Granit taban uygulaması: Granit, son derece kararlı fiziksel özelliklere, yoğun ve homojen iç yapıya, düşük termal genleşme katsayısına ve yüksek sertliğe sahiptir. Bu sayede taban, dış titreşimleri etkili bir şekilde izole edebilir, ortam sıcaklığı değişimlerinin platformun doğruluğu üzerindeki etkisini azaltabilir ve iyi aşınma direncine sahiptir; uzun süreli kullanımda da istikrarlı destek performansını koruyarak platformun doğruluğu için sağlam bir temel sağlar.
Yüksek hassasiyetli mekanik yapı tasarımı: Platformun mekanik yapısı, yüksek hassasiyetli kılavuz raylar, kurşun vidalar, rulmanlar ve diğer iletim bileşenleri kullanılarak özenle tasarlanmış ve optimize edilmiştir. Düşük sürtünme, yüksek rijitlik ve iyi hareket tekrarlanabilirliği ile bu bileşenler, gücü doğru bir şekilde iletebilir ve platformun hareketini kontrol ederek hareket sırasında hata birikimini azaltabilir. Örneğin, aerostatik kılavuz ray kullanımı, platformun hareketini desteklemek için hava filmi kullanımı, sürtünme olmaması, aşınma olmaması, yüksek hassasiyet ile nano ölçekli konumlandırma doğruluğuna ulaşabilir.
Gelişmiş aktif titreşim izolasyon teknolojisi: Aktif titreşim izolasyon sistemi ile donatılmış olup, sensör aracılığıyla platformun titreşim durumunu gerçek zamanlı olarak izler ve ardından izleme sonuçlarına göre aktüatörün geri besleme kontrolünü yaparak, dış titreşimin etkisini dengelemek için zıt bir kuvvet veya hareket üretir. Bu aktif titreşim izolasyon teknolojisi, düşük ve yüksek frekanslı titreşimleri etkili bir şekilde izole ederek platformun karmaşık titreşim ortamında stabil kalmasını sağlar. Örneğin, elektromanyetik aktif titreşim izolatörü, hızlı tepki hızı ve doğru kontrol kuvveti avantajlarına sahiptir ve platformun titreşim genliğini %80'den fazla azaltabilir.
Hassas kontrol sistemi: Platform, yüksek hızlı hesaplama ve hassas kontrol yeteneğine sahip dijital sinyal işlemcisi (DSP) veya alan programlanabilir kapı dizisi (FPGA) tabanlı kontrol sistemi gibi gelişmiş kontrol sistemlerini kullanır. Kontrol sistemi, doğru algoritmalar aracılığıyla platformun hareketini gerçek zamanlı olarak izler ve ayarlar, böylece yüksek hassasiyetli konum kontrolü, hız kontrolü ve ivme kontrolü gerçekleştirir. Aynı zamanda, kontrol sistemi iyi bir parazit önleme yeteneğine sahiptir ve karmaşık elektromanyetik ortamda istikrarlı bir şekilde çalışabilir.
Yüksek hassasiyetli sensör ölçümü: Yüksek hassasiyetli yer değiştirme sensörleri, açı sensörleri ve diğer ölçüm ekipmanlarının kullanımıyla platformun hareketi gerçek zamanlı olarak doğru bir şekilde ölçülür. Bu sensörler ölçüm verilerini kontrol sistemine geri iletir ve kontrol sistemi, platformun hareket doğruluğunu sağlamak için geri bildirim verilerine göre doğru ayarlama ve telafi yapar. Örneğin, yer değiştirme sensörü olarak lazer interferometre kullanılır ve ölçüm doğruluğu nanometreye kadar ulaşabilir; bu da platformun yüksek hassasiyetli kontrolü için doğru konum bilgisi sağlayabilir.
Hata telafi teknolojisi: Platformun hataları modellenip analiz edilerek, hataları düzeltmek için hata telafi teknolojisi kullanılır. Örneğin, kılavuz rayın doğrusallık hatası ve kurşun vidanın adım hatası ölçülerek telafi edilir ve böylece platformun hareket doğruluğu artırılır. Ayrıca, sıcaklık değişimleri, yük değişimleri ve diğer faktörlerden kaynaklanan hatalar gerçek zamanlı olarak yazılım algoritmalarıyla telafi edilerek platformun doğruluğu daha da artırılabilir.
Sıkı üretim süreci ve kalite kontrolü: Platformun üretim sürecinde, her bir bileşenin işleme doğruluğunu ve montaj kalitesini sağlamak için sıkı üretim süreci ve kalite kontrol standartları benimsenmiştir. Hammadde seçiminden parçaların işlenmesine, montajına ve devreye alınmasına kadar her aşama, platformun genel doğruluğunu ve performansını sağlamak için titizlikle incelenir ve test edilir. Örneğin, önemli parçaların yüksek hassasiyetli işlenmesi gerçekleştirilir ve CNC işleme merkezleri gibi gelişmiş ekipmanlar kullanılarak parçaların boyutsal doğruluğu, şekil ve konum toleransları tasarım gereksinimlerini karşılar.
Yayın tarihi: 11 Nisan 2025