Granit, uzun zamandır yarı iletken levha işleme ekipmanlarında kullanılan doğal olarak oluşan bir kayaçtır. Düşük termal genleşme, yüksek sertlik ve iyi stabilite gibi mükemmel özellikleriyle bilinir. Bununla birlikte, tüm malzemeler gibi granitin de yarı iletken levha işleme ekipmanlarının kalitesini etkileyebilecek kendine özgü kusurları vardır.
Granitin en büyük kusurlarından biri çatlama veya kırılma eğilimidir. Bu, kayanın oluşumu sırasında meydana gelebilen mikro çatlakların varlığından kaynaklanır. Bu mikro çatlaklar tespit edilip doğru şekilde tedavi edilmezse, yayılabilir ve ekipmanın arızalanmasına yol açabilir. Bunun önüne geçmek için, işleme ekipmanı üreticilerinin, mikro çatlaklardan arındırılmış olduğundan emin olmak için işlenmiş ve test edilmiş yüksek kaliteli granit kullanmaları gerekir.
Granitin bir diğer dezavantajı da korozyona karşı hassasiyetidir. Granit ekipmanlar aşındırıcı ortamlara temas ederse, zamanla bozulmaya başlayabilir. Bu durum, ekipmanın hasar görmesine veya düzgün çalışmamasına yol açabilir. Bunu önlemek için, üreticilerin ekipmanlarında kullanılan granitin korozyonu önlemek için uygun şekilde işlenmesini ve kaplanmasını sağlamaları gerekir.
Granit, doğal termal özellikleri nedeniyle zamanla deformasyona da eğilimlidir. Bunun nedeni, granitin çok düşük bir termal genleşme katsayısına sahip olması, yani sıcaklık değişimlerine maruz kaldığında fazla genleşmemesi veya büzülmemesidir. Bununla birlikte, küçük bir genleşme veya büzülme bile zamanla ekipmanda deformasyona neden olabilir. Bu kusurun oluşmasını önlemek için ekipman üreticisinin ekipmanlarını tasarlarken granitin termal özelliklerini dikkate alması önemlidir.
Son olarak, granitin gözenekli yapısı kirlenme sorunlarına yol açabilir. Granit düzgün bir şekilde yalıtılmazsa, yonga levhasının kalitesini etkileyebilecek kirleticileri emebilir. Bu da maliyetli arıza sürelerine ve üretim kayıplarına yol açabilir. Bunu önlemek için üreticilerin, herhangi bir kirleticinin emilmesini engellemek amacıyla graniti düzgün bir şekilde yalıtması gerekir.
Sonuç olarak, granit, yarı iletken levha işleme ekipmanlarında kullanım için mükemmel bir malzemedir. Bununla birlikte, kusurlarının farkında olmak ve bunların oluşmasını önlemek için gerekli önlemleri almak önemlidir. Uygun bakım ve onarım ile granit ekipmanlar uzun yıllar boyunca çalışmaya devam ederek yarı iletken endüstrisi için yüksek kaliteli levhalar sağlayabilir.
Yayın tarihi: 27 Aralık 2023