Hassas ölçüm alanında, mükemmel stabilitesi, yüksek sertliği ve iyi aşınma direnciyle granit hassas platform, birçok yüksek hassasiyetli ölçüm çalışması için ideal temel destek haline gelmiştir. Bununla birlikte, karanlıkta gizlenmiş bir "hassasiyet katili" gibi çevresel faktörlerdeki sıcaklık dalgalanmaları, granit hassas platformun ölçüm doğruluğu üzerinde göz ardı edilemeyecek bir etkiye sahiptir. Ölçüm çalışmalarının doğruluğunu ve güvenilirliğini sağlamak için etki eşiğini derinlemesine araştırmak büyük önem taşımaktadır.
Granit, sağlamlığıyla bilinmesine rağmen, sıcaklık değişimlerine karşı bağışık değildir. Başlıca bileşenleri kuvars, feldispat ve diğer minerallerdir ve bunlar farklı sıcaklıklarda termal genleşme ve büzülme olaylarına neden olur. Ortam sıcaklığı yükseldiğinde, granit hassas platform ısınır ve genleşir, platformun boyutu hafifçe değişir. Sıcaklık düştüğünde ise orijinal haline geri döner. Görünüşte küçük olan bu boyut değişiklikleri, hassas ölçüm senaryolarında ölçüm sonuçlarını etkileyen önemli faktörlere dönüşebilir.
Granit platforma uygun, yaygın olarak kullanılan koordinat ölçüm aletini örnek alarak, yüksek hassasiyetli ölçüm görevlerinde, ölçüm doğruluğu gereksinimleri genellikle mikron seviyesine veya daha da üstüne ulaşır. Standart 20℃ sıcaklıkta, platformun çeşitli boyut parametrelerinin ideal durumda olduğu ve iş parçasının ölçülmesiyle doğru verilerin elde edilebileceği varsayılmaktadır. Ortam sıcaklığı dalgalandığında durum çok farklıdır. Çok sayıda deneysel veri istatistiği ve teorik analizden sonra, normal koşullar altında, ortam sıcaklığının 1℃ dalgalanması durumunda, granit hassas platformun doğrusal genleşmesi veya büzülmesi yaklaşık 5-7 ×10⁻⁶/℃'dir. Bu, 1 metre kenar uzunluğuna sahip bir granit platform için, sıcaklık 1 °C değiştiğinde kenar uzunluğunun 5-7 mikron değişebileceği anlamına gelir. Hassas ölçümlerde, bu boyuttaki bir değişiklik, kabul edilebilir aralığın ötesinde ölçüm hatalarına neden olmak için yeterlidir.
Farklı doğruluk seviyelerinin gerektirdiği ölçüm çalışmaları için, sıcaklık dalgalanmasının etki eşiği de farklıdır. Mekanik parçaların boyut ölçümü gibi sıradan hassas ölçümlerde, izin verilen ölçüm hatası ±20 mikron içindeyse, yukarıdaki genleşme katsayısı hesaplamasına göre, platform boyut değişiminden kaynaklanan ölçüm hatasını kabul edilebilir bir seviyede tutmak için sıcaklık dalgalanmasının ±3-4 °C aralığında kontrol edilmesi gerekir. Yarı iletken çip üretiminde litografi proses ölçümü gibi yüksek hassasiyet gereksinimleri olan alanlarda, hata ±1 mikron içinde izin verilir ve sıcaklık dalgalanmasının ±0,1-0,2 °C içinde kesinlikle kontrol edilmesi gerekir. Sıcaklık dalgalanması bu eşiği aştığında, granit platformun termal genleşmesi ve büzülmesi ölçüm sonuçlarında sapmalara neden olabilir ve bu da çip üretim verimliliğini etkileyecektir.
Granit hassas platformun ölçüm hassasiyeti üzerindeki ortam sıcaklığı dalgalanmalarının etkisini gidermek için pratikte birçok önlem alınmaktadır. Örneğin, sıcaklık dalgalanmasını çok küçük bir aralıkta kontrol etmek için ölçüm ortamına yüksek hassasiyetli sabit sıcaklık ekipmanı kurulmaktadır; ölçüm verilerine sıcaklık kompanzasyonu uygulanmakta ve ölçüm sonuçları, platformun termal genleşme katsayısına ve gerçek zamanlı sıcaklık değişimlerine göre yazılım algoritması ile düzeltilmektedir. Bununla birlikte, hangi önlemler alınırsa alınsın, ortam sıcaklığı dalgalanmalarının granit hassas platformun ölçüm doğruluğu üzerindeki etkisinin doğru bir şekilde kavranması, doğru ve güvenilir ölçüm çalışmalarının sağlanmasının ön koşuludur.
Yayın tarihi: 03-08-2025