Yarı iletken üretim atölyesinde, çip üretim sürecinin çevresel koşullar ve ekipman doğruluğuna ilişkin gereksinimleri son derece yüksektir ve en ufak bir sapma bile çip veriminde önemli bir düşüşe yol açabilir. XYZT hassas portal hareket platformu, nano ölçekli doğruluğa ulaşmak için sağlam bir temel oluşturmak üzere platformun diğer parçalarıyla işbirliği yapan granit bileşenlere dayanmaktadır.
Mükemmel titreşim engelleme özellikleri
Yarı iletken üretim atölyesinde, çevre ekipmanlarının çalışması ve personelin etrafta dolaşması titreşime neden olabilir. Granit bileşenlerin iç yapısı yoğun ve homojendir, doğal olarak yüksek sönümleme özelliklerine sahiptir ve etkili bir titreşim "bariyeri" görevi görür. Dış titreşim XYZT platformuna iletildiğinde, granit bileşen titreşim enerjisinin %80'inden fazlasını etkili bir şekilde azaltabilir ve titreşimin platform hareket doğruluğuna olan etkisini en aza indirebilir. Aynı zamanda, platform, granit bileşenlerle birlikte çalışan yüksek hassasiyetli bir hava şamandıralı kılavuz sistemi ile donatılmıştır. Hava şamandıralı kılavuz, yüksek basınçlı gaz tarafından oluşturulan kararlı gaz filmini kullanarak platformun hareketli parçalarının temassız süspansiyon hareketini gerçekleştirir ve mekanik sürtünmeden kaynaklanan küçük titreşimleri azaltır. İkisi birlikte, çip litografisi ve aşındırma gibi önemli süreçlerde platform konumlandırma doğruluğunun her zaman nanometre seviyesinde korunmasını sağlar ve titreşimden kaynaklanan çip devre desenlerinin sapmasını önler.
Mükemmel termal kararlılık
Atölyedeki sıcaklık ve nem dalgalanmaları, çip üretim ekipmanının doğruluğunu büyük ölçüde etkiler. Granitin termal genleşme katsayısı çok düşüktür, genellikle 5-7 ×10⁻⁶/℃ civarındadır ve sıcaklık değiştiğinde boyutu neredeyse hiç değişmez. Atölyedeki gündüz ve gece arasındaki sıcaklık farkı veya ekipmanın ısı üretimi nedeniyle ortam sıcaklığı dalgalansa bile, granit bileşenler termal genleşme ve büzülme nedeniyle platformun deformasyonunu önlemek için stabil kalabilir. Aynı zamanda, platforma entegre edilmiş akıllı sıcaklık kontrol sistemi, ortam sıcaklığını gerçek zamanlı olarak izler, klima ve ısı dağıtım ekipmanlarını otomatik olarak ayarlar ve atölye sıcaklığını 20 °C ±1 °C'de tutar. Granitin ısı stabilitesi avantajlarıyla birleştiğinde, platformun uzun süreli çalışmasında her eksenin hareket doğruluğunun her zaman çip üretiminin nanometre hassasiyet standartlarını karşılamasını, çip litografi desen boyutunun doğru ve aşındırma derinliğinin homojen olmasını sağlar.
Temiz çevre ihtiyaçlarını karşılayın
Yarı iletken üretim atölyesinin, toz parçacıklarının çipi kirletmesini önlemek için yüksek derecede temizliğe sahip olması gerekir. Granit malzeme kendisi toz üretmez ve yüzeyi pürüzsüzdür, tozu kolayca emmez. Platformun tamamı, dışarıdan toz girişini azaltmak için tamamen kapalı veya yarı kapalı bir yapı tasarımına sahiptir. İç hava sirkülasyon sistemi, atölyenin temiz hava iklimlendirme sistemiyle bağlantılıdır ve iç hava temizliğinin çip üretimi için gerekli seviyeye ulaşmasını sağlar. Bu temiz ortamda, granit bileşenler toz aşınması nedeniyle performansı etkilemez ve platformun yüksek hassasiyetli sensörleri ve motorları gibi önemli bileşenler de istikrarlı bir şekilde çalışabilir, çip üretimi için sürekli ve güvenilir nano ölçekli doğruluk garantisi sağlar ve yarı iletken endüstrisinin daha yüksek bir işlem seviyesine geçmesine yardımcı olur.
Yayın tarihi: 14 Nisan 2025