Yarı iletken üretiminin hassas zincirinde, yonga transfer sistemi "çip üretim hattının can damarı" gibidir ve kararlılığı ve doğruluğu, yongaların verim oranını doğrudan belirler. Yeni nesil yonga transfer sistemleri, doğrusal motorları granit tabanlarla devrim niteliğinde bir şekilde bir araya getiriyor ve granit malzemelerin benzersiz avantajları, yüksek performanslı iletim teknolojisinin temel taşıdır.
Granit taban: İstikrarlı iletim için "kaya gibi sağlam bir temel" inşa etmek
Yüz milyonlarca yıllık jeolojik arıtım sürecinden geçen granit, yoğun ve homojen bir iç mineral kristalizasyonuna sahiptir. Bu doğal özelliği, onu gofret transfer sistemleri için ideal bir temel malzeme haline getirir. Yarı iletken temiz odaların karmaşık ortamında, ultra düşük termal genleşme katsayısı (sadece 5-7 × 10⁻⁶/℃) ile granit, ekipman çalışması sırasında oluşan ısıya ve çevresel sıcaklık değişimlerinin etkisine dayanabilir, böylece taban boyutunun stabilitesini sağlar ve termal deformasyondan kaynaklanan iletim yolu sapmasını önler. Olağanüstü titreşim sönümleme performansı, lineer motorların çalıştırılması, durdurulması ve hızlanması sırasında oluşan mekanik titreşimleri ve atölyedeki diğer ekipmanların çalışmasının getirdiği dış etkenleri hızla emerek gofret iletimi için "sıfır sarsıntı" sağlayan istikrarlı bir platform sağlar.
Bu arada, granitin kimyasal kararlılığı, asit ve alkali reaktiflerin uçucu olduğu ve yüksek temizlik gerektiren yarı iletken atölyelerinde aşınmamasını veya paslanmamasını sağlar ve böylece malzeme eskimesi veya kirletici adsorpsiyonundan kaynaklanan iletim doğruluğu üzerindeki etkiyi önler. Pürüzsüz ve yoğun yüzey özellikleri, toz yapışmasını daha etkili bir şekilde azaltarak, temiz odaların katı tozsuz standartlarını karşılar ve yonga plakasının kökten kirlenme riskini ortadan kaldırır.
Doğrusal motorlar ve granitin "altın ortaklık" etkisi
Mekanik şanzıman boşluğu olmaması, yüksek ivmelenme ve yüksek tepki hızı özellikleriyle lineer motorlar, wafer şanzımana "hızlı, hassas ve kararlı" avantajlar sağlar. Granit taban, wafer şanzıman için sağlam ve güvenilir bir destek platformu sağlar. Bu ikisi birlikte çalışarak performansta bir sıçrama sağlar. Lineer motor, wafer taşıyıcıyı granit taban rayında hareket ettirdiğinde, tabanın güçlü rijitliği ve stabilitesi, motor tahrik kuvvetinin verimli bir şekilde iletilmesini sağlayarak, taban deformasyonundan kaynaklanan kuvvet kaybını veya şanzıman gecikmesini önler.
Nanometre ölçeğinde hassasiyet talebiyle yönlendirilen doğrusal motorlar, mikron altı düzeyde yer değiştirme kontrolü sağlayabilir. Granit tabanların yüksek hassasiyetli işleme özellikleri (±1 μm içinde kontrol edilen düzlük hataları ile), doğrusal motorların hassas kontrolüyle mükemmel bir şekilde eşleşir ve gofret iletimi sırasında konumlandırma hatasının ±5 μm'den az olmasını sağlar. İster çeşitli proses ekipmanları arasında yüksek hızlı mekik ister gofret teslimi için hassas park yeri olsun, doğrusal motorlar ve granit tabanların birleşimi, gofret iletiminde "sıfır sapma ve sıfır titreşim" sağlayabilir.
Sektör uygulama doğrulaması: Verimlilik ve verim oranında çift yönlü iyileştirme
Önde gelen küresel bir yarı iletken şirketi, gofret transfer sistemini geliştirdikten sonra, gofret transfer verimliliğini %40 artıran, transfer işlemi sırasında çarpışma ve ofset gibi arızaların oluşma oranını %85 azaltan ve çiplerin genel verim oranını %6 artıran bir lineer motor + granit taban çözümü benimsedi. Verilerin arkasında, granit taban tarafından sağlanan iletim kararlılığı garantisi ve gofret iletim sürecindeki kayıp ve hataları önemli ölçüde azaltan lineer motorun yüksek hızlı ve hassas sinerji etkisi yatmaktadır.
Malzeme özelliklerinden hassas üretime, performans avantajlarından pratik doğrulamaya kadar, lineer motorlar ve granit tabanların birleşimi, gofret transfer sistemlerinin standartlarını yeniden tanımladı. Gelecekte yarı iletken teknolojisi 3nm ve 2nm proseslerine doğru ilerlediğinde, granit malzemeler, eşsiz avantajlarıyla sektörün gelişimine güçlü bir ivme kazandırmaya devam edecektir.
Gönderim zamanı: 14 Mayıs 2025