Granit bileşenler, üstün yüzey kalitesi, yüksek sertlik ve mükemmel titreşim sönümleme gibi mükemmel özellikleri nedeniyle yarı iletken üretim sürecinde yaygın olarak kullanılmaktadır. Granit bileşenler, üretim sürecinde hassas konumlandırma ve stabilite sağladıkları için litografi makineleri, parlatma makineleri ve metroloji sistemleri de dahil olmak üzere yarı iletken üretim ekipmanları için vazgeçilmezdir. Granit bileşenlerin kullanımının tüm avantajlarına rağmen, bazı dezavantajları da vardır. Bu makalede, yarı iletken üretim süreci ürünleri için granit bileşenlerin kusurlarını ele alacağız.
Öncelikle, granit bileşenlerin yüksek bir termal genleşme katsayısı vardır. Bu, termal stres altında önemli ölçüde genleştikleri anlamına gelir ve bu da üretim sürecinde sorunlara yol açabilir. Yarı iletken üretim süreci, termal stres nedeniyle tehlikeye girebilecek yüksek hassasiyet ve boyutsal doğruluk gerektirir. Örneğin, termal genleşme nedeniyle silikon levha deformasyonu, litografi sırasında hizalama sorunlarına neden olabilir ve bu da yarı iletken cihazın kalitesini tehlikeye atabilir.
İkinci olarak, granit bileşenlerde yarı iletken üretim sürecinde vakum sızıntılarına neden olabilecek gözeneklilik kusurları bulunmaktadır. Sistemde hava veya başka bir gazın bulunması, yonga yüzeyinde kirlenmeye ve yarı iletken cihazın performansını etkileyebilecek kusurlara yol açabilir. Argon ve helyum gibi inert gazlar, gözenekli granit bileşenlere sızarak vakum işleminin bütünlüğünü bozabilecek gaz kabarcıkları oluşturabilir.
Üçüncüsü, granit bileşenlerinde üretim sürecinin hassasiyetini etkileyebilecek mikro çatlaklar bulunur. Granit, özellikle sürekli stres döngülerine maruz kaldığında zamanla mikro çatlaklar geliştirebilen kırılgan bir malzemedir. Mikro çatlakların varlığı, boyutsal kararsızlığa yol açarak litografi hizalaması veya wafer parlatma gibi üretim sürecinde önemli sorunlara neden olabilir.
Dördüncüsü, granit bileşenlerin esnekliği sınırlıdır. Yarı iletken üretim süreci, farklı süreç değişikliklerine uyum sağlayabilecek esnek ekipman gerektirir. Ancak granit bileşenler serttir ve farklı süreç değişikliklerine uyum sağlayamazlar. Bu nedenle, üretim sürecindeki herhangi bir değişiklik, granit bileşenlerin çıkarılmasını veya değiştirilmesini gerektirir; bu da üretimde aksamalara ve verimliliğin etkilenmesine yol açar.
Beşinci olarak, granit bileşenleri ağırlıkları ve kırılganlıkları nedeniyle özel elleçleme ve taşıma gerektirir. Granit, vinçler ve kaldırma ekipmanları gibi özel taşıma ekipmanları gerektiren yoğun ve ağır bir malzemedir. Ayrıca, granit bileşenlerinin sevkiyat sırasında hasar görmesini önlemek için dikkatli bir şekilde paketlenmesi ve taşınması gerekir; bu da ek maliyetlere ve zamana yol açar.
Sonuç olarak, granit bileşenlerin yarı iletken üretim süreci ürünlerinin kalitesini ve verimliliğini etkileyebilecek bazı dezavantajları vardır. Bu kusurlar, mikro çatlaklar ve gözeneklilik kusurları için periyodik inceleme, kirlenmeyi önlemek için uygun temizlik ve taşıma sırasında dikkatli kullanım da dahil olmak üzere, granit bileşenlerin dikkatli kullanımı ve bakımı ile en aza indirilebilir. Kusurlara rağmen, granit bileşenler üstün yüzey kalitesi, yüksek sertlik ve mükemmel titreşim sönümleme özellikleri nedeniyle yarı iletken üretim sürecinin hayati bir parçası olmaya devam etmektedir.
Yayın tarihi: 05-12-2023