kullanarak nemi gerçek zamanlı olarak izleyebilir ve kontrol edebilir, hassas granit taban için uygun bir nem ortamı oluşturabilir ve hassas statik basınçlı hava flotasyon hareket platformunun istikrarlı çalışmasını sağlayabilir.
3. Temizlik: Partikül girişimini ortadan kaldırmak için sıkı kontrol uygulanır.
Toz parçacıkları, hassas statik basınçlı hava şamandıralı hareket platformunun "düşmanı"dır ve granit hassas tabana büyük zarar verir. Küçük parçacıklar, gaz şamandıralı kaydırıcı ile granit taban arasındaki gaz filmi boşluğuna girdiğinde, gaz filminin homojenliğini bozabilir, sürtünmeyi artırabilir ve hatta tabanın yüzeyini çizebilir, platform hareketinin doğruluğunu ciddi şekilde etkileyebilir. Havacılık parçalarının ultra hassas işleme atölyesinde, havadaki toz parçacıkları granit tabana düşerse, işleme aletinin hareket yörüngesi sapabilir ve parçaların işleme doğruluğunu etkileyebilir. Bu nedenle, çalışma alanı son derece temiz tutulmalı ve 10.000 veya daha yüksek bir temizlik standardına ulaşmalıdır. İşletmeler, yüksek verimli hava filtreleri (HEPA) takarak havadaki toz parçacıklarını filtreleyebilir ve personelin tozsuz giysiler, ayakkabı kılıfları vb. giymesini sağlayarak insan kaynaklı tozu azaltabilir ve granit tabanın ve hassas statik basınçlı hava şamandıralı hareket platformunun yüksek hassasiyetli çalışma ortamını koruyabilir.
4. Titreşim: Pürüzsüz bir alan yaratmak için etkili izolasyon
Dış titreşimler, hassas statik basınçlı hava destekli hareketli platformun hassasiyetini ciddi şekilde etkiler. Hassas granit taban belirli bir titreşim sönümleme kapasitesine sahip olsa da, yüksek güçlü titreşimler yine de tampon sınırını aşabilir. Fabrika çevresindeki trafik ve büyük mekanik ekipmanların çalışmasıyla oluşan titreşimler, zemin yoluyla granit tabana iletilir ve bu da platform hareketinin doğruluğunu etkiler. Yüksek kaliteli CMM'lerde titreşim, ölçüm probu ile ölçülecek iş parçası arasındaki temasın kararsız olmasına ve ölçüm verilerinde sapmaya neden olabilir. Bu sorunu çözmek için, ekipman kurulum alanına titreşim yalıtım pedleri yerleştirmek, titreşim yalıtım temeli inşa etmek veya dış titreşimi aktif olarak dengelemek için aktif titreşim yalıtım sistemi kullanmak gibi etkili titreşim izolasyon önlemleri almak ve granit hassas taban ve hassas statik basınçlı hava destekli hareketli platform için sessiz ve istikrarlı bir çalışma ortamı oluşturmak gereklidir.
Yukarıdaki çevresel gereksinimleri karşılamak, hassas statik basınçlı hava destekli hareket platformunda granit hassas tabanın avantajlarından tam olarak yararlanılmasını ve platformun çeşitli sektörler için yüksek hassasiyetli ve yüksek kararlılıkta hareket kontrol hizmetleri sağlamasını garanti altına almak için gereklidir. İşletmeler üretim ortamında bu ayrıntılara dikkat ederlerse, hassas imalat, bilimsel araştırma ve diğer alanlarda fırsatları yakalayacak, rekabet güçlerini artıracak ve sürdürülebilir kalkınmayı sağlayacaklardır.
Yayın tarihi: 10 Nisan 2025