Granit makine tabanları, yüksek sertlik, stabilite ve hassasiyet gibi üstün özellikleri nedeniyle yarı iletken levha işleme ekipmanlarında yaygın olarak kullanılmaktadır. Granit makine tabanının montajı, test edilmesi ve kalibrasyonu, en ince ayrıntısına kadar dikkat, hassasiyet ve doğruluk gerektiren kritik bir süreçtir. Bu makalede, yarı iletken levha işleme ekipmanları için granit makine tabanının montajı, test edilmesi ve kalibrasyonunun adım adım sürecini ele alacağız.
Montaj
İlk adım, granit yüzey plakasını, tabanı ve kolonu montaj için hazırlamaktır. Tüm yüzeylerin temiz, kuru ve herhangi bir kalıntı, toz veya yağdan arındırılmış olduğundan emin olun. Tesviye pimlerini tabana yerleştirin ve yüzey plakasını üzerine koyun. Yüzey plakası yatay ve düz olacak şekilde tesviye pimlerini ayarlayın. Yüzey plakasının taban ve kolonla aynı hizada olduğundan emin olun.
Ardından, kolonu tabana yerleştirin ve cıvatalarla sabitleyin. Cıvataları üreticinin önerdiği tork değerine kadar sıkmak için tork anahtarı kullanın. Kolonun seviyesini kontrol edin ve gerekirse dengeleme saplamalarını ayarlayın.
Son olarak, mil tertibatını kolonun üst kısmına takın. Cıvataları üreticinin önerdiği tork değerine kadar sıkmak için tork anahtarı kullanın. Mil tertibatının seviyesini kontrol edin ve gerekirse dengeleme saplamalarını ayarlayın.
Test
Makine tabanını monte ettikten sonraki adım, işlevselliğini ve doğruluğunu test etmektir. Güç kaynağını bağlayın ve makineyi çalıştırın. Motorlar, dişliler, kayışlar ve rulmanlar gibi tüm bileşenlerin düzgün çalıştığından ve herhangi bir anormallik veya olağandışı ses çıkarmadığından emin olun.
Makinenin doğruluğunu test etmek için, milin salınımını ölçmek üzere hassas bir kadranlı gösterge kullanın. Kadranlı göstergeyi yüzey plakasına yerleştirin ve mili döndürün. İzin verilen maksimum salınım 0,002 mm'den az olmalıdır. Salınım izin verilen sınırdan büyükse, dengeleme pimlerini ayarlayın ve tekrar kontrol edin.
Kalibrasyon
Kalibrasyon, makine tabanının doğruluğunu ve hassasiyetini sağlamanın kritik adımıdır. Kalibrasyon süreci, makinenin üreticinin spesifikasyonlarını karşıladığından emin olmak için hız, konumlandırma ve doğruluk gibi makine parametrelerinin test edilmesini ve ayarlanmasını içerir.
Makineyi kalibre etmek için, lazer interferometre, lazer izleyici veya bilyalı çubuk gibi bir kalibrasyon aletine ihtiyacınız olacaktır. Bu aletler, makinenin hareketini, konumunu ve hizalamasını yüksek doğrulukla ölçer.
Öncelikle makinenin doğrusal ve açısal eksenlerini ölçün. Kalibrasyon aletini kullanarak makinenin hareketini ve konumunu belirli bir mesafe veya açı üzerinden ölçün. Ölçülen değerleri üreticinin teknik özellikleriyle karşılaştırın. Herhangi bir sapma varsa, ölçülen değerleri izin verilen sınırlar içine getirmek için motorlar, dişliler ve tahrik sistemleri gibi makinenin parametrelerini ayarlayın.
Ardından, makinenin dairesel enterpolasyon fonksiyonunu test edin. Kalibrasyon aracını kullanarak dairesel bir yol oluşturun ve makinenin hareketini ve konumunu ölçün. Ölçülen değerleri üreticinin özellikleriyle karşılaştırın ve gerekirse parametreleri ayarlayın.
Son olarak, makinenin tekrarlanabilirliğini test edin. Belirli bir süre boyunca makinenin farklı noktalardaki konumunu ölçün. Ölçülen değerleri karşılaştırın ve herhangi bir sapma olup olmadığını kontrol edin. Herhangi bir sapma varsa, makinenin parametrelerini ayarlayın ve testi tekrarlayın.
Çözüm
Yarı iletken levha işleme ekipmanları için granit makine tabanının montajı, test edilmesi ve kalibrasyonu, sabır, detaylara dikkat ve hassasiyet gerektiren kritik bir süreçtir. Bu adımları izleyerek, makinenin üreticinin spesifikasyonlarını karşıladığından ve doğruluk, istikrar ve hassasiyetle çalıştığından emin olabilirsiniz.
Yayın tarihi: 28 Aralık 2023