Yüksek teknoloji üretimi ve ileri düzey bilimsel araştırma alanında, hava şamandırasının ultra hassas hareket modülü, mükemmel hassasiyet performansı ile hassas işlem ve ölçüm için kilit bir ekipman haline gelmiştir. Destek çekirdeği olarak kullanılan granit hassas taban, çalışma ortamı için katı gereksinimlere sahiptir ve uygun çevre koşulları, istikrarlı performansını ve en iyi etkiyi sağlamanın temelini oluşturur.
Öncelikle, sıcaklık kontrolü: hassas "stabilizatör"
Granit, kararlılığıyla bilinmesine rağmen, sıcaklık değişimlerine tamamen bağışık değildir. Isıl genleşme katsayısı düşük olsa da (genellikle 5-7 ×10⁻⁶/℃), ultra hassas hareket kontrolü senaryolarında, ince sıcaklık dalgalanmaları yine de boyut değişikliklerine neden olabilir ve modül doğruluğunu etkileyebilir. Yarı iletken çip üretim atölyesinde, litografi işlemi son derece hassas konumlandırma gerektirir ve ortam sıcaklığı 1 °C'lik bir dalgalanmayla, 1 metre kenar uzunluğuna sahip granit taban 5-7 mikronluk doğrusal bir genleşme veya büzülme gösterebilir. Bu küçük değişiklik, hava şamandıralı ultra hassas hareket modülü tarafından iletilir ve bu da çip litografi deseninin sapmasına ve verimliliğin büyük ölçüde azalmasına neden olabilir. Bu nedenle, hava yastıklı ultra hassas hareket modülünün granit hassas tabanıyla donatılmış ideal çalışma ortamı sıcaklığı, sabit sıcaklık ve nem kontrol sistemi gibi yüksek hassasiyetli sabit sıcaklık ekipmanları yardımıyla 20°C ±1°C'de kontrol edilmeli, ortam sıcaklığı sürekli olarak izlenmeli ve ayarlanmalıdır. Bu sayede sıcaklık dalgalanmaları çok küçük bir aralıkta kalır, taban boyutunun stabilitesi korunur ve modülün yüksek hassasiyetli çalışması sağlanır.
İkincisi, nem yönetimi: neme karşı koruma "taşının" anahtarı.
Nem, hassas granit tabanın performansını etkileyen bir diğer önemli faktördür. Yüksek nemli bir ortamda, granit kolayca su buharını emer ve bu da yüzeyde yoğuşmaya yol açabilir. Bu durum, granit ile hava şamandırasının ultra hassas hareket modülü arasındaki bağlantı stabilitesini etkilemekle kalmaz, aynı zamanda uzun vadede yüzey aşınmasına, parlaklık kaybına ve hassasiyetin azalmasına da neden olabilir. Optik lens taşlama atölyesinde, nem uzun süre %60 RH'nin üzerinde kalırsa, granit tabanın yüzeyine emilen su buharı, gaz şamandırası kaydırıcısının hareketini engelleyerek lens taşlama hassasiyetini azaltır ve yüzeyde kusurlara yol açar. Bu nedenle, çalışma ortamının bağıl nemi %40-%60 RH arasında sıkı bir şekilde kontrol edilmelidir. Nem alma cihazları, nem sensörleri ve diğer ekipmanlar kullanılarak gerçek zamanlı olarak izlenip ayarlanabilmesi, yüksek nem nedeniyle granit tabana zarar verilmesini önleyerek hava şamandırasının ultra hassas hareket modülünün sorunsuz çalışmasını sağlar.
Üçüncüsü, temizlik garantisi: hassasiyetin "koruyucusu".
Hava yastıklamalı ultra hassas hareket modülünün hassas granit tabanına toz parçacıklarının verdiği zarar hafife alınmamalıdır. Küçük parçacıklar, gaz yastıklama kızağı ile granit taban arasındaki gaz filmi boşluğuna girdiğinde, gaz filminin homojenliğini bozabilir, sürtünmeyi artırabilir ve hatta tabanın yüzeyini çizebilir, bu da hareket doğruluğunu azaltır. Havacılık parçalarının ultra hassas işleme atölyesinde, havadaki toz parçacıkları granit tabana düşerse, işleme aletinin hareket yörüngesi sapabilir ve parçaların işleme doğruluğunu etkileyebilir. Bu nedenle, çalışma alanı son derece temiz tutulmalı, yüksek verimli hava filtreleri (HEPA) gibi hava temizleme ekipmanlarının kurulumuyla havadaki toz parçacıkları filtrelenmeli ve aynı zamanda personel toz geçirmez giysiler, ayakkabı kılıfları vb. giyerek insan kaynaklı tozu azaltmalıdır. Granit taban ve hava yastıklamalı ultra hassas hareket modülünün yüksek hassasiyetli çalışma ortamı korunmalıdır.
Dördüncüsü, titreşim izolasyonu: "şok emici"nin sorunsuz çalışması.
Dış titreşim, hava şamandıralı ultra hassas hareket modülünün hassasiyetinin düşmanıdır. Hassas granit taban belirli bir titreşim azaltma yeteneğine sahip olsa da, yüksek güçlü titreşim yine de tampon sınırını aşabilir. Fabrika çevresindeki trafik ve büyük mekanik ekipmanların çalışmasıyla oluşan titreşim, zemin yoluyla granit tabana iletilir ve bu da hava şamandıralı ultra hassas hareket modülünün hareket doğruluğunu etkiler. Yüksek kaliteli CMM'lerde, titreşim, ölçüm probu ile ölçülecek iş parçası arasındaki temasın kararsız olmasına ve ölçüm verilerinde sapmaya neden olabilir. Bu sorunu çözmek için, ekipman kurulum alanına titreşim yalıtım pedleri yerleştirmek, titreşim yalıtım temeli oluşturmak veya dış titreşimi aktif olarak dengelemek için aktif titreşim yalıtım sistemi kullanmak gibi etkili titreşim izolasyon önlemleri almak ve granit hassas taban ve hava şamandıralı ultra hassas hareket modülü için sessiz ve istikrarlı bir çalışma ortamı oluşturmak gereklidir.
Hava şamandırasının ultra hassas hareket modülünün granit hassas tabanı, ancak sıcaklık, nem, temizlik ve titreşim kontrolü gibi çevresel gereksinimleri tam olarak karşılayarak performans avantajlarını tam olarak ortaya koyabilir, çeşitli alanlarda ultra hassas işlemler için güvenilir bir garanti sağlayabilir ve endüstrinin daha yüksek hassasiyetli üretim ve bilimsel araştırma seviyesine doğru ilerlemesine yardımcı olabilir.
Yayın tarihi: 08-08-2025